เครื่องเชื่อมไดคัทอัตโนมัติ (อัปโหลดและดาวน์โหลดอัตโนมัติ)

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคของเครื่องติดชิปแบบ 360i ขนาด 8 นิ้ว

โต๊ะทำงานแบบคริสตัลแข็ง (โมดูลไลนีย์)

ระบบออปติกส์

ระยะการเคลื่อนที่ของโต๊ะทำงาน 100 × 300 มม.

กล้อง

ความละเอียด 1 ไมครอน

เลนส์ขยายภาพออปติกส์ (สำหรับเวเฟอร์) ขยายได้ตั้งแต่ 0.7 เท่า ถึง 4.5 เท่า
0.7~4.5

โต๊ะทำงานแบบไดเออร์ (โมดูลเชิงเส้น)

เวลาในการทำงานหนึ่งรอบ 200 มิลลิวินาที/ชิ้น

ระยะการเคลื่อนที่แกน XY ขนาด 8 นิ้ว × 8 นิ้ว

เวลาในการติดชิป (Die bonding cycle) น้อยกว่า 250 มิลลิวินาที
กำลังการผลิตมากกว่า 12k;
12k

ความละเอียด 1 ไมครอน

ความแม่นยำในการวางเวเฟอร์

โมดูลการโหลดและปลดโหลด

ตำแหน่งแกน x-y ของแม่พิมพ์กาว ±2 มิล

ใช้หัวดูดสุญญากาศในการป้อนวัสดุโดยอัตโนมัติ

ความแม่นยำของการหมุน ±3°

ใช้ตลับกล่องสำหรับการปลดโหลด

แคลมป์แผ่นแบบลม ช่วงการปรับความกว้างของโครงยึด 25–90 มม.

โมดูลการให้สารละลาย

ข้อกำหนดของอุปกรณ์

ระบบแขนแกว่งจ่าย + ระบบทำความร้อน

แรงดันไฟฟ้า AC 220 V / 50 Hz

ชุดเข็มจ่ายสารสามารถเปลี่ยนได้ทั้งแบบเข็มเดี่ยวหรือหลายเข็ม

แหล่งอากาศขั้นต่ำ 6 บาร์

แหล่งสุญญากาศ 700 มม.ปรอท (ปั๊มสุญญากาศ)

ระบบ PR

ขนาดและน้ำหนัก

วิธีการ 256 ระดับสีเทา

น้ำหนัก 450 กก.

การตรวจจับหมึก/รอยขีดข่วน/ชิ้นไดย์แตกร้าว

ขนาด (กว้าง x ลึก x สูง) 1200 x 900 x 1500 มม.

จอแสดงผล LCD 17 นิ้ว

ความละเอียดของจอแสดงผล 1024 x 768

ไดย์หาย

เซ็นเซอร์สุญญากาศ

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคของเครื่องติดชิปแบบ 380i ขนาด 12 นิ้ว

โต๊ะทำงานแบบยึดตรึง (โมดูลเชิงเส้น)

โต๊ะทำงานแบบยึดตรึง (โมดูลเชิงเส้น)

กล้อง

ระยะการเคลื่อนที่ของโต๊ะทำงาน 100×300 มม.

ระยะการเคลื่อนที่ของโต๊ะทำงาน 100×300 มม.

กำลังขยายภาพแบบออปติคัล (องค์ประกอบคริสตัล) 0.7× ถึง 4.5×

ความละเอียด 1 ไมโครเมตร

ความละเอียด 1 ไมโครเมตร

โต๊ะทำงานสำหรับเวเฟอร์ (โมดูลเชิงเส้น)

โต๊ะทำงานสำหรับเวเฟอร์ (โมดูลเชิงเส้น)

ระยะเวลาการแข็งตัวน้อยกว่า 250 มิลลิวินาที และความสามารถในการผลิตมากกว่า 12,000 ชิ้น

ระยะการเคลื่อนที่แกน XY 12 นิ้ว × 12 นิ้ว

ระยะการเคลื่อนที่แกน XY 12 นิ้ว × 12 นิ้ว

ความละเอียด 1 ไมโครเมตร

ความละเอียด 1 ไมโครเมตร

ความแม่นยำในการวางเวเฟอร์

ความแม่นยำในการวางเวเฟอร์

วิธีการป้อนวัสดุอัตโนมัติด้วยถ้วยดูดสุญญากาศ

ความแม่นยำของตำแหน่งกาวในแนวแกน X-Y ±2 มิล

ความแม่นยำของการหมุน ±3°

ความแม่นยำของตำแหน่งกาวในแนวแกน X-Y ±2 มิล

ความแม่นยำของการหมุน ±3°

ใช้กล่องบรรจุวัสดุแบบคอนเทนเนอร์สำหรับการเก็บวัสดุหลังตัด

ใช้แผ่นยึดแบบลมเพื่อยึดชิ้นงาน โดยช่วงการปรับความกว้างของโครงยึดคือ 25–90 มม.

โมดูลจ่ายกาว

โมดูลจ่ายกาว

ใช้ระบบจ่ายกาวแบบแขนแกว่งร่วมกับระบบให้ความร้อน

ใช้ระบบจ่ายกาวแบบแขนแกว่งร่วมกับระบบให้ความร้อน

ชุดเข็มจ่ายกาวสามารถเปลี่ยนได้ระหว่างเข็มเดี่ยวหรือเข็มหลายแฉก

ชุดเข็มจ่ายกาวสามารถเปลี่ยนได้ระหว่างเข็มเดี่ยวหรือเข็มหลายแฉก

ระบบ PR

ระบบ PR

วิธีการ: 256 ระดับสีเทา

วิธีการ: 256 ระดับสีเทา

จอแสดงผล 17 นิ้ว

จอแสดงผล 17 นิ้ว

ความละเอียดของหน้าจอ: 1024×768

ความละเอียดของหน้าจอ: 1024×768