เครื่องลิโธกราฟีแบบด้านเดียวอัตโนมัติเต็มรูปแบบขนาด 8 นิ้ว , China เครื่องลิโธกราฟีแบบด้านเดียวอัตโนมัติเต็มรูปแบบขนาด 8 นิ้ว Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

MDHS-AL8 เครื่องพิมพ์หนึ่งด้านอัตโนมัติขนาด 8"

1. โหมดการทำงาน: หุ่นยนต์โหลดจะโหลดเวเฟอร์จากกล่องเวเฟอร์ A-B (สามารถนำกลับมาใช้ใหม่ได้) ไปยังโต๊ะวางตำแหน่งล่วงหน้า โต๊ะทำงาน และผ่านการปรับตำแหน่งของเวเฟอร์ด้วยระบบกล้องและระบบหมุนอัตโนมัติ สามารถบรรลุการวางตำแหน่งเบื้องต้นของเวเฟอร์ได้ หุ่นยนต์สำหรับโหลดจะนำเวเฟอร์ที่วางตำแหน่งไว้แล้วไปยังโต๊ะจัดแนว จากนั้นผ่านการรู้จำภาพด้วยคอมพิวเตอร์และการปรับระบบจัดแนวอัตโนมัติ สามารถบรรลุการจัดแนวอัตโนมัติของกราฟิกบนแมสก์และเวเฟอร์ได้ นอกจากนี้ยังสามารถทำกระบวนการฉายแสงหนึ่งครั้งโดยไม่ต้องจัดแนวกราฟิก เมื่อเสร็จสิ้นการฉายแสงอัตโนมัติด้วยระบบที่เกินค่าปกติ หุ่นยนต์สำหรับปล่อยจะวางเวเฟอร์ลงในกล่องเวเฟอร์แบบ