структурний стиль |
Горизонтальна, система з однією або багатьма трубками з автоматичним керуванням |
Відповідає розміру пластинки |
2-8″ |
Метод доставки та отримання пластинки |
Автоматичний кільцевий кварцовий човен з приводом «натиск-тягнення», поєднаний із ручним заборонням та випуском чипів. |
максимальна температура |
1050℃ |
робоча температура |
400 ℃~850 ℃ неперервно регулювано |
Стабільність температури в одній точці |
400℃~850℃≤±0.5℃/24г |
Системний граничний вакуум |
Краще за 1Па |
швидкість накачування |
Час накачування до граничного вакууму < 15хв |
Діапазон робочого тиску |
від 5Па до 1 × 105Па неперервно регулювано |
Блок живлення |
3-фазний 5-проводний 380В±10%, 50Гц |
охолоджувальна вода |
2~4Кгс/см², 8Л/хв; |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Авторське право © Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
