เครื่องเจียระไนและขัดผิวอย่างแม่นยำสำหรับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ , China เครื่องเจียระไนและขัดผิวอย่างแม่นยำสำหรับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

ภาพรวมของอุปกรณ์:

เครื่องขัดและขัดเงา MDAM-CMP100/150 เป็นอุปกรณ์ขัดและขัดเงาแบบความแม่นยำสูง ที่ใช้งานได้หลากหลาย เช่น วัสดุเซมิคอนดักเตอร์และวัสดุออปโตอิเล็กทรอนิกส์ โดยใช้เป็นหลักสำหรับการขัดและการลดความหนาของชิปวัสดุเซมิคอนดักเตอร์หลัก เช่น ซิลิคอน ซิลิคอนไดออกไซด์ และชิปโฟแคลเพลนอินเดียมแอนติโมไนด์ รวมทั้งการขัดเชิงกล-เคมี (Chemical Mechanical Polishing: CMP) ที่ผิวด้านล่าง ผิวด้านบน และผิวด้านปลาย ทั้งอุปกรณ์และชิ้นส่วนทั้งหมดผ่านการเคลือบป้องกันการกัดกร่อนอย่างสมบูรณ์ และสามารถตั้งค่าพารามิเตอร์การประมวลผลผ่านอินเทอร์เฟซแบบสัมผัสหน้าจอ

การออกแบบที่มีพื้นฐานทางวิทยาศาสตร์และสมเหตุสมผล ประสิทธิภาพขั้นสูง ระดับการอัตโนมัติสูง การใช้งานสะดวก การบำรุงรักษาสะดวก และความน่าเชื่อถือสูง รวมถึงการยึดติดวัสดุต้นแบบ การกัดกร่อนและลดความหนาด้วยการขัดผิว และการเชื่อมต่อระหว่างกระบวนการตรวจวัดก่อนและหลังการประมวลผลนั้นมีความเหมาะสม เพื่อให้มั่นใจว่าขนาดการประมวลผลของแต่ละฟังก์ชันของอุปกรณ์จะสอดคล้องกันอย่างสม่ำเสมอ โดยการปรับแต่งฮาร์ดแวร์และวัสดุสิ้นเปลืองที่แตกต่างกัน จะสามารถสร้างการจัดวางเครื่องจักรและโซลูชันกระบวนการได้หลายรูปแบบ เพื่อตอบสนองความต้องการทางเทคนิคที่หลากหลาย เช่น วัสดุและขนาดที่แตกต่างกันของผู้ใช้งาน

ด้วยการพัฒนาอย่างรวดเร็วของเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ ความต้องการในด้านสมรรถนะและการทำงานของวงจรรวมยังคงเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่อง เทคโนโลยี TSV (Through Silicon Via) และ TGV (Through Glass Via) ในฐานะเทคโนโลยีการบรรจุภัณฑ์และเชื่อมต่อขั้นสูงสามารถปรับปรุงระดับการบูรณาการและความสามารถของชิปได้อย่างมีประสิทธิภาพ อุปกรณ์นี้มีแผนการผลิตเฉพาะสำหรับการใช้เทคโนโลยี TSV/TGV

ข้อได้เปรียบของอุปกรณ์:

* ระบบปฏิบัติการสัมผัสอิสระและเคลื่อนที่ได้;
* ดำเนินการขัดและทำให้ผิวชิปเรียบพร้อมกับการเตรียมมุมพิเศษ;
* สามารถเก็บเมนูกระบวนการได้ 100 รายการ;
* ฟังก์ชันการตรวจจับจุดสิ้นสุด EPD;
* เพิ่มระบบป้อน 3 ช่องทางได้ตามตัวเลือก;
* เหมาะสำหรับขนาดตัวอย่างที่มีขนาดไม่เกิน 6 นิ้ว.

