Високоточна машина для приклеювання кристалів

Опис:

1. Станція LF
2. завантаження магазину ；
3. обмін магазином без зупинки ；
4. магазин містить кількість: 3 шт. ；
5. Дозувальна станція LF: опційний кільцевий дозатор і штампувальний дозатор ；

Станція підхоплення матриці важільним маніпулятором (swing arm) 1:

1. Роторне пристроєння з високотемпературним пальником потужністю 2000 Вт, керування сервомотором, поворот на 180 градусів, регулювання тиску присоски
2. точність розміщення матриці: < ±25 мкм> ；
3. точність кутового розміщення матриці: < ±3° > ；
4. контроль відсутності матриці.

Станція пластини 1:

сумісна з пластинами (wafer) діаметром 12 дюймів, приймає також пластини діаметром 8 дюймів ；

функція автоматичного розширення пластина ；

Перевірка системи CCD та позиціонування пластини ；

автоматичне регулювання кута розташування пластини. 。

Станція коригування:

1. використовує лінійний двигун і високоточну штрихову шкалу для забезпечення точності.
2. обертальний привід з керуванням п’ятифазним двигуном

Лінійна станція підняття кристалів 2:

1. лінійний метод захоплення та розміщення кристалів, регулювання сили натиску;
2. точність розміщення матриці: < ±15 мкм~ ±25 мкм>;
3. точність кута штампу: < ±1° >;
4. контроль відсутності матриці.

Квитанція:

1. прийомний стаціонарний магазин з можливістю штабелювання ；
2. робота без зупинки під час прийому.

Базова функція ：

1. операційна система: Windows 7
2. інтерфейс ：Китайська та англійська
3. час циклу ：720 шт./хв. (макс.) ≥5К
4. точність положення в цілому ：±15 мкм~ ±25мкм
5. кутове положення в цілому ：±1°
6. діаметр матриці ：1 мм × 1 мм ～10 мм * 10 мм
7. Розмір LF ：довжина ≤ширина 260 мм ≤80 мм²
8. потужність ：220В ±10v ，50 Гц, 700 Вт
9. повітряний （тиск ）：5～6 кгф/см2

Функція:

1. функція перевірки відсутності кристалів
2. програма без обмежень щодо кількості зберігання
3. зовнішня система безперебійного живлення
4. вбудований вакуумний насос
5. з функцією картографування
6. перевірка якості приклеювання кристалів
7. функція зворотної перевірки
8. розміри Д×Ш×В: 2200 мм × 1400 мм × 1600 мм （）
9. Вага: 1500 кг

Станція підбору ：

1. підбирати інструмент ：вибір поверхні
2. колінчаста рука ：180°роторний
3. підйом тиску ：20г ～200г

Станція з'єднання ：

1. голова ：обертовий ，поверхневий монтер
2. стілевий бік ：лінійне переміщення
3. тиск при прикріпленні кристала ：20г ～200г
4. станція для пластина ：максимальний хід: 12″ × 12″ (325 мм × 325 мм)
5. точність повторення ：±2 мкм
6. хід витискання: 3 мм (макс.)

Лінійна система прикріплення кристалів ：точність повторення ：±2 мкм

Система дозування:

1. двоканальна система дозування
2. система завантаження та вивантаження
3. журнал
4. максимальний розмір каркасу виводів ：80 мм ×260мм