Компанія Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
EN
Компанія Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Отримати пропозицію

Компанія Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Домашня сторінка
Про Нас
Обладнання MH
Рішення
Заграничні Користувачі
Відео
Зв’язатися з нами
Головна> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Всістійна автоматична установка етчингу ICP
  • MDICP-5000F Всістійна автоматична установка етчингу ICP
  • MDICP-5000F Всістійна автоматична установка етчингу ICP
  • MDICP-5000F Всістійна автоматична установка етчингу ICP

MDICP-5000F Всістійна автоматична установка етчингу ICP

Модель: MDICP-5000F

Отримати безкоштовну цитату
MDICP-5000F Всістійна автоматична установка етчингу ICP
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Експертний звіт:

Устаткування є системою вакуумних камер з двома камера. Одна камера є камера введення проби, а інша - це камера етчингу. Між камерою введення проб та камерою етчингу встановлений вакуумний замок, а введення проби перевозиться маніпулятором.
Обладнання головним чином складається з вакуумної системи, газового контурного системи, електричної системи, системи керування, системи охолодження, механізму підачі та забору плівки, системи сигналізації тощо.

Вакуумна система:

Система складається з молекулярного насоса з об'ємом 600 Л/с + імпортного вакуумного сухого насоса з об'ємом L/с для наведення високого вакууму у камере етчуючого процесу. Між молекулярним насосом та камерою етчуючого процесу встановлено електричний регульований клапан. Імпортний сухий насос є передбачувальним насосом для камери етчуючого процесу та передусійним насосом для молекулярного насоса. Використовується ще один механічний насос з об'ємом L/с для створення вакууму у камері зразків. Для з'єднання механічного насоса з вакуумною камерою та молекулярним насосом використовуються нержавільні балони. Установлений електромагнітний пневматичний блокуючий клапан.

Система контролю постійного тиску

Обладнання оснащене системою керування сталим тиском у нижньому потоці, а в лінії викиду повітря встановлено електричний регулювальний кран. За допомогою вимірювання мембранного манометра (імпортні компоненти) керується регулювальним краном, щоб вакуумна камера досягала сталого тиску, що сприяє підвищенню стабільності процесу.

Система контролю постійного тиску

Обладнання оснащене системою керування сталим тиском у нижньому потоці, а в лінії викиду повітря встановлено електричний регулювальний кран. За допомогою вимірювання мембранного манометра (імпортні компоненти) керується регулювальним краном, щоб вакуумна камера досягала сталого тиску, що сприяє підвищенню стабільності процесу.

Газова система

Два комплекти РЧ-джерела з автоматичним настройками.

Система тривоги

Безпечність вимог до обладнання.
Специфікація
Ім'я
Spc
Бренд
Номер\/Комплект
Примітка
Камера етчингу, лінія викиду повітря, вікно спостереження, резервний інтерфейс тощо
Стандартних
JSWN
1
Протизасобний
Каркас, електричний шаф, пломбування, стандартні деталі тощо
Стандартних
JSWN
1
Система підйому кришки етching камери
Стандартних
JSWN
1
Протизасобний
Етching електрод та система охолодження
Стандартних
JSWN
1
Протизасобний
Молекулярний насос (швидкість накачування 600 Літрів / с)
FF620/150
KYKY
1
Протизасобний
Вхідний сухий насос (швидкість накачування 9 Літрів / с)
XDS-35I
EDWARDS
1
Протизасобний
Механічний насос (швидкість накачування 9 Літрів / с)
TRP-36
BWVAC
1
Електричний регулювальний шлопотний кран
DCQ-150
JSWN
1
Протизасобний
Пневматичний манжетний зупиняючий кран
KF40
JSWN
3
Протизасобний
Фільмовий манометр
KF16
INFICON
1
Протизасобний
Контролер масового потоку
D07
Sevenstar
4
Протизасобний
Пневматичний мембранный кран
1/4″VCR
-
4
Протизасобний
Нержавійка труба, з'єднання труб тощо
1/4″VCR
-
4
Протизасобний
РФ джерело живлення / автоматичний вузлик
-
Китай(Опціонально CROWN1310)
1
РФ джерело живлення / автоматичний вузлик
-
Китай(Опціонально CROWN1310)
1
Складний вакуумний манометр
ZDF
RB
1
МПК
2U
Китаї
1
LCD сенсорний екран
17 дюймів
Китаї
1
Система керування PLC
S7-200
Сіменс
1
Система керування електроприводом
Стандартних
JSWN
1
Система виявлення охолоджувальної води та трубопроводів
Стандартних
JSWN
1
Система виявлення стиснутого повітря та трубопроводів
Стандартних
JSWN
1
Машина для циркуляції охолоджувальної води
HX
Китаї
1
Камера для ін'єкційної етчингу
Стандартних
JSWN
1
Вакуумний замок
SMC
SMC
1
Система керування маніпулятором
SMC
SMC
1

Технічний параметр пошти

1. Граничний вакуум: камера етчингу 9.0×10-5Па (вологість приміщення≤55%)
Камера зразків для ін'єкції 6.0×10-1Па
2. Етчуючий матеріал: Ⅲ,Ⅴ матеріал, Si, SiO2 тощо
3. Швидкість етчуючого процесу: ~ 1μ/хв
4. Рівномірність етчуючого процесу: ≤±5％ (область φ125мм)
6. Розмір електроди: φ200мм

Часті запитання

1. Про ціну:

Усі наші ціни є конкурентоспроможними та переговорними. Ціна варіюється в залежності від конфігурації та складності індивідуального замовлення вашого пристрою.

 

2. Про вибірку:

Ми можемо надати послуги виробництва вибірок для вас, але вам можливо доведеться оплатити деякі витрати.

 

3. Про оплату:

Після підтвердження плану, вам потрібно спочатку заплатити нам депозит, і завод почне готувати товар. Після того як обладнання буде готове, а ви сплатите решту, ми його відправимо.

 

4. Про доставку:

Після завершення виготовлення обладнання, ми надішлемо вам відео приймання, і ви також можете приїхати на місце для перевірки обладнання.

 

5. Монтаж та налагодження:

Після того як обладнання дістанеться до вашого заводу, ми можемо направити інженерів для встановлення та налагодження обладнання. Ми надамо вам окреме пропозицію для цієї послуги.

 

6. Про гарантію:

Наше обладнання має гарантійний термін 12 місяців. Після закінчення гарантійного терміну, якщо будь-які деталі пошкодяться і їх потрібно замінити, ми зарахуємо лише вартість матеріалів.

 

7. Післяпродажне обслуговування:

Усі машини мають гарантійний термін більше одного року. Наші технічні інженери завжди онлайн, щоб надати вам послуги з встановлення, налаштування та обслуговування обладнання. Ми можемо надати послуги з встановлення та налаштування на місці для спеціального та великого обладнання.

Більше товарів

Запит

Авторське право © Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені

Політика конфіденційності

Запит Email Whatsapp WeChat
Верхній
×

Зв’яжіться з нами