EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
บทนำ: อุปกรณ์นี้ประกอบด้วยห้องสุญญากาศทำจากสแตนเลส แท่งเป้าหมายสำหรับการเคลือบแบบแมกเนตรอนสปัตเทอริง (magnetron sputtering target) อุปกรณ์เคลือบแบบระเหย (evaporation coating device) โต๊ะวางตัวอย่าง (sample table) ชุดปั๊มสุญญากาศ เครื่องวัดความดันสุญญากาศ ระบบปล่อยอากาศเข้า และระบบควบคุม หน่วยหลักของอุปกรณ์นี้ควบคุมผ่านหน้าจอสัมผัส และตรวจวัดอุณหภูมิด้วยเครื่องวัดควบคุมอุณหภูมิ อินเทอร์เฟซพารามิเตอร์แบบดิจิทัลและการทำงานอัตโนมัติมอบแพลตฟอร์มวิจัยและพัฒนาที่ยอดเยี่ยมให้แก่ผู้ใช้งาน ห้องสุญญากาศออกแบบให้มีแท่งเป้าหมายติดตั้งที่ส่วนล่างของห้อง และโต๊ะวางตัวอย่างมีฟังก์ชันการให้ความร้อนและการหมุน ซึ่งช่วยให้ผลของการเคลือบมีความสม่ำเสมอมากยิ่งขึ้น ระบบสร้างสุญญากาศของอุปกรณ์นี้ใช้ปั๊มสุญญากาศสองขั้นตอน ปั๊มขั้นต้นคือปั๊มกลไกความเร็วสูง ซึ่งช่วยลดระยะเวลาในการลดความดันจากสภาวะความดันปกติลงสู่สุญญากาศระดับต่ำได้อย่างมีประสิทธิภาพ ส่วนปั๊มหลักคือปั๊มโมเลกุลแบบเทอร์โบ (turbo molecular pump) ที่มีอัตราการสูบสุญญากาศสูง ทำให้สามารถสร้างสุญญากาศได้รวดเร็วขึ้น ระบบทั้งหมดในการสร้างสุญญากาศจึงสะอาดและรวดเร็ว
การประยุกต์ใช้งาน: สามารถใช้เพื่อเตรียมฟิล์มบางเฟอโรอิเล็กทริกแบบชั้นเดียวหรือหลายชั้น ฟิล์มตัวนำ ฟิล์มโลหะผสม ฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ ฟิล์มเซรามิก ฟิล์มไดอิเล็กทริก ฟิล์มออปติคอล ฯลฯ
