ข้อมูลผลิตภัณฑ์
สถานีสอบเทียบแบบ MDSM-VP-CG สามารถให้การทดสอบลักษณะ IV/CV การทดสอบ RF การทดสอบโฟโตอิเล็กทริก การทดสอบลักษณะการขนส่งแม่เหล็กไฟฟ้า และการทดสอบเอฟเฟกต์ฮอลล์ สำหรับการจำแนกลักษณะของอุปกรณ์และวัสดุในสภาพแวดล้อมสุญญากาศระดับสูงมากและอุณหภูมิสูงต่ำ
ด้วยการติดตั้งองค์ประกอบต่างๆ เช่น ห้องสุญญากาศและแผงกันรังสี พร้อมสภาวะการทดสอบที่รวมอุณหภูมิสูง อุณหภูมิต่ำ สุญญากาศ และอื่นๆ เข้าด้วยกัน สามารถตอบสนองความต้องการและจัดเตรียมสภาพแวดล้อมการทดสอบที่มั่นคงสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์
1. รองรับช่วงอุณหภูมิ 4.2K-473K
2. ออกแบบแผงกันรังสีเพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอและความแม่นยำของอุณหภูมิตัวอย่าง
3. ออกแบบตัวกระจายความร้อนของโพรบเพื่อให้มั่นใจในการลดอุณหภูมิของโพรบที่แม่นยำ
4. อัปเกรดการติดตั้งสนามแม่เหล็กได้
5. การกำหนดค่าการทดสอบที่ยืดหยุ่นและสามารถขยายเพิ่มเติมได้
6. ควบคุมการไหลของสารทำความเย็นอัตโนมัติ ควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำโดยอัตโนมัติ
ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์
รุ่น |
MDSM-VP-CG-O-2 |
MDSM-VP-CG-O-4 |
MDSM-VP-CG-C-2 |
|
ชัค |
ขนาด |
2 นิ้ว |
4นิ้ว |
2 นิ้ว |
วิธีการยึดตัวอย่าง |
น้ำมันความร้อนสุญญากาศ/แรงกดสปริง |
|||
ระดับความว่าง |
สุญญากาศสูงสุด 10^-10 ทอร์ร์ |
|||
|
ออฟติคอล คุณสมบัติ |
ระยะการเคลื่อนที่ของกล้องจุลทรรศน์ |
แกน R หมุนได้ 360 ° + แกนเลื่อนได้ 100 มม. |
||
การเพิ่ม |
ซูม: อัตราส่วน 7:1, ความละเอียด 4 ไมครอน (กำลังขยาย 216X) หรือกล้องจุลทรรศน์โลหะวิทยา (20X~1000X) |
|||
|
ขนาด หน้าต่างการสังเกต |
2 นิ้ว |
4นิ้ว |
2 นิ้ว |
|
|
อุณหภูมิ การควบคุม สเปก |
พิกเซล CCD |
50W (ซิมูเลชัน)/200W(ดิจิทัล)/500W(ดิจิทัล) |
||
วิธีการระบายความร้อน |
ไนโตรเจนเหลว/ฮีเลียมเหลว |
คอมเพรสเซอร์ทำความเย็น |
||
วิธีการควบคุม |
การควบคุมการไหลของสารทำความเย็นแบบวงจรเปิด แบบแมนนวล/อัตโนมัติ |
การควบคุมอัตโนมัติแบบวงจรปิด |
||
พิสัย |
77K~473K/4.2K~473K |
7.3K~473K |
||
ความละเอียด |
0.001K |
|||
ความคงที่ |
4.2K ±0.2K ที่ 77K±0.1K 373K±0.08K 473K±0.1K |
|||
ข้อมูลจำเพาะของหัววัด |
จำนวนโพรบ |
จำนวนโพรบที่หลากหลายสามารถขยายได้สูงสุดถึง 6 |
||
การควบคุมโพรบ |
การปรับระดับเบลโลว์สุญญากาศภายนอก ควบคุมด้วยมือ |
|||
ความแม่นยำของจุด |
2μm |
|||
การรั่วของกระแสไฟฟ้า |
1pA/V @25 ℃,100fA/V @25℃ |
|||
ประเภทของตัวเชื่อมต่อ |
อินเตอร์เฟซแบบไตรแอ็กเชียล/SMA/K/ไฟเบอร์ |
|||
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์