Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
ขอใบเสนอราคา

Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

หน้าแรก
เกี่ยวกับเรา
อุปกรณ์ MH
วิธีแก้ปัญหา
ผู้ใช้งานต่างประเทศ
วิดีโอ
ติดต่อเรา
หน้าแรก> เครื่องบดเวเฟอร์
  • เครื่องขัดพื้นเคมีกลไกแบบแผ่นเดี่ยวอัตโนมัติสำหรับการเก็บผิวเรียบของเวเฟอร์ (CMP)
  • เครื่องขัดพื้นเคมีกลไกแบบแผ่นเดี่ยวอัตโนมัติสำหรับการเก็บผิวเรียบของเวเฟอร์ (CMP)
  • เครื่องขัดพื้นเคมีกลไกแบบแผ่นเดี่ยวอัตโนมัติสำหรับการเก็บผิวเรียบของเวเฟอร์ (CMP)
  • เครื่องขัดพื้นเคมีกลไกแบบแผ่นเดี่ยวอัตโนมัติสำหรับการเก็บผิวเรียบของเวเฟอร์ (CMP)
  • เครื่องขัดพื้นเคมีกลไกแบบแผ่นเดี่ยวอัตโนมัติสำหรับการเก็บผิวเรียบของเวเฟอร์ (CMP)
  • เครื่องขัดพื้นเคมีกลไกแบบแผ่นเดี่ยวอัตโนมัติสำหรับการเก็บผิวเรียบของเวเฟอร์ (CMP)
  • เครื่องขัดพื้นเคมีกลไกแบบแผ่นเดี่ยวอัตโนมัติสำหรับการเก็บผิวเรียบของเวเฟอร์ (CMP)
  • เครื่องขัดพื้นเคมีกลไกแบบแผ่นเดี่ยวอัตโนมัติสำหรับการเก็บผิวเรียบของเวเฟอร์ (CMP)
  • เครื่องขัดพื้นเคมีกลไกแบบแผ่นเดี่ยวอัตโนมัติสำหรับการเก็บผิวเรียบของเวเฟอร์ (CMP)
  • เครื่องขัดพื้นเคมีกลไกแบบแผ่นเดี่ยวอัตโนมัติสำหรับการเก็บผิวเรียบของเวเฟอร์ (CMP)

เครื่องขัดพื้นเคมีกลไกแบบแผ่นเดี่ยวอัตโนมัติสำหรับการเก็บผิวเรียบของเวเฟอร์ (CMP)

ขอใบเสนอราคาฟรี
คำอธิบายผลิตภัณฑ์
ATOM Single Platen CMP

คุณสมบัติของเครื่อง

อุปกรณ์นี้มีความยืดหยุ่นและสามารถรองรับหัวหลายตัวได้
ความสามารถในการประมวลผลของอุปกรณ์ใกล้เคียงกับระดับของรุ่นหลักของสินค้าที่มีขนาดเดียวกัน
ความสม่ำเสมอที่ดีระหว่างการประมวลผลของอุปกรณ์

ฟิลด์แอปพลิเคชัน

การขัดพื้นผิวขนาด 4-8 นิ้ว STI, ILD/IMD, TSV, TGV และการขัดพื้นผิวของสารประกอบ เช่น SiC, LT, LN, GaAs, เป็นต้น

ข้อมูลทางเทคนิค

หัวขนาด 4 นิ้ว, 6 นิ้ว, 8 นิ้ว, การควบคุมหลายโซน
ประเภทของแผ่นขัด Φ20 นิ้ว 508MM
ความแม่นยำในการควบคุมแรงดันของหัว <0.05PSI
ความแม่นยำในการควบคุมความเร็วรอบของหัวและแผ่นขัด <2RPM

1. หน่วย LoadPort

พอร์ตสามารถพลิกเพื่อจุ่ม Cassette ใน Qtank หลีกเลี่ยงการเกิดผลึก Slurry บน
พื้นผิวที่ขัดแล้วของ Wafer มีฟังก์ชัน Cassette Mapping

