ระบบ CMP แบบความแม่นยำสูง

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

ระบบ CMP แบบความแม่นยำสูง

ภาพรวมของอุปกรณ์:

ระบบ CMP แบบความแม่นยำสูงใช้เป็นหลักสำหรับการขัดผิว (lapping) และการลดความหนาของชิปเซมิคอนดักเตอร์หลัก เช่น ชิปซิลิคอน ซิลิกอนไดออกไซด์ และชิปโฟแคลเพลนอินเดียมแอนติโมไนด์ รวมทั้งการขัดผิวด้วยกระบวนการเคมี-กลไก (chemical mechanical polishing) ที่ด้านล่าง ผิวด้านบน และปลายด้านหนึ่งของชิ้นงาน

เครื่องทั้งเครื่องและชิ้นส่วนทั้งหมดของอุปกรณ์มีคุณสมบัติต้านการกัดกร่อนอย่างสมบูรณ์ และสามารถตั้งค่าพารามิเตอร์กระบวนการผ่านอินเทอร์เฟซแบบสัมผัสหน้าจอ

ขนาดตัวอย่างที่สามารถประมวลผลได้:

ขนาดตัวอย่าง ≤ 152 มม. / 6 นิ้ว

ความหนาที่สามารถประมวลผลได้คือ 50 ไมโครเมตร ถึง 10 มิลลิเมตร

ตัวชี้วัดประสิทธิภาพของกระบวนการที่สามารถบรรลุได้:

1. ความเบี่ยงเบนของความหนารวม (TTV) ของเวเฟอร์เส้นผ่านศูนย์กลาง 75 มม. อยู่ภายใน 2 ไมโครเมตร

2. ความเบี่ยงเบนของความหนารวม (TTV) ของเวเฟอร์เส้นผ่านศูนย์กลาง 100 มม. อยู่ภายใน 3 ไมโครเมตร

3. ความเบี่ยงเบนของความหนารวม (TTV) ของเวเฟอร์เส้นผ่านศูนย์กลาง 150 มม. อยู่ภายใน 4 ไมโครเมตร

ประเภทตัวอย่างที่สามารถประมวลผลได้:

ซิลิคอน ซิลิคอนคาร์ไบด์ เพชร เซรามิกส์ แกลเลียมไนไตรด์ ควอตซ์ แกลเลียมแอนติโมไนด์ อินเดียมฟอสไฟด์ แกลเลียมอาร์เซไนด์ แคดเมียม-สังกะสี-เทลลูไรด์ ปรอท-แคดเมียม-เทลลูไรด์ ลิเธียมไนโอเบต และวัสดุกึ่งตัวนำอื่นๆ

คุณสมบัติของอุปกรณ์:

1. ทำหน้าที่ตรวจจับจุดสิ้นสุดเพื่อควบคุมความหนาของตัวอย่าง

2. ระบบควบคุมอุณหภูมิและระบายความร้อนแบบเรียลไทม์ขณะขัดและขัดเงา

3. ระบบป้อนสารเคมีแบบหลายช่องทาง

4. ระบบล้างแผ่นขัดและแผ่นขัดเงาโดยอัตโนมัติ

5. ระบบซ่อมแซมแผ่นขัดและแผ่นขัดเงาโดยอัตโนมัติ

6. ขาจับตัวอย่างติดตั้งพร้อมแท่นวัดความหนาแบบดิจิทัล ที่มีความแม่นยำในการวัด 0.1 ไมโครเมตร

ปริมาตรเทคนิค:

การจัดวางอุปกรณ์:

คำถามที่พบบ่อย

1. เกี่ยวกับราคา:

ราคาทั้งหมดของเราเป็นราคาที่แข่งขันได้และสามารถต่อรองได้ ราคาจะแตกต่างกันไปตามการกำหนดค่าและความซับซ้อนของการปรับแต่งของอุปกรณ์ของคุณ

2. เกี่ยวกับตัวอย่าง:

เราสามารถให้บริการผลิตตัวอย่างสำหรับคุณได้ แต่คุณอาจต้องชำระค่าธรรมเนียมบางส่วน

3. เกี่ยวกับการชำระเงิน:

หลังจากแผนได้รับการยืนยันแล้ว คุณจำเป็นต้องจ่ายเงินมัดจำให้เราเป็นลำดับแรก จากนั้นโรงงานจะเริ่มเตรียมสินค้า เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระยอดคงเหลือ เราจะทำการจัดส่ง

4. เกี่ยวกับการจัดส่ง:

หลังจากการผลิตอุปกรณ์เสร็จสมบูรณ์ เราจะส่งวิดีโอการยอมรับให้คุณ และคุณยังสามารถมาตรวจสอบอุปกรณ์ที่สถานที่ได้

5. การติดตั้งและการปรับแต่ง:

หลังจากอุปกรณ์มาถึงโรงงานของคุณ เราสามารถส่งวิศวกรไปติดตั้งและปรับแต่งอุปกรณ์ เราจะเสนอราคาแยกต่างหากสำหรับค่าใช้จ่ายบริการนี้

6. เกี่ยวกับการรับประกัน:

อุปกรณ์ของเราครอบคลุมระยะเวลาการรับประกัน 12 เดือน หลังจากระยะเวลาการรับประกัน หากชิ้นส่วนใดเสียหายและต้องเปลี่ยน เราจะเรียกเก็บเฉพาะราคากost

7. บริการหลังการขาย:

เครื่องจักรทุกเครื่องมีระยะเวลารับประกันมากกว่าหนึ่งปี วิศวกรเทคนิคของเราพร้อมให้บริการคุณตลอดเวลา เพื่อช่วยในการติดตั้ง อุปกรณ์ ปรับแต่ง และบริการบำรุงรักษา เราสามารถให้บริการติดตั้งและปรับแต่งอุปกรณ์พิเศษหรือขนาดใหญ่ถึงสถานที่จริง