Модель: MDST-6100
Сухий плазмовий ашер з індукційно зв’язаною плазмою (ICP) придатний для застосувань, таких як видалення залишків фоторезисту (попередня обробка та видалення залишків), видалення полімерів (PI, BCB, PBO) та видалення фоторезисту після іонної імплантації; робоча камера призначена для зразків діаметром 8 дюймів (з можливістю обробки зразків діаметром 4 та 6 дюймів).
Сухий плазмовий засіб для видалення фоторезисту ICP
Сухий плазмовий ашер з індукційно зв’язаною плазмою (ICP) придатний для застосувань, таких як видалення залишків фоторезисту (попередня обробка та видалення залишків), видалення полімерів (PI, BCB, PBO) та видалення фоторезисту після іонної імплантації; робоча камера призначена для зразків діаметром 8 дюймів (з можливістю обробки зразків діаметром 4 та 6 дюймів).
Зовнішній вигляд обладнання підлягає постійним модернізаціям і коригуванням; дійсним є фактично поставлене товарне обладнання.
Переваги:
Високий ступінь йонізації та розкладання плазми
Після плазмової обробки досягається висока відтворюваність
Сухе травлення, без джерел забруднення
Контроль тиску та температури за допомогою метеликоподібних клапанів
Здатність підтримувати плазму при високому тиску
Розділення джерела високої напруги та генератора йонів
Сумісність хвилеводного з’єднання та магнітного кола
Можливість задовольняти вимоги замовників
Низька температура під час обробки
Швидка швидкість реагування та короткий час відгуку
Модель |
MDST6100 |
Plasma source |
радіочастота |
потужність |
1000 Вт |
Сфера застосування |
8 дюймів (сумісний із 4 або 6 дюймами) |
Розмір коробки |
25 штук |
Загальні розміри |
Д1696×Ш2170×В2146 мм |
Системне керування |
ПЛК |
Система матеріальних контейнерів |
Автоматичний |
Фактичні фотографії обладнання:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Авторське право © Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