ฟังก์ชันของอุปกรณ์:

เครื่องขัดและ珩磨ความแม่นยำ MDAM-CMP100/150 ตัวเครื่องหลักและชิ้นส่วนอะไหล่ทั้งหมดทำจากวัสดุที่ต้านการกัดกร่อนได้สูง เครื่องทั้งหมดมีคุณสมบัติต้านการกัดกร่อน มั่นคง ต้านการสึกหรอ และต้านสนิม เหมาะสมสำหรับการขัดและการ珩磨แบบเคมีกลไกของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์หลากหลายชนิด พื้นที่ทำงานแยกออกจากพื้นที่ควบคุมการแสดงผล และควบคุมด้วยระบบดิจิทัลด้วยระบบควบคุมหน้าจอสัมผัส สามารถควบคุมด้วยซีเอ็นซี จัดเก็บข้อมูล และเรียกข้อมูลกลับมาใช้ได้

ระบบของอุปกรณ์มีฟังก์ชันการตั้งเวลา ซึ่งสามารถทำงานต่อเนื่องได้เป็นเวลา 10 ชั่วโมงและควบคุมความเร็วของจานขัด แผงควบคุมถูกติดตั้งภายนอกพื้นที่ทำงานเพื่อป้องกันไม่ให้สารกัดกร่อนกระเด็นไปบนแผงควบคุม สามารถปรับแต่งพารามิเตอร์ทั้งหมดของเครื่องหลักผ่านหน้าจอสัมผัส พารามิเตอร์กระบวนการของเครื่องหลักมีฟังก์ชันการเก็บข้อมูลและการดึงข้อมูลกลับมา เพื่อให้มั่นใจในความสม่ำเสมอและความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการ เซลล์เวเฟอร์จะถูกดูดไว้ที่ผิวด้านล่างของตัวยึดโดยใช้แรงดูดจากปั๊มสุญญากาศแบบไร้น้ำมัน และมีฟังก์ชันป้องกันการดูดกลับอย่างอิสระ

ระบบขับเคลื่อนการหมุนแบบแนวนอนของตัวอย่างการกำหนดค่าฟิกซ์เจอร์มีฟังก์ชันแกว่ง ซึ่งมีช่วงการแกว่งที่ปรับได้ระหว่าง 0-100% ความกว้างของการแกว่งและความถี่สามารถตั้งค่าได้อย่างแม่นยำผ่านแผงควบคุม ฟิกซ์เจอร์มีระบบขับเคลื่อนอิสระสำหรับการหมุน โดยมีช่วงความเร็วที่ปรับได้ระหว่าง 0-120 รอบต่อนาที การออกแบบเชิงฟังก์ชันนี้ทำให้มีการขัดตัวอย่างอย่างสมบูรณ์ในกระบวนการขัดและเจียร ซึ่งช่วยเพิ่มความสามารถและความรวดเร็วในการขัดของเครื่องมืออย่างมาก

ฟิกซ์เจอร์มาพร้อมกับโต๊ะตรวจสอบความหนาดิจิทัลที่มีความแม่นยำในการตรวจสอบที่ 1 μm แรงกดของฟิกซ์เจอร์บนตัวอย่างเวเฟอร์สามารถปรับได้ต่อเนื่อง โดยมีช่วงแรงกดที่ 0-3.5 กก. และความแม่นยำที่ 2g/cm² และมีอุปกรณ์วัดแรงกดติดตั้งมาด้วย

การควบคุมการทำงานของจานขัดและขัดเงาทำได้ผ่านระบบขับเคลื่อนหลัก โดยความเร็วของจานสามารถปรับได้ตั้งแต่ 0 ถึง 120 รอบต่อนาที ช่วงความเร็วที่สามารถปรับได้นี้ช่วยให้มั่นใจได้อย่างมีประสิทธิภาพว่าสามารถขัดและขัดเงาตัวอย่างที่มีความแข็งและขนาดของวัสดุต่างกันได้อย่างเหมาะสม จึงสามารถบรรลุตัวชี้วัดกระบวนการที่สูงขึ้น

การเปลี่ยนจานขัดและจานขัดเงาทำได้ง่ายและรวดเร็ว โดยจานที่ฝังอยู่ในเครื่องช่วยให้อุปกรณ์สามารถเปลี่ยนผ่านจากกระบวนการขัดไปสู่กระบวนการขัดเงาได้อย่างรวดเร็ว ลดระยะเวลาของกระบวนการลงอย่างมาก นอกจากนี้ จานขัดยังติดตั้งบล็อกซ่อมจานเพื่อให้มั่นใจว่าจานขัดมีความเรียบสม่ำเสมอ

ข้อมูลจำเพาะ

รุ่น	MDAM-CMP100	MDAM-CMP150
ขนาดของเวเฟอร์	4 นิ้วและต่ำกว่า	6 นิ้วและต่ำกว่า
เส้นผ่านศูนย์กลางของจานทำงาน	420 มิลลิเมตร	420 มิลลิเมตร
สถานี	≤4	≤2
ช่องใส่	≤3
การให้พลังงาน	220V、10A
เวลา	0-10h
อุณหภูมิบริเวณ	20℃~35℃
ความเร็วของแผ่น	0-120RPM
อัตราการติดตั้ง	0-120RPM

ชิ้นส่วนของระบบตัวอย่างการติดตั้ง	กีบหนีบ, แขนลูกกลิ้ง
ชุดกระบวนการขัดเงา	แผ่นขัด, บล็อกซ่อมแผ่น, และกระบอกสูบ
ชุดกระบวนการขัดเงา	ระบบจ่ายของเหลวสำหรับขัดและแผ่นขัด
ชิ้นส่วนการตรวจจับ	แพลตฟอร์มมาตรฐานการทดสอบ, เครื่องทดสอบความแบน, เครื่องวัดแรงดัน
แพ็กเกจวัสดุสำหรับการขัดและการขัดเงาเวเฟอร์	ผงขัด พลาสติก, สารละลายสำหรับขัดเงา, ผ้าขัดเงา, 蠟, ของเหลวสำหรับล้าง蠟, แผ่นพื้นกระจก

คำถามที่พบบ่อย

1. เกี่ยวกับราคา:
ราคาทั้งหมดของเราเป็นราคาที่แข่งขันได้และสามารถต่อรองได้ ราคาจะแตกต่างกันไปตามการกำหนดค่าและความซับซ้อนของการปรับแต่งของอุปกรณ์ของคุณ

2. เกี่ยวกับตัวอย่าง:
เราสามารถให้บริการผลิตตัวอย่างสำหรับคุณได้ แต่คุณอาจต้องชำระค่าธรรมเนียมบางส่วน

3. เกี่ยวกับการชำระเงิน：
หลังจากแผนได้รับการยืนยันแล้ว คุณจำเป็นต้องจ่ายเงินมัดจำให้เราเป็นอันดับแรก จากนั้นโรงงานจะเริ่มเตรียมสินค้า เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระเงินส่วนที่เหลือ เราจะทำการจัดส่ง
เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระเงินส่วนที่เหลือ เราจะทำการจัดส่ง

4. เกี่ยวกับการจัดส่ง:
หลังจากการผลิตอุปกรณ์เสร็จสมบูรณ์ เราจะส่งวิดีโอการยอมรับให้คุณ และคุณยังสามารถมาตรวจสอบอุปกรณ์ที่สถานที่ได้

5. การติดตั้งและการปรับแต่ง:
หลังจากอุปกรณ์มาถึงโรงงานของคุณ เราสามารถส่งวิศวกรไปติดตั้งและปรับแต่งอุปกรณ์ เราจะเสนอราคาแยกต่างหากสำหรับค่าใช้จ่ายบริการนี้

6. เกี่ยวกับการรับประกัน:
อุปกรณ์ของเราครอบคลุมระยะเวลาการรับประกัน 12 เดือน หลังจากระยะเวลาการรับประกัน หากชิ้นส่วนใดเสียหายและต้องเปลี่ยน เราจะเรียกเก็บเฉพาะราคากost