структура |
проілюструйте |
Поверхня експозиції |
Область експозиції: поверхня столу, зона розміщення субстрату |
Оптична система |
Зона формування лазерного випромінювання |
Система керування середовищем |
Керування внутрішньою температурою та додатним тиском пристрою |
Система платформи |
Керує рухом столу експозиції для виконання операції шляху експозиції |
Система управління |
Система керування всією установкою |
№ |
Навколишнє середовище |
Потрібую |
1 |
Світловий середовище |
Жовте світло |
2 |
Температура |
22℃±2℃ |
3 |
Вологість |
50%±10% |
4 |
Чистоти |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, сухий, чистий повітря |
6 |
Блок живлення |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Заземлювальна проводка має бути заземлена |
7 |
Охолоджувальна вода |
Температура：10℃~ 20℃ Тиск：0.3MPa ~ 0.5MPa Швидкість потоку：20Л/хв Різниця тиску：0.3MPa і більше Діаметр з'єднання：Rc3/8 |
8 |
Місце проведення |
рівень：±3мм/3000мм коливання：VC-B Валовий підшипник：750кг/м² |
10 |
Інтернет |
Один мережевий порт |
11 |
Розмір машини |
1300*1100*2100мм |
12 |
Вага пристрою |
1500кг |
№ |
Проект |
Специфікація. |
Примітка |
1 |
Роздільна здатність |
0.6мкм/або інше вимоги |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Товщина субстрату |
0.2мм～4мм |
|
4 |
Точність сітки датчиків |
60нм |
|
5 |
Наложення |
±500нм |
130ммx130мм |
6 |
Точність стыкування |
±200нм |
AZ703 |
7 |
Максимальний розмір експозиції |
190X190мм |
|
8 |
Пропускна здатність |
≥300мм²/хв |
≤50мдж/см²; |
9 |
джерело світла |
LD 375нм |
|
10 |
світлова потужність |
6Вт |
|
11 |
Енергетична однорідність |
≥95% |
|
12 |
термін служби світла |
10000год |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Авторське право © Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
