Вона складається з джерела живлення іонів, вакуумної системи, системи подачі газу, автоматичної системи керування та інших компонентів. Основний принцип роботи полягає в тому, що у вакуумному стані плазма може іонізувати газ у контрольований і якісно визначений спосіб. Вакуумний насос використовується для відкачки робочої камери до вакууму 10–40 Па, після чого газ іонізується під дією високочастотного генератора, утворюючи плазму (четвертий стан речовини). Її характерною особливістю є висока рівномірність світіння в розряді «ножове сяйво»; залежно від типу газу випромінюється видиме кольорове світло — від блакитного до темно-фіолетового. Температура обробки матеріалу наближається до кімнатної. Ці високоактивні частинки взаємодіють із оброблюваною поверхнею, забезпечуючи різні модифікації поверхні, зокрема: підвищення гідрофільності, водовідштовхування, зниження коефіцієнта тертя, високоякісне очищення, активацію та травлення.
Переваги плазмової обробки: 1. Технологія охорони навколишнього середовища: процес дії плазми є газо-твердофазною узгодженою реакцією, яка не споживає водні ресурси, не потребує додавання хімічних речовин і не забруднює навколишнє середовище. 2. Універсальність: може застосовуватися до будь-якого типу оброблюваної основи, зокрема до металів, напівпровідників, оксидів та більшості полімерних матеріалів, які добре піддаються обробці. 3. Низька температура: температура близька до кімнатної, особливо підходить для полімерних матеріалів; забезпечує триваліший термін зберігання та вищу поверхневу натяжність порівняно з коронним розрядом та полум’ям. 4. Висока ефективність: впливає лише на поверхневий шар полімерного матеріалу (10–1000 Å), надаючи один або кілька нових функціональних властивостей без зміни власних характеристик матеріалу. 5. Низька вартість: пристрій має просту конструкцію, його легко експлуатувати та обслуговувати, а також можна використовувати безперервно. Зазвичай кілька балонів газу можуть замінити тисячі кілограмів очищувальної рідини, тому вартість очищення значно нижча, ніж при вологому способі. 6. Контрольований процес на всіх етапах
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA



























