

| ชื่อ  | เครื่องทำความสะอาดพลาสมาในสุญญากาศ  | 
| รุ่น  | MD-10L-RF  | 
| ระบบควบคุม    | PLC+ หน้าจอสัมผัส  | 
| ความถี่  | 13.56 MHz  | 
| โลต  | AC 220V (±10V) เฟสเดียว  | 
| พลังงาน  | 100-300 W (ปรับได้)  | 
| การควบคุมการไหลของก๊าซ  | การควบคุมการไหลของลูกลอยแบบ 2 ทิศทาง  | 
| วิธีการควบคุม  | วิธีอัตโนมัติและด้วยมือ  | 
| ขนาดช่องว่าง (ก*ย*ส) มม.  | 250×200×200 | 
| วัสดุโพรง  | สเตนเลส 316 / โลหะผสมอะลูมิเนียม  | 
| ข้อมูลการบรรทุก (L*W) มม.  | 175×185 (ทั้งหมดสามถาด)  | 
| ขนาดของเครื่อง (L*W*H) มม.  | 600×560×520 | 
| ปริมาตรช่องว่าง  | 10 ลิตร  | 
| ระดับความว่างเปล่า  | 30- 100 พา  | 
| ก๊าซเลือก  | Ar、N2、O2、อากาศ、H2+N2 (ส่วนผสม)  | 

ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์