1. ขนาดแผ่นเวเฟอร์สูงสุดสำหรับการขัดและ珩磨คือ 6 นิ้ว
2. มุมแกว่งของแขนแกว่งสามารถปรับได้ตั้งแต่ 0 ถึง 15 องศา
3. ความเร็วของการแกว่งของแขนแกว่งสามารถปรับได้อย่างสม่ำเสมอ
4. อัตราการหยดสามารถปรับได้อย่างสม่ำเสมอบetween 1 ถึง 100 มล./นาที
5. การควบคุมหน้าจอ LCD แบบเต็ม
6. ความเร็วของแผ่นอยู่ที่ 5-100 รอบต่อนาที