กระบวนการ Chemical Mechanical Planarization (CMP) ที่มีความแม่นยำสูง , China กระบวนการ Chemical Mechanical Planarization (CMP) ที่มีความแม่นยำสูง Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

ความแม่นยำสูง อุปกรณ์การทำให้เรียบเคมีกลไก (CMP)

อุปกรณ์ CMP ที่แม่นยำสามารถกำจัดวัสดุส่วนเกินบนพื้นผิวเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพและการทำให้เรียบในระดับนาโนทั่วโลกผ่านผลลัพธ์ร่วมกันของเคมีการกัดกร่อนและการขัดกลึงทางกลไก

เครื่องขัดเคมีแบบหลายฟังก์ชัน ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานในการขัด CMP และโค้ทติ้งที่ต้องการความถูกต้องทางเรขาคณิตอย่างเข้มงวดและคุณภาพผิว สามารถบรรลุระดับ Ra ที่ต่ำกว่านาโนเมตรได้

อุปกรณ์นี้สามารถทำการขัดในระดับนาโนเมตรอย่างแม่นยำสำหรับแม่พิมพ์เดี่ยว รวมถึงการขัดแผ่นบางที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางถึง 8 นิ้ว นอกจากนี้ยังสามารถใช้งานในกระบวนการขัดที่ไม่ใช่แบบดั้งเดิม เช่น การขัดวัสดุแข็ง การเตรียมผิว Epi และการปรับปรุงการรีไซเคิลชิปได้อีกด้วย

เพื่อให้เครื่องในซีรีส์ CDP สามารถปรับตัวให้เหมาะกับวัสดุและข้อกำหนดของกระบวนการได้ วิศวกรจะออกแบบเทมเพลตการขัดเฉพาะตามข้อกำหนดทางเทคนิคของผู้ใช้ เพื่อตอบสนองความต้องการของกระบวนการ CMP อย่างแม่นยำ ภาพด้านซ้ายแสดงขอบเขตของเวเฟอร์เดี่ยวที่มีเส้นผ่านศูนย์กลาง 8 นิ้ว

เพื่อให้มั่นใจในการวัดและการควบคุมที่แม่นยำของเวเฟอร์หรืออุปกรณ์ที่ถูกขัดด้วยเครื่อง CDP เราได้พัฒนาระบบ EPD ซึ่งโปรแกรมกราฟิกสแกน CDP ที่ออกแบบเองสามารถทำงานบนแล็ปท็อปได้ โปรแกรมนี้ตรวจสอบและแสดงภาพกระบวนการขัด และจะหยุดโดยอัตโนมัติเมื่อถึงจุดสิ้นสุด

ป้องกันการขัดเกินไป การสแกน CDP ยังสามารถใช้เป็นคุณสมบัติด้านความปลอดภัยได้ หากพบการเปลี่ยนแปลงของพารามิเตอร์กระบวนการที่กำลังตรวจสอบอยู่ สแกน CDP จะกระตุ้นเสียงเตือนเพื่อช่วยป้องกันการขัดเกิน เช่น การเปลี่ยนความเร็วของผู้ถือจากค่าที่กำหนดไว้ ระบบ EPD จะตรวจจับสถานการณ์นี้ เนื่องจากแรงเสียดทานระหว่างแผ่นรองกับวัสดุที่ถูกขัดจะเปลี่ยนแปลงตามความเร็วของผู้ถือ ซึ่งอาจทำให้การปรับระนาบของเวเฟอร์/C ไม่สำเร็จ ในจุดนี้ ระบบ EPD จะปล่อยเสียงเตือนก่อนที่จะนำชิ้นงานออกจากพื้นผิวของแผ่นรอง หรือสามารถตั้งค่าให้ปิดการทำงานโดยอัตโนมัติได้

ระบบ ACP สามารถใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพมากขึ้นในหลากหลายแอปพลิเคชัน และกราฟแสดงผลการทดสอบกระบวนการ CMP สำหรับออกไซด์ซิลิกอน, ทองแดง, ไนไตรด์ซิลิกอน, อัลูมิเนียมทองแดง, เยอรมานิโอซิลิกอน และทังสเตน
กราฟแสดงว่าหลังจากกระบวนการ CMP WTWNU สามารถถึง 2.82% ได้

การใช้งาน

การทำให้พื้นผิวเรียบของเวเฟอร์ซิลิกอน
การทำให้พื้นผิวเรียบของสารประกอบกลุ่ม II-V
การทำให้พื้นผิวเรียบของออกไซด์
การทำให้เรียบของวัสดุฐานสำหรับอินฟราเรด
การทำให้เรียบของเวเฟอร์แซฟไฟร์, ไนไตรด์แกลเลียม และคาร์ไบด์ซิลิกอน, การทำให้เรียบของเวเฟอร์ EPI
การทำให้บางลงของเวเฟอร์ SOS และ SOI ต่ำกว่า 20 ไมครอน
การประยุกต์ใช้งานในการวิศวกรรมย้อนกลับแบบลำดับชั้นหรือ FA

ข้อมูลจำเพาะ

การให้พลังงาน	220v 10A
ขนาดของเวเฟอร์	4”/100mm 6”/150mm 8”/200mm 12”/300mm
เส้นผ่านศูนย์กลางจานทำงาน	520mm, 780mm
ความเร็วของจานทำงาน	0-120RPM
ความเร็วของชุดยึดงาน	0-120RPM
ความถี่การแกว่งของชุดยึดงาน	0-30spm
แรงดันหลังแผ่นเวเฟอร์	0-150psi
แรงดันที่จุดศูนย์กลางของแผ่นเวเฟอร์	0-50psi
เวลาแบบกำหนดเวลา	0-10 ชั่วโมง
ช่องให้สาร	≥2
ความเร็วในการป้อน	0-150ml/นาที

การแพ็คและจัดส่ง

ข้อมูลบริษัท

Minder-Hightech เป็นตัวแทนขายและให้บริการในอุปกรณ์สำหรับอุตสาหกรรมผลิตภัณฑ์กึ่งตัวนำและอิเล็กทรอนิกส์ ตั้งแต่ปี 2014 บริษัทมุ่งมั่นที่จะมอบโซลูชันแบบครบวงจรที่ดีที่สุด มีความน่าเชื่อถือ และเป็นจุดเดียวสำหรับอุปกรณ์เครื่องจักรให้กับลูกค้า

คำถามที่พบบ่อย

1. เกี่ยวกับราคา:
ราคาทั้งหมดของเราเป็นราคาที่แข่งขันได้และสามารถต่อรองได้ ราคาจะแตกต่างกันไปตามการกำหนดค่าและความซับซ้อนของการปรับแต่งของอุปกรณ์ของคุณ

2. เกี่ยวกับตัวอย่าง:
เราสามารถให้บริการผลิตตัวอย่างสำหรับคุณได้ แต่คุณอาจต้องชำระค่าธรรมเนียมบางส่วน

3. เกี่ยวกับการชำระเงิน：
หลังจากแผนได้รับการยืนยันแล้ว คุณจำเป็นต้องจ่ายเงินมัดจำให้เราเป็นอันดับแรก จากนั้นโรงงานจะเริ่มเตรียมสินค้า เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระเงินส่วนที่เหลือ เราจะทำการจัดส่ง
เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระเงินส่วนที่เหลือ เราจะทำการจัดส่ง

4. เกี่ยวกับการจัดส่ง:
หลังจากการผลิตอุปกรณ์เสร็จสมบูรณ์ เราจะส่งวิดีโอการยอมรับให้คุณ และคุณยังสามารถมาตรวจสอบอุปกรณ์ที่สถานที่ได้

5. การติดตั้งและการปรับแต่ง:
หลังจากอุปกรณ์มาถึงโรงงานของคุณ เราสามารถส่งวิศวกรไปติดตั้งและปรับแต่งอุปกรณ์ เราจะเสนอราคาแยกต่างหากสำหรับค่าใช้จ่ายบริการนี้

6. เกี่ยวกับการรับประกัน:
อุปกรณ์ของเราครอบคลุมระยะเวลาการรับประกัน 12 เดือน หลังจากระยะเวลาการรับประกัน หากชิ้นส่วนใดเสียหายและต้องเปลี่ยน เราจะเรียกเก็บเฉพาะราคากost