Сухий плазмовий засіб для видалення фоторезисту ICP , China Сухий плазмовий засіб для видалення фоторезисту ICP Manufacturers, Suppliers, Factory - Компанія Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Сухий плазмовий засіб для видалення фоторезисту ICP

Сухий плазмовий засіб для видалення фоторезисту ICP призначений переважно для видалення полімерів, пепелізації, видалення залишків фоторезисту (descumming), видалення фоторезисту після іонної імплантації та очищення поверхонь від залишків. Камера MDST3100 приймає зразки розміром від 4 до 8 дюймів із обробкою одного кремнієвого пластина за цикл, тоді як камера MDST3200 приймає зразки розміром від 4 до 8 дюймів із обробкою двох пластин за партію.

Зовнішній вигляд обладнання підлягає постійним модернізаціям і коригуванням; дійсним є фактично поставлене товарне обладнання.

头图4.jpg

工艺流程.png(5c78296a74).jpg 去除光刻胶去胶机 (5)(130d03181e).jpg

Мивка

Видалення полімерів

DESCUM

Сухе очищення шару важкого маскувального матеріалу

Видалення фоторезисту після іонного легування

Видалення поверхневих залишків

Видалення фоторезисту в процесі виготовлення BAW/SAW

Сухе очищення шару антиблискового графічного плівкового матеріалу

Очищення поверхні після етчингу

Переваги:

Високий ступінь йонізації та розкладання плазми

Після плазмової обробки досягається висока відтворюваність

Сухе травлення, без джерел забруднення

Контроль тиску та температури за допомогою метеликоподібних клапанів

Здатність підтримувати плазму при високому тиску

Розділення джерела високої напруги та генератора йонів

Сумісність хвилеводного з’єднання та магнітного кола

Можливість задовольняти вимоги замовників

Низька температура під час обробки

Швидка швидкість реагування та короткий час відгуку

Test data 2.jpg Test data 1.jpg Test data 3.jpg

Модель		MDST3100	MDST3200
Plasma source		RF	RF
Потужність	ICP	1000 Вт	1000 Вт
	BIAS	НА	НА
Сфера застосування		4-8 дюймів	4-8 дюймів
Кількість пластин, перероблених в одній операції		1	2
Загальні розміри		1300×1190×1847 мм	1300×1650×1850 мм
Системне керування		Промислова система керування
ступінь автоматизації		Автоматичний