Висвітлення
Вступ:
Двопоточний магнетронний напилювач із спільним використанням цілей — це лабораторний напилювач спеціального призначення, розроблений нашою компанією. Обладнання може комплектуватися постійним струмом (DC) та радіочастотним (RF) джерелами живлення потужністю від 500 Вт до 1000 Вт. Порівняно зі звичайним плазмовим напилюванням, магнетронне напилювання має такі переваги: висока енергія та висока швидкість, висока швидкість нанесення покриття й незначне підвищення температури зразка. Це типовий високошвидкісний і низькотемпературний метод напилювання. Магнетронна мішень оснащена водяним охолоджувальним проміжним шаром. Водяне охолодження ефективно відводить тепло й запобігає його накопиченню на поверхні мішені, що забезпечує тривалу стабільну роботу магнетронного напилювача. Обладнання має компактну конструкцію, яка забезпечує оптимальний баланс між габаритами та продуктивністю, привабливий зовнішній вигляд і повну функціональність. Управління всім агрегатом здійснюється за допомогою сенсорного екрана, у якому передбачено вбудовану програму нанесення покриття «одним натисканням», що забезпечує простоту й зручність у роботі. Це ідеальне обладнання для підготовки тонких плівок у лабораторних умовах.
Застосування: може використовуватися для отримання тонких фероелектричних плівок (одношарових або багатошарових), провідних плівок, сплавних плівок, напівпровідникових плівок, керамічних плівок, діелектричних плівок, оптичних плівок тощо.