เครื่องทำความสะอาดเวเฟอร์แบบชิปเดี่ยวอัตโนมัติเต็มรูปแบบ / เครื่องขัดเวเฟอร์ , China เครื่องทำความสะอาดเวเฟอร์แบบชิปเดี่ยวอัตโนมัติเต็มรูปแบบ / เครื่องขัดเวเฟอร์ Manufacturers, Suppliers, Factory

เครื่องทำความสะอาดเวเฟอร์แบบชิปเดี่ยวอัตโนมัติเต็มรูปแบบ / เครื่องขัดเวเฟอร์

ขอบเขตการใช้งาน:

การกำจัดอนุภาคบนพื้นผิวของวัฟเฟอร์ซิลิคอนและวัฟเฟอร์แบบประกอบ (compound-based) ขนาด 4–8 นิ้ว 

คำอธิบายสินค้า

เครื่องล้างเวเฟอร์แบบซิงเกิลชิปแบบอัตโนมัติทั้งหมด เครื่องล้างเวเฟอร์

คุณสมบัติของเครื่อง

ช่องเดี่ยว ช่องคู่ และช่องสี่
มีความสามารถในการผลิตที่แข็งแกร่ง สามารถสนับสนุนการใช้งาน เช่น การเริ่มต้นแผ่นเวเฟอร์และการทำความสะอาดกระบวนการ
ความสม่ำเสมอของเทคโนโลยีระหว่างชิปในอุปกรณ์ดี

ฟิลด์แอปพลิเคชัน

การกำจัดอนุภาคบนพื้นผิวของวัฟเฟอร์ซิลิคอนและวัฟเฟอร์แบบประกอบ (compound-based) ขนาด 4–8 นิ้ว

ข้อมูลทางเทคนิค

ช่องแปรงขนาด 4 นิ้ว 6 นิ้ว 8 นิ้ว
ความเร็วรอบของ Spinner สูงถึง 4000RPM
ห้องแปรงแบบสองแขน มีให้เลือกทั้งแบบแปรง AS JET และการทำความสะอาดแบบ Megasonics
สามารถรองรับฟังก์ชันการทำความสะอาดด้วยของเหลว

หน่วย LoadPort, หน่วยโหลด

LoadPort เป็นหน่วยโหลดของเครื่องนี้

สามารถทำการ Wafer Mapping ได้
มีการตรวจจับ Wafer slide ติดตั้งมาแล้ว

ยูนิตโอนย้ายหุ่นยนต์

หุ่นยนต์ใบมีดคู่ สามารถเลือกใช้ใบมีดแบบสุญญากาศหรือถาดได้

ยูนิตจัดเรียงและพลิก

สามารถจัดเรียงและระบุขอบที่แบนได้
เวเฟอร์สามารถพลิกเพื่อขัดด้านหลังของคริสตัลได้

ยูนิตแปรง

จำนวนแขนแปรง * 2
ผู้จับเวเฟอร์: แบบชักเกอร์หรือดูดอากาศ
แปรง โหมดการทำความสะอาด AS, JET, Megasonics รองรับการทำความสะอาดสำหรับเภสัชกรรม

1. รองรับการป้อนเวเฟอร์เข้าและออกพร้อมกัน และโหมดการป้อน A เข้า B ออก
2. สามารถรองรับการขัดด้านหน้าของห้อง A และด้านหลังของห้อง B ได้
3. สามารถรองรับการทำความสะอาดแบบคู่ขนานของสองห้องได้

คำอธิบายหน่วยแปรง

ตามที่แสดงในภาพ
เวเฟอร์ถูกตรึงไว้บนสปินเนอร์

แขน1และแขน2สามารถใช้งานร่วมกับวิธีการขัดหลายแบบได้ ที่อธิบายไว้ก่อนหน้านี้เพื่อทำความสะอาดเวเฟอร์

