 
  
| Модель    | MDTS-WT2200  | 
| Кількість видалених осей  |  2 | 
| Кількість верстаків  | 3, Індексний метод  | 
| Валку шлифувального колеса  | Кількість повітряних шпинделів: 2  Шпиндельний двигун: змінночастотний двигун 7.5кW Швидкість: 0~6000 об/хв, безступенево регулювана Специфікація шлифувального колеса: Φ203мм Тип шлифувального колеса: алмазне шлифувальне колесо | 
| Система підачі шлифувального колеса  | Кількість: 2 комплекти  Метод керування системою подачі: рельс LM та шарувана вісь комбінація Приводний двигун: серводвигун Мінімальна швидкість подачі: 0.1 мкм/сек Максимальна швидкість подачі: 50 мм/сек | 
| РОБОЧИЙ СТОЛ    | Кількість: 3, індексний режим  Двигун валу: Серводвигун Швидкість: 0~300 об./хв., безступенево регулювана Метод фіксації: Вакуумна фіксація | 
| Поворотна платформа робочого столу  | Режим приводу: серводвигун  Діапазон обертання: 0~240° Форма позиціонування: позиціонування за допомогою сенсора | 
| Автоматична товщина  система вимірювань | Метод вимірювання: IPG контактне онлайн реальний час вимірювання  Кількість вимірювальних головок: 2 Вимірювальний сенсор: сенсор рівня 0.1мкм | 
| Автоматична завантаження\  розвантаження система | Тип коробки: 6-8 дюймовий Касета, 25 шарів  Метод автоматичного завантаження\розвантаження: використовується маніпулятор для забезпечення перевезення тонких пластин без пошкодження Товщина вафлі: 150ум-1000ум | 
| Функція очищення робочого стола  | Метод очищення: полірування маслом та двофазне спливання DI вода+повітря  | 
| Автоматичне очищення/  система сушіння | Очищення: очищення дузнією DIW  Метод сушіння: продування +сушка Швидкість: максимум 1000 об/хв безступенево регулювана | 
| Система знищення статичної електрики  | Іонна палка або оріон вентилятор  | 
| Холодильник шпинделя  | Температура: 18-22°C  Швидкість потоку: 4~8Л/хв | 
| Система управління    | Система керування: система керування PC, екран дотикового типу, триколірна лампа сигналізації  Інтерфейс користувача на китайській/англійській мовах | 
| Максимальний розмір пластини  | Максимальна сумісність з 8 дюймами  | 
| Діапазон швидкості    | 0~6000 об/хв  | 
| Переміщення по осі Z    | 160мм  | 
| Швидкість подачі по осі Z  | 0.1~100мкм/сек  | 
| Швидкість швидкого відтягу осі Z  | 50мм/сек  | 
| Розрізнення по осі Z  | 0.1мкм  | 
| Діапазон вимірювання товщини онлайн  | 0~1800ум  | 
| Роздільна здатність вимірювання товщини онлайн  | 0.1мкм  | 


Авторське право © Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені