


ขนาดของเวเฟอร์ |
เวเฟอร์ขนาด 4”~8” |
ความหนาของเวเฟอร์ |
100~750 ไมครอน |
ประเภทเวเฟอร์ |
Si, SiC, GaN, หรือวัสดุอื่นๆ |
ประเภทฟิล์ม |
ฟิล์มสีน้ำเงิน, ฟิล์ม UV ความกว้าง: 230 ~ 300 มม. ความยาว: 100 ม. ความหนา: 0.05 ~ 0.2 มม. |
แหวนบรรทุกเวเฟอร์ |
6”, 8” DISCO |
วิธีการโหลดและ缷 |
การวางและการถอดเวเฟอร์/แหวนบรรทุกด้วยมือ |
ความแม่นยำในการวางฟิล์ม |
±0.5มม. แผ่นเวเฟอร์มาตรฐานขนาด 6” และ 8” สำหรับเวเฟอร์ขนาด 6” และ 8” |
ปั๊มสุญญากาศ |
Minder-Hightech |
การควบคุมไฟฟ้าสถิต |
พัดลมดีไอโอไนเซชัน |
หน่วยควบคุม |
ควบคุมโดย PLC พร้อมหน้าจอสัมผัสขนาด 10” |
การป้องกันความปลอดภัย |
ติดตั้งระบบป้องกันแสงเส้นและปุ่มหยุดฉุกเฉิน |
แรงดันไฟฟ้าจ่าย |
ไฟฟ้าเฟสเดียว AC 220V, 16A |
อากาศอัด |
0.45~0.6MPa อัตราการไหล 70L/min |
ตัวเครื่อง |
โครงสร้างโลหะเคลือบพลาสติกสีขาว |
ระดับเสียง |
850มม. (กว้าง)*1750มม. (ลึก)*1970มม. (สูง) |
น้ำหนักสุทธิ |
480กก. |


ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์