เครื่องกัดด้วยไอออนปฏิกิริยา (RIE) , China เครื่องกัดด้วยไอออนปฏิกิริยา (RIE) Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

RIE เครื่องกัดกร่อนแบบไอออนปฏิกิริยา

การประยุกต์ใช้งานด้านการวิจัยของเครื่องกัดกร่อนแบบ RIE หรือ reactive ion etching ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการประมวลผลระดับไมโคร-นาโน สะท้อนให้เห็นเป็นหลักในการประมวลผลโครงสร้างระดับนาโน การกัดกร่อนวัสดุใหม่ การผลิตอุปกรณ์ที่ซับซ้อน และการก้าวผ่านขีดจำกัดทางเทคโนโลยีระหว่างสาขาวิชาต่าง ๆ คุณค่าหลักของมันอยู่ที่การกำจัดวัสดุให้ได้ความแม่นยำสูงและเลือกจำเพาะสูง โดยการควบคุมร่วมกันระหว่างการชนทางกายภาพและปฏิกิริยาเคมี เพื่อสนับสนุนการสำรวจอุปกรณ์และเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์แนวหน้าและการนวัตกรรม

คุณสมบัติของอุปกรณ์:

1. มีความแม่นยำและความไม่สมมาตรสูง: สามารถกัดกร่อนลวดลายให้ได้ผนังด้านข้างตั้งฉากและมีขนาดที่แม่นยำ
2. มีความสม่ำเสมอและความสามารถในการทำซ้ำได้ดี: เหมาะสำหรับการผลิตในปริมาณมาก
3. วัสดุใช้งานได้หลากหลาย: โดยการเลือกผสมก๊าซที่แตกต่างกัน สามารถกัดกร่อนวัสดุหลายประเภท (เช่น สารกึ่งตัวนำ ฉนวน โลหะ เป็นต้น)
4. อัตราส่วนการเลือกจำเพาะสูง: สามารถกัดกร่อนวัสดุเฉพาะเจาะจงได้อย่างแม่นยำ โดยไม่ก่อให้เกิดความเสียหายอย่างมีนัยสำคัญต่อวัสดุประเภทอื่น
5. การทำความสะอาด: เป็นกระบวนการแบบแห้ง หลีกเลี่ยงปัญหาที่เกี่ยวข้องกับการทำความสะอาดและการจัดการน้ำเสียที่เกิดจากกระบวนการกัดกร่อนแบบเปียก

ข้อมูลจำเพาะ

การตั้งค่าระบบ:

เครื่องทำความร้อนไฟฟ้า	ห้องปฏิบัติการ (Single cavity)
เครื่องทำความร้อนไฟฟ้า		ไม่มีข้อมูล
ประเภทขั้วไฟฟ้าด้านล่าง	242mm
ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน	-20-100°C
แหล่งพลาสมา	600W-1000W
ขนาดมาตรวัดความดันกระบวนการ	100mtorr
ระบบสูบ	หน่วยปั๊มโมเลกุล ระบบปั๊มแห้ง ห้องกระบวนการ
จำนวนห้องกัดกร่อน	ห้องเดียว
เครื่องจับ	ประเภท	ขนาด/mm	วัสดุ
เครื่องจับ		ไม่มีข้อมูล	8、6、4、3、2
ตัวตรวจจุดสิ้นสุด	ตัวเลือก
พลาสมาเหนี่ยวนำ	ตัวเลือก

ข้อมูลทางเทคนิค:

วัสดุสำหรับการแกะสลัก	Si、Sio, Sin、Sau、Pt、Al
อัตราการกัดกร่อน	>20 นาโนเมตร/นาที (วัสดุ Si02) อัตราการกัดกร่อนของวัสดุแต่ละชนิดจะแตกต่างกัน
การควบคุมแบบกระจาย	>85°
วิธีการโหลด	การโหลดแบบเปิด
ท่อแก๊สควบคุมด้วย MFC	มีถังแก๊สจำนวนหกถัง
ตัวเลือกการระบายความร้อนด้วยฮีเลียมจากด้านหลัง	ใช่
อินเทอร์เฟซระหว่างมนุษย์กับเครื่องจักร	ระบบสัมผัสหน้าจอ
โหมดการทำงาน	โหมดอัตโนมัติเต็มรูปแบบ และโหมดไม่ได้อัตโนมัติเต็มรูปแบบ
การเลือกและการตั้งค่าอุปกรณ์อัตโนมัติ	คุณสามารถเลือกได้ว่าจะใช้ชิ้นส่วนนำเข้า หรือชิ้นส่วนในประเทศ

กรณีการใช้

การบรรจุภัณฑ์และการจัดส่ง

คำถามที่พบบ่อย

1. เกี่ยวกับราคา:
ราคาทั้งหมดของเราเป็นราคาที่แข่งขันได้และสามารถต่อรองได้ ราคาจะแตกต่างกันไปตามการกำหนดค่าและความซับซ้อนของการปรับแต่งของอุปกรณ์ของคุณ

2. เกี่ยวกับตัวอย่าง:
เราสามารถให้บริการผลิตตัวอย่างสำหรับคุณได้ แต่คุณอาจต้องชำระค่าธรรมเนียมบางส่วน

3. เกี่ยวกับการชำระเงิน:
หลังจากแผนได้รับการยืนยันแล้ว คุณจำเป็นต้องจ่ายเงินมัดจำให้เราเป็นลำดับแรก จากนั้นโรงงานจะเริ่มเตรียมสินค้า เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระยอดคงเหลือ เราจะทำการจัดส่ง

4. เกี่ยวกับการจัดส่ง:
หลังจากการผลิตอุปกรณ์เสร็จสมบูรณ์ เราจะส่งวิดีโอการยอมรับให้คุณ และคุณยังสามารถมาตรวจสอบอุปกรณ์ที่สถานที่ได้

5. การติดตั้งและการปรับแต่ง:
หลังจากอุปกรณ์มาถึงโรงงานของคุณ เราสามารถส่งวิศวกรไปติดตั้งและปรับแต่งอุปกรณ์ เราจะเสนอราคาแยกต่างหากสำหรับค่าใช้จ่ายบริการนี้

6. เกี่ยวกับการรับประกัน:
อุปกรณ์ของเราครอบคลุมระยะเวลาการรับประกัน 12 เดือน หลังจากระยะเวลาการรับประกัน หากชิ้นส่วนใดเสียหายและต้องเปลี่ยน เราจะเรียกเก็บเฉพาะราคากost

7. บริการหลังการขาย:
เครื่องจักรทุกเครื่องมีระยะเวลารับประกันมากกว่าหนึ่งปี วิศวกรเทคนิคของเราพร้อมให้บริการคุณตลอดเวลา เพื่อช่วยในการติดตั้ง อุปกรณ์ ปรับแต่ง และบริการบำรุงรักษา เราสามารถให้บริการติดตั้งและปรับแต่งอุปกรณ์พิเศษหรือขนาดใหญ่ถึงสถานที่จริง