คุณสมบัติของอุปกรณ์
1. อุปกรณ์นี้ออกแบบมาเพื่อการตัดแต่งชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ระดับพรีเมียมด้วยเลเซอร์
2. ติดตั้งเลเซอร์ที่นำเข้าจากสหรัฐอเมริกา ซึ่งให้ความมั่นคงสูงมากในระหว่างการตัดแต่งด้วยเลเซอร์
3. มีแท่น XY แบบมอเตอร์เชิงเส้นที่มีความแม่นยำสูงและป้องกันการรบกวน พร้อมมาตรวัดแบบเกรตติง (grating scale) ซึ่งช่วยลดผลกระทบจากการรบกวนของเครื่องจักรต่อผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
4. ติดตั้งกล้อง CCD ความละเอียด 12 ล้านพิกเซล เพื่อการจัดตำแหน่งที่แม่นยำ
5. ใช้เทคโนโลยีการสร้างภาพแบบอะโครมาติก (achromatic imaging) และความสามารถในการระบุตำแหน่งจากภาพผ่านระบบการรู้จำภาพ
6. มีอินเทอร์เฟซภายนอก เช่น GPIB และอื่นๆ เพื่อเชื่อมต่อกับเครื่องมือภายนอกสำหรับการวัดหรือปรับค่าความต้านทาน
7. ฐานทำจากหินอ่อน ช่วยให้เครื่องจักรมีความมั่นคงสูงเยี่ยม
ข้อมูลทางเทคนิค
รุ่น |
MDSG-LT74 |
ความยาวคลื่นเลเซอร์ |
1064/355 นาโนเมตร |
กำลังเลเซอร์ |
6W/4W |
ขนาดจุดโดยทั่วไป |
25-35μm |
วิธีการโฟกัส |
แบบอัตโนมัติ ควบคุมด้วยโปรแกรมคอมพิวเตอร์ |
วิธีการระบายความร้อน |
การเย็นอากาศ |
ช่วงการเคลื่อนที่ของลำแสงเลเซอร์ |
27 มม. × 27 มม. |
ความละเอียดของการเคลื่อนที่ |
0.76μm |
ความแม่นยำในการตั้งตำแหน่งซ้ำ |
±2.5 ไมโครเมตร |
โหมดการเคลื่อนที่ |
มอเตอร์เชิงเส้นแบบไม้บรรทัดแท่งเลื่อนต้านการรบกวน |
ช่วงการเคลื่อนที่) |
300 มม. x 300 มม. |
ความแม่นยำในการตั้งตำแหน่งซ้ำ |
±1 ไมโครเมตร |
วิธีการวัดความต้านทาน |
การวัดแบบ 4 สาย |
ความแม่นยำของการวัดความต้านทาน |
±0.02% (ความต้านทานระดับปานกลาง) |
ช่วงการวัดความต้านทาน |
0.1โอห์ม–50 เมกะโอห์ม |
ความเร็วในการวัด |
4 ไมโครวินาที/การวัด |
การแก้ไขข้อผิดพลาดที่ค่าศูนย์และค่าเต็มสเกล |
การปรับแก้อัตโนมัติ |
นิยามของหัววัด |
การตั้งค่าแบบกำหนดเองที่เขียนโปรแกรมได้ |
อินเทอร์เฟซ |
GPIB |
ขนาดอุปกรณ์ |
1430 x 913 x 1747 มม. |
น้ำหนัก |
617 กก. |
สภาวะการใช้งาน (น้ำ ไฟฟ้า ก๊าซ) |
ความชื้น: ต่ำกว่า 70%; แหล่งจ่ายไฟ: AC 220 V 2.5 กิโลวัตต์; อากาศอัด: ต่ำกว่า 0.6 เมกะปาสคาล ต่ำกว่า 40 ลิตร/นาที |
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์