







Chamber |
розмір |
Міні-камера передчистильна |
Головна передчистильна камера |
|
діаметр 150 мм, довжина 330 мм |
діаметр 360 мм, довжина 600 мм (опціонально діаметр 390 мм) |
|||
матеріал |
нержавіюча сталь 304 |
|||
поверхня |
поверхня всередині — шліфована, зовнішня поверхня — фарбована |
|||
Аксесуари |
таламарка |
обробка нержавіючої сталі до дзеркального стану, рухомий лоток |
||
двері камери |
двостворчаті двері |
подвійні двері, анодований алюміній, з підсиленою конструкцією |
||
манометр |
Вакуумний масляний манометр Wika або цифровий дисплей |
|||
Контроль |
операція |
Керування PLC або ручна операція |
||

Специфікація типу |
Однобічна однією станція |
Однобічна три рукавиці |
Однобічна подвійні станції |
Однобічна подвійні станції |
Подвійні боки подвійні станції |
Подвійні боки чотири станції |
Подвійні боки чотири станції |
||||||
довжина*висота*ширина(мм) |
1200x900X750 |
1500x900X750 |
1800x900X750 |
2400x900X750 |
1200x900X1000 |
1800x900X1000 |
2400x900X 1000 |
||||||
Матеріал камери |
нержавіюча сталь 304 |
||||||||||||
Товщина матеріалу |
3 мм |
||||||||||||
Висота стелажа |
950 мм |
||||||||||||
Головна передчистильна камера |
φ360XΦ600 або Φ390X600 мм |
||||||||||||
Міні-камера передчистильна |
φ150 X 330 мм |
||||||||||||
Перчатки |
2 шт. |
3 шт |
4 шт |
4 шт |
4 шт |
4 шт |
8 штук |
||||||
Матеріал частини рукавиці |
Оксид алюмінію/POM |
||||||||||||
Об'єм |
0,8 м² |
1,0 м² |
1,2 м² |
1,6 м² |
1,1 м² |
1,6 м² |
2,2 м² |
||||||
Швидкість витоку |
0,001 об.%/год |
||||||||||||
Індикатор H2O |
<0,1 млн⁻¹ |
||||||||||||
індикатор O2 |
<0,1 млн⁻¹ |
||||||||||||








Авторське право © Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені