









| แผ่นเวเฟอร์ที่สามารถบดได้  | ขนาด  | นิ้ว  | 4,5,6,8 | 
| วิธีการถู  | - | วิธีการบดแบบพุ่งลงตั้งฉาก  | |
| แกนของล้อบด  | ประเภท  | - | หมุดอากาศ  | 
| จำนวน  | - | 1 | |
| ความเร็ว    | รอบต่อนาที  | 0~5000 | |
| กำลังไฟฟ้าออก    | กิโลวัตต์  | 5.5/7.5 | |
| ช่วงการเคลื่อนที่    | มม  | 150 | |
| ความเร็วในการป้อน    | um/s  | 0.01~100 | |
| ความเร็วในการข้ามไปข้างหน้า  | มม/นาที    | 300 | |
| ความละเอียด    | อืม  | 0.1 | |
| แกนชิ้นงาน  | ประเภท  | - | ลูกปืน  | 
| จำนวน  | - | 1 | |
| ความเร็ว    | รอบต่อนาที  | 0~300 | |
| พลังงาน  | กิโลวัตต์  | 0.75 | |
| ชนิดดูดติด  | - | เซรามิกแบบรูพรุนเล็ก  | |
| วิธีดูดเวเฟอร์  | - | การดูดด้วยแรงดูด  | |
| การถ่ายโอนเวเฟอร์  | - | คู่มือ  | |
| หน้าที่อื่น ๆ  | การจัดศูนย์กลางของเวเฟอร์  | - | - | 
| การทำความสะอาดเวเฟอร์  | - | - | |
| การทำความสะอาดคัพดูด  | - | - | |
| ใบเจียร  | มม  | φ200  | |
| ออนไลน์    การวัด | ช่วงการวัด  | อืม  | 0~1800 | 
| ความละเอียด    | อืม  | 0.1 | |
| ความแม่นยำในการทำซ้ำ    | อืม  | ±0.5 | |
| การแปรรูป  ความแม่นยำ | ความแม่นยำภายในเวเฟอร์ (TTV)  | อืม  | ≤2 | 
| ความแม่นยำระหว่างแผ่น (WTW)  | อืม  | ±3 | |
| ความขรุขระของผิว (Ry)  | อืม  | 0.1(2000#finish)  | |
| ลักษณะ  | การแต่งสีลักษณะ  | อืม  | ลวดลายส้ม  | 
| มิติ(กว้าง×ลึก×สูง)  | มม  | 690×1720×1780 | |
| น้ำหนัก  | กิโลกรัม  | 1400 | 
| แผ่นเวเฟอร์ที่สามารถบดได้  | ขนาด  | นิ้ว  | 6,8,12 | 
| วิธีการถู  | - | วิธีการบดแบบพุ่งลงตั้งฉาก  | |
| แกนของล้อบด  | ประเภท  | - | หมุดอากาศ  | 
| จำนวน  | - | 1 | |
| ความเร็ว    | รอบต่อนาที  | 0~5000 | |
| กำลังไฟฟ้าออก    | กิโลวัตต์  | 5.5/7.5 | |
| ช่วงการเคลื่อนที่    | มม  | 150 | |
| ความเร็วในการป้อน    | um/s  | 0.01~100 | |
| ความเร็วในการข้ามไปข้างหน้า  | มม/นาที    | 300 | |
| ความละเอียด    | อืม  | 0.1 | |
| แกนชิ้นงาน  | ประเภท  | - | ลูกปืน  | 
| จำนวน  | - | 1 | |
| ความเร็ว    | รอบต่อนาที  | 0~300 | |
| ชนิดดูดติด  | - | เซรามิกแบบรูพรุนเล็ก  | |
| วิธีดูดเวเฟอร์  | - | การดูดด้วยแรงดูด  | |
| การถ่ายโอนเวเฟอร์  | - | คู่มือ  | |
| หน้าที่อื่น ๆ  | การจัดศูนย์กลางของเวเฟอร์  | - | - | 
| การทำความสะอาดเวเฟอร์  | - | - | |
| การทำความสะอาดคัพดูด  | - | - | |
| ใบเจียร  | มม  | φ300  | |
| ออนไลน์    การวัด | ช่วงการวัด  | อืม  | 0~1800 | 
| ความละเอียด    | อืม  | 0.1 | |
| ความแม่นยำในการทำซ้ำ    | อืม  | ±0.5 | |
| การแปรรูป  ความแม่นยำ | ความแม่นยำภายในเวเฟอร์ (TTV)  | อืม  | ≤3 | 
| ความแม่นยำระหว่างแผ่น (WTW)  | อืม  | ±3 | |
| ความขรุขระของผิว (Ry)  | อืม  | 0.13(2000#finish)  | |
| ลักษณะ  | การแต่งสีลักษณะ  | อืม  | ลวดลายส้ม  | 
| มิติ(กว้าง×ลึก×สูง)  | มม  | 790×2170×1830 | |
| น้ำหนัก  | กิโลกรัม  | 1800 | 





ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์