









แผ่นเวเฟอร์ที่สามารถบดได้ |
ขนาด |
นิ้ว |
4,5,6,8 |
วิธีการถู |
- |
วิธีการบดแบบพุ่งลงตั้งฉาก |
|
แกนของล้อบด |
ประเภท |
- |
หมุดอากาศ |
จำนวน |
- |
1 |
|
ความเร็ว |
รอบต่อนาที |
0~5000 |
|
กำลังไฟฟ้าออก |
กิโลวัตต์ |
5.5/7.5 |
|
ช่วงการเคลื่อนที่ |
มม. |
150 |
|
ความเร็วในการป้อน |
um/s |
0.01~100 |
|
ความเร็วในการข้ามไปข้างหน้า |
มม/นาที |
300 |
|
ความละเอียด |
อืม |
0.1 |
|
แกนชิ้นงาน |
ประเภท |
- |
ลูกปืน |
จำนวน |
- |
1 |
|
ความเร็ว |
รอบต่อนาที |
0~300 |
|
พลังงาน |
กิโลวัตต์ |
0.75 |
|
ชนิดดูดติด |
- |
เซรามิกแบบรูพรุนเล็ก |
|
วิธีดูดเวเฟอร์ |
- |
การดูดด้วยแรงดูด |
|
การถ่ายโอนเวเฟอร์ |
- |
คู่มือ |
|
หน้าที่อื่น ๆ |
การจัดศูนย์กลางของเวเฟอร์ |
- |
- |
การทำความสะอาดเวเฟอร์ |
- |
- |
|
การทำความสะอาดคัพดูด |
- |
- |
|
ใบเจียร |
มม. |
φ200 |
|
ออนไลน์ การวัด |
ช่วงการวัด |
อืม |
0~1800 |
ความละเอียด |
อืม |
0.1 |
|
ความแม่นยำในการทำซ้ำ |
อืม |
±0.5 |
|
การกลึง ความแม่นยำ |
ความแม่นยำภายในเวเฟอร์ (TTV) |
อืม |
≤2 |
ความแม่นยำระหว่างแผ่น (WTW) |
อืม |
±3 |
|
ความขรุขระของผิว (Ry) |
อืม |
0.1(2000#finish) |
|
ลักษณะ |
การแต่งสีลักษณะ |
อืม |
ลวดลายส้ม |
มิติ(กว้าง×ลึก×สูง) |
มม. |
690×1720×1780 |
|
น้ำหนัก |
กิโลกรัม |
1400 |
แผ่นเวเฟอร์ที่สามารถบดได้ |
ขนาด |
นิ้ว |
6,8,12 |
วิธีการถู |
- |
วิธีการบดแบบพุ่งลงตั้งฉาก |
|
แกนของล้อบด |
ประเภท |
- |
หมุดอากาศ |
จำนวน |
- |
1 |
|
ความเร็ว |
รอบต่อนาที |
0~5000 |
|
กำลังไฟฟ้าออก |
กิโลวัตต์ |
5.5/7.5 |
|
ช่วงการเคลื่อนที่ |
มม. |
150 |
|
ความเร็วในการป้อน |
um/s |
0.01~100 |
|
ความเร็วในการข้ามไปข้างหน้า |
มม/นาที |
300 |
|
ความละเอียด |
อืม |
0.1 |
|
แกนชิ้นงาน |
ประเภท |
- |
ลูกปืน |
จำนวน |
- |
1 |
|
ความเร็ว |
รอบต่อนาที |
0~300 |
|
ชนิดดูดติด |
- |
เซรามิกแบบรูพรุนเล็ก |
|
วิธีดูดเวเฟอร์ |
- |
การดูดด้วยแรงดูด |
|
การถ่ายโอนเวเฟอร์ |
- |
คู่มือ |
|
หน้าที่อื่น ๆ |
การจัดศูนย์กลางของเวเฟอร์ |
- |
- |
การทำความสะอาดเวเฟอร์ |
- |
- |
|
การทำความสะอาดคัพดูด |
- |
- |
|
ใบเจียร |
มม. |
φ300 |
|
ออนไลน์ การวัด |
ช่วงการวัด |
อืม |
0~1800 |
ความละเอียด |
อืม |
0.1 |
|
ความแม่นยำในการทำซ้ำ |
อืม |
±0.5 |
|
การกลึง ความแม่นยำ |
ความแม่นยำภายในเวเฟอร์ (TTV) |
อืม |
≤3 |
ความแม่นยำระหว่างแผ่น (WTW) |
อืม |
±3 |
|
ความขรุขระของผิว (Ry) |
อืม |
0.13(2000#finish) |
|
ลักษณะ |
การแต่งสีลักษณะ |
อืม |
ลวดลายส้ม |
มิติ(กว้าง×ลึก×สูง) |
มม. |
790×2170×1830 |
|
น้ำหนัก |
กิโลกรัม |
1800 |





ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์