Система прецизійного хіміко-механічного полірування (CMP)

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Система прецизійного хіміко-механічного полірування (CMP)

Огляд обладнання:

Система прецизійного хімічно-механічного полірування (CMP) призначена переважно для шліфування та зменшення товщини основних напівпровідникових кристалів, таких як кремній, діоксид кремнію та індій-антимонідні матриці фокального площини, а також для хімічно-механічного полірування нижньої, верхньої та торцевої поверхонь.

Усе обладнання та всі його компоненти повністю стійкі до корозії, а технологічні параметри можна встановлювати за допомогою інтерактивного сенсорного екрану.

Розмір зразків, що підлягають обробці:

Розмір зразка ≤ 152 мм / 6 дюймів

Товщина оброблюваних зразків — від 50 мкм до 10 мм

Досягнуті технологічні показники:

1. Загальне відхилення товщини (TTV) кремнієвих пластин діаметром φ75 мм становить не більше 2 мкм;

2. Загальне відхилення товщини (TTV) кремнієвих пластин діаметром φ100 мм становить не більше 3 мкм;

3. Загальне відхилення товщини (TTV) кремнієвих пластин діаметром φ150 мм становить не більше 4 мкм.

Типи зразків, які можна обробляти:

Кремній, карбід кремнію, діамант, кераміка, нітрид галію, кварц, антимонід галію, фосфід індію, арсенід галію, телурид цинку-кадмію, телурид ртуті-кадмію, ніобат літію та інші напівпровідникові матеріали.

Характеристики обладнання:

1. Реалізація функції визначення кінцевої точки для контролю товщини зразка.

2. Онлайн-контроль температури та охолодження шліфувально-полірувальних дисків у реальному часі.

3. Багатоканальна система подачі.

4. Автоматична функція промивання шліфувально-полірувальних дисків.

5. Автоматична функція ремонту дисків.

6. У пристосуванні встановлено цифровий товщиномір із точністю вимірювання 0,1 мкм.

Технічні параметри:

Конфігурація пристрою:

Часті запитання

1. Про ціну:

Усі наші ціни є конкурентоспроможними та переговорними. Ціна варіюється в залежності від конфігурації та складності індивідуального замовлення вашого пристрою.

2. Про вибірку:

Ми можемо надати послуги виробництва вибірок для вас, але вам можливо доведеться оплатити деякі витрати.

3. Про оплату:

Після підтвердження плану, вам потрібно спочатку заплатити нам депозит, і завод почне готувати товар. Після того як обладнання буде готове, а ви сплатите решту, ми його відправимо.

4. Про доставку:

Після завершення виготовлення обладнання, ми надішлемо вам відео приймання, і ви також можете приїхати на місце для перевірки обладнання.

5. Монтаж та налагодження:

Після того як обладнання дістанеться до вашого заводу, ми можемо направити інженерів для встановлення та налагодження обладнання. Ми надамо вам окреме пропозицію для цієї послуги.

6. Про гарантію:

Наше обладнання має гарантійний термін 12 місяців. Після закінчення гарантійного терміну, якщо будь-які деталі пошкодяться і їх потрібно замінити, ми зарахуємо лише вартість матеріалів.

7. Післяпродажне обслуговування:

Усі машини мають гарантійний термін більше одного року. Наші технічні інженери завжди онлайн, щоб надати вам послуги з встановлення, налаштування та обслуговування обладнання. Ми можемо надати послуги з встановлення та налаштування на місці для спеціального та великого обладнання.