2. หน่วยรับส่งวัสดุแบบโรบอท

มีโรบอท 4 แกน สามารถโอนถ่ายแผ่นเวเฟอร์จาก Cassette ไปยังหน่วยขัดอัตโนมัติได้

3. หน่วยขัดเงา

หน่วยนี้มีอุปกรณ์ Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 และ EPD สำหรับการตรวจจับจุดสิ้นสุด
สามารถทำให้วงจรชิปโหลดและปล่อยอัตโนมัติ มีการควบคุมหัวหลายโซน การเปลี่ยนจุดลงของ Slurry โดยการตั้งค่า Recipe การตรวจจับจุดสิ้นสุด และฟังก์ชันอื่น ๆ
หัวขัด CMP
หัวขัดที่ติดตั้งบนอุปกรณ์นี้ล้วนถูกพัฒนา ออกแบบ และผลิตโดยบริษัทของเราเอง
ในจำนวนนั้น หัวแบบ 3-cavity ขนาด 4 นิ้ว เป็นผลิตภัณฑ์เฉพาะที่สร้างโดยบริษัทของเรา ซึ่งเติมเต็มช่องว่างของการไม่มีหัวแบบ multi-cavity ขนาด 4 นิ้วในประเทศจีน บริษัทของเราสามารถแก้ไขหรือปรับแต่งหัวตามลักษณะของผลิตภัณฑ์ของลูกค้าได้อย่างรวดเร็ว ในกระบวนการพัฒนาผลิตภัณฑ์ TGV แผ่นบาง (200um) เราได้ปรับโครงสร้างภายในของหัวเพื่อให้ตรงกับความต้องการในการขัดแผ่นบาง ในระหว่างการพัฒนาเทคโนโลยีการขัดผิว OX ของ LN บริษัทของเราได้อัปเกรดหัวขนาด 6 นิ้วอย่างลึกซึ้งและประสบความสำเร็จในการตอบสนองความต้องการของผลิตภัณฑ์ของลูกค้า
ในจำนวนนั้น หัวแบบ 3 ช่องขนาด 4 นิ้วเป็นผลิตภัณฑ์ที่มีเอกลักษณ์ซึ่งสร้างขึ้นโดยบริษัทของเรา เติมเต็มช่องว่างของการไม่มีหัวขนาด 4 นิ้วแบบหลายช่องในประเทศจีน บริษัทของเราสามารถแก้ไขหรือปรับแต่งหัวตามคุณลักษณะของผลิตภัณฑ์ของลูกค้าได้อย่างรวดเร็ว ในกระบวนการพัฒนาผลิตภัณฑ์ฟิล์มบาง TGV (200um) โครงสร้างภายในของหัวได้ถูกปรับเปลี่ยนเพื่อให้ตรงกับข้อกำหนดของการขัดผิวฟิล์มบาง ในระหว่างกระบวนการพัฒนาเทคโนโลยีการขัดผิว OX ของ LN บริษัทของเราได้ทำการอัปเกรดหัวขนาด 6 นิ้วอย่างลึกซึ้งและประสบความสำเร็จในการตอบสนองความต้องการของผลิตภัณฑ์ของลูกค้า
Applications
กระบวนการขัดพื้นผิวแบบแผนเดิมของ IC;
กระบวนการ TGV/TSV;
Smart Cut และ Pre bonding CMP;
การขัดพื้นผิวของวัสดุ SIC/การขัดพื้นผิวของแกลเลียมอาร์เซนය;
ข้อมูลจำเพาะ
ท่าเรือ
จำนวน * 1, พร้อมถัง Q
หุ่นยนต์
จำนวน * 1, สำหรับการโอนแผ่นเวเฟอร์;
HCLU
จำนวน * 1, สำหรับการโหลดและ缷แผ่นเวเฟอร์อัตโนมัติ;
หัวขัด;
จำนวน * 13 การควบคุมช่องว่าง ความแม่นยำในการควบคุมที่ 0.1PSI สามารถรองรับการทำงานของแผ่นเวเฟอร์ขนาด 400-1200 UM ได้
ความเร็วของหัวขัด
5-150RPM
แผ่นขัดเงา
ปริมาณ * 1 ขนาดจานขัด 508mm, ความเร็วของแผ่นรองขัด 10-150rpm.
แขนตัดแต่ง
ปริมาณ * 1 แผ่นรองขัด สามารถขัดได้ทั้งแบบออนไลน์ (พร้อมกัน) หรือออฟไลน์ (หลังจากขัดแล้ว) การตัดแต่ง
แขนตัดแต่งมีแกนตัดแต่ง ซึ่งสามารถหมุนและเคลื่อนที่ขึ้นลงได้ และสามารถควบคุมความเร็วและความกดลงได้ เครื่องมือ
สำหรับตัดแต่งติดตั้งอยู่บนแกนตัดแต่งและสามารถถอดออกได้อย่างรวดเร็ว
ตามชนิดต่างๆ ของแผ่นรองขัด จะมีเครื่องมือแต่งผิวชนิดต่างๆ ที่กำหนดไว้ เช่น
แปรงแต่งผิว แหวนเพชร และจานเพชร
ยูนิตควบคุมแรงดันอากาศของหัวขัด UPA
ปริมาณ * 13 โซน สามารถปรับได้เพื่อให้ได้ผลลัพธ์การปรับระนาบผิวที่ดีขึ้น
ปั๊มจ่ายของเหลวสำหรับการขัดเงา
ปริมาณ * 2 ใช้ปั๊มแรงเฉือนในการจ่ายของเหลว โดยมีปั๊มแรงเฉือน 2 ตัวที่กำหนดไว้เพื่อส่งของเหลวขัด不同类型ไปยังจานขัดเงา แต่ละปั๊มสามารถใช้งานในขั้นตอนใดก็ได้ของกระบวนการ
ของเหลวไปยังแผ่นขัดเงา แต่ละปั๊มสามารถใช้งานในขั้นตอนใดก็ได้ของกระบวนการ
แขนใส่สารขัด
ปริมาณ * 1 สามารถควบคุมจุดลงของสารขัดและสามารถทำความสะอาดแผ่นขัดได้
ระบบควบคุมการทำงานสามารถทำให้ผู้ใช้มีการควบคุมตามระดับ เช่น โหมดผู้ปฏิบัติงาน โหมดบำรุงรักษา และโหมดเทคนิค โดยแต่ละโหมดควบคุมด้วยรหัสผ่าน
ซอฟต์แวร์ของระบบสามารถแก้ไขพารามิเตอร์กระบวนการของแต่ละขั้นตอน และสามารถขัดและปรับระนาบฟิล์มบางบนผิวชิปตามโปรแกรมได้
สามารถตรวจสอบสถานะการทำงานของเครื่องจักร ตรวจสอบพารามิเตอร์กระบวนการแบบเรียลไทม์
และซอฟต์แวร์สามารถเก็บข้อมูลกระบวนการต่างๆ อัตโนมัติ พร้อมด้วยสวิตช์หยุดฉุกเฉิน
ปุ่ม ใช้เพื่อหยุดการทำงานของเครื่องจักรทันทีและตัดพลังงานควบคุม
การแพ็คและจัดส่ง
ข้อมูลบริษัท
คำถามที่พบบ่อย
1. เกี่ยวกับราคา:
ราคาทั้งหมดของเราเป็นราคาที่แข่งขันได้และสามารถต่อรองได้ ราคาจะแตกต่างกันไปตามการกำหนดค่าและความซับซ้อนของการปรับแต่งของอุปกรณ์ของคุณ