หลังจากทำความสะอาดแล้ว สปินเนอร์จะหมุนด้วยความเร็วสูงเพื่อทำให้เวเฟอร์แห้ง

ยูนิตจัดเรียงและพลิก

เวเฟอร์สามารถใช้สำหรับการพักอาศัยและการปรับระดับได้

เวเฟอร์สามารถกลับด้านได้

ขนาดของเครื่อง: 160x150x220 (มม.)
วิธีการโหลดและ缷: เข้าออกทางเดียวกัน & เข้าทาง A ออกทาง B
จำนวนหน่วยการแปรง: 2
โหมดการแปรง: แปรง, AS, JET, เมธอดการทำความสะอาด Megasonics รองรับการทำความสะอาดทางเภสัชภัณฑ์

การบรรจุภัณฑ์และการจัดส่ง

คำถามที่พบบ่อย

1. เกี่ยวกับราคา:
ราคาทั้งหมดของเราเป็นราคาที่แข่งขันได้และสามารถต่อรองได้ ราคาจะแตกต่างกันไปตามการกำหนดค่าและความซับซ้อนของการปรับแต่งของอุปกรณ์ของคุณ

2. เกี่ยวกับตัวอย่าง:
เราสามารถให้บริการผลิตตัวอย่างสำหรับคุณได้ แต่คุณอาจต้องชำระค่าธรรมเนียมบางส่วน

3. เกี่ยวกับการชำระเงิน：
หลังจากแผนได้รับการยืนยันแล้ว คุณจำเป็นต้องจ่ายเงินมัดจำให้เราเป็นอันดับแรก จากนั้นโรงงานจะเริ่มเตรียมสินค้า เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระเงินส่วนที่เหลือ เราจะทำการจัดส่ง
เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระเงินส่วนที่เหลือ เราจะทำการจัดส่ง

4. เกี่ยวกับการจัดส่ง:
หลังจากการผลิตอุปกรณ์เสร็จสมบูรณ์ เราจะส่งวิดีโอการยอมรับให้คุณ และคุณยังสามารถมาตรวจสอบอุปกรณ์ที่สถานที่ได้

5. การติดตั้งและการปรับแต่ง:
หลังจากอุปกรณ์มาถึงโรงงานของคุณ เราสามารถส่งวิศวกรไปติดตั้งและปรับแต่งอุปกรณ์ เราจะเสนอราคาแยกต่างหากสำหรับค่าใช้จ่ายบริการนี้

6. เกี่ยวกับการรับประกัน:
อุปกรณ์ของเราครอบคลุมระยะเวลาการรับประกัน 12 เดือน หลังจากระยะเวลาการรับประกัน หากชิ้นส่วนใดเสียหายและต้องเปลี่ยน เราจะเรียกเก็บเฉพาะราคากost

หน้าแรก

เกี่ยวกับเรา

อุปกรณ์ MH

วิธีแก้ปัญหา

ผู้ใช้งานต่างประเทศ

วิดีโอ

ติดต่อเรา

เครื่องทำความสะอาดเวเฟอร์แบบชิปเดี่ยวอัตโนมัติเต็มรูปแบบ / เครื่องขัดเวเฟอร์

ขอบเขตการใช้งาน:

เครื่องล้างเวเฟอร์แบบซิงเกิลชิปแบบอัตโนมัติทั้งหมด เครื่องล้างเวเฟอร์

คุณสมบัติของเครื่อง

ฟิลด์แอปพลิเคชัน

ข้อมูลทางเทคนิค

หน่วย LoadPort, หน่วยโหลด

ยูนิตโอนย้ายหุ่นยนต์

ยูนิตจัดเรียงและพลิก

ยูนิตแปรง

คำอธิบายหน่วยแปรง

ยูนิตจัดเรียงและพลิก

สินค้าเพิ่มเติม

อุปกรณ์ RTP (Rapid Thermal Processing) สำหรับสารกึ่งตัวนำคอมพาวด์ SlC LED MEMS

เครื่องติดตั้งวีเฟอร์แบบแมนนวล

ระบบ RTP (Rapid Thermal Processing) แบบตั้งโต๊ะ

ระบบ Rapid Thermal Processing อัตโนมัติทั้งหมดพร้อมห้องคู่ อุปกรณ์ RTP

สอบถาม

Articles

Products

Get In Touch