ตัวจัดเรียงดายแบบฟิล์มต่อฟิล์ม
ฟังก์ชัน:
โต๊ะทำงาน (โมดูลเชิงเส้น) |
340 มม. × 340 มม. (สูงสุด 12 นิ้ว) |
ความละเอียด |
0.5um |
โต๊ะเวเฟอร์ (โมดูลเชิงเส้น) |
สูงสุด 12 นิ้ว |
ความละเอียด |
1μm |
โต๊ะเวเฟอร์แบบหมุน |
ตัวเลือก |
ความแม่นยำในการวางเวเฟอร์ | |
ตำแหน่งไดอ์ที่ใช้กาวติด |
±25μm |
ความแม่นยำในการหมุน |
±0.5 |
โมดูลการให้สารละลาย |
วิธีการประทับตราแบบเลือกได้สำหรับการใช้งานการยึดติด |
แรงดันแม่พิมพ์ |
40–250 กรัม |
แขนหมุน |
180 องศา |
ระบบ PR | |
วิธี |
256 เกรย์สเกล |
การตรวจพบ |
หมึก / การลอกผิว / แม่พิมพ์แตกร้าว |
จอภาพ |
lCD ขนาด 17 นิ้ว |
ความละเอียดของจอภาพ |
1024*768 |
ระบบออปติกส์ |
กล้อง |
แว่นขยายแบบออปติก (เวเฟอร์) |
สามารถเลือกแบบที่ใหญ่กว่าได้ ตั้งแต่ 0.7 เท่า ถึง 4.5 เท่า |
เวลาจริง |
200MS/EA |
รอบการเชื่อมแม่พิมพ์ใช้เวลาไม่เกิน 250 มิลลิวินาที ความจุการผลิตมากกว่า 12,000 ชิ้น | |
โมดูลการโหลดและปลดโหลด |
การโหลดและอันโหลดด้วยตนเอง การอัปโหลดและดาวน์โหลดด้วยแม็กกาซีน (แบบเลือกเพิ่มเติม) |
ข้อกำหนดของอุปกรณ์ | |
โลต |
AC220V 150 Hz |
แหล่งพลังงานลม |
อย่างน้อย 6BAR |
แหล่งที่มาของเครื่องดูดฝุ่น |
700 มม. ปรอท (ปั๊มสุญญากาศ) |
การใช้พลังงาน |
3000w |
ขนาดและน้ำหนัก | |
น้ำหนัก |
1000กก. |
ขนาด (กว้าง × ลึก × สูง) |
1700×1400×1700 มม. |
ไดย์หาย |
ใช่ |
เซ็นเซอร์สุญญากาศ |
|
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