2. เกี่ยวกับตัวอย่าง:
เราสามารถให้บริการผลิตตัวอย่างสำหรับคุณได้ แต่คุณอาจต้องชำระค่าธรรมเนียมบางส่วน

3. เกี่ยวกับการชำระเงิน：
หลังจากแผนได้รับการยืนยันแล้ว คุณจำเป็นต้องจ่ายเงินมัดจำให้เราเป็นอันดับแรก จากนั้นโรงงานจะเริ่มเตรียมสินค้า เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระเงินส่วนที่เหลือ เราจะทำการจัดส่ง
เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระเงินส่วนที่เหลือ เราจะทำการจัดส่ง

4. เกี่ยวกับการจัดส่ง:
หลังจากการผลิตอุปกรณ์เสร็จสมบูรณ์ เราจะส่งวิดีโอการยอมรับให้คุณ และคุณยังสามารถมาตรวจสอบอุปกรณ์ที่สถานที่ได้

5. การติดตั้งและการปรับแต่ง:
หลังจากอุปกรณ์มาถึงโรงงานของคุณ เราสามารถส่งวิศวกรไปติดตั้งและปรับแต่งอุปกรณ์ เราจะเสนอราคาแยกต่างหากสำหรับค่าใช้จ่ายบริการนี้

6. เกี่ยวกับการรับประกัน:
อุปกรณ์ของเราครอบคลุมระยะเวลาการรับประกัน 12 เดือน หลังจากระยะเวลาการรับประกัน หากชิ้นส่วนใดเสียหายและต้องเปลี่ยน เราจะเรียกเก็บเฉพาะราคากost

ผลิตภัณฑ์เพิ่มเติม

สอบถามข้อมูล

ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์

นโยบายความเป็นส่วนตัว

สอบถามข้อมูล Email WhatsApp ด้านบน
×

ติดต่อเรา