
| แผ่นเวเฟอร์ที่สามารถบดได้  | ขนาด  | นิ้ว  |  4,5,6,8 | 
| ตลับเวเฟอร์  | จำนวน  |  - |  2 | 
| วิธีการถู  |  - | วิธีการบดแบบพุ่งลงตั้งฉาก  | |
| แกนของล้อบด  | ประเภท  |  - | หมุดอากาศ  | 
| จำนวน  |  - |  2 | |
| ความเร็ว    | รอบต่อนาที  |  0~5000 | |
| กำลังไฟฟ้าออก    | กิโลวัตต์  |  5.5/7.5 | |
| ช่วงการเคลื่อนที่    | มม  |  150 | |
| ความเร็วในการป้อน    | um/s  |  0.01~100 | |
| ความเร็วในการข้ามไปข้างหน้า  | มม/นาที    |  300 | |
| ความละเอียด    | อืม  |  0.1 | |
| แกนชิ้นงาน  | ประเภท  |  - | ลูกปืน  | 
| จำนวน  |  - |  3 | |
| ชนิดดูดติด  |  - | เซรามิกแบบรูพรุนเล็ก  | |
| วิธีดูดเวเฟอร์  |  - | การดูดด้วยแรงดูด  | |
| ความเร็ว    | รอบต่อนาที  |  0~300 | |
| การถ่ายโอนเวเฟอร์  |  - | แขนหุ่นยนต์  | |
|  - | จานหมุน  | ||
| หน้าที่อื่น ๆ  | การจัดศูนย์กลางของเวเฟอร์  |  - | การจัดแนวเข็มเคลื่อนที่  | 
| การทำความสะอาดเวเฟอร์  |  - | การทำความสะอาดด้วยน้ำและอากาศ การอบแห้งด้วยการหมุน  | |
| การทำความสะอาดคัพดูด  |  - | การทำความสะอาดหินเจียรน้ำมัน  | |
| ใบเจียร  | มม  | φ200  | |
| ออนไลน์    การวัด | ช่วงการวัด  | อืม  |  0~1800 | 
| ความละเอียด    | อืม  |  0.1 | |
| ความแม่นยำในการทำซ้ำ    | อืม  |  ±0.5 | |
| การแปรรูป  ความแม่นยำ | ความแม่นยำภายในเวเฟอร์ (TTV)  | อืม  |  ≤2 | 
| ความแม่นยำระหว่างแผ่น (WTW)  | อืม  |  ±3 | |
| ความขรุขระของผิว (Ry)  | อืม  | 0.13(2000#finish)  | |
| ลักษณะ  | การแต่งสีลักษณะ  | อืม  | ลวดลายส้ม  | 
| มิติ(กว้าง×ลึก×สูง)  | มม  |  1200×2750×1950 | |
| น้ำหนัก  | กิโลกรัม  |  4200 | 










ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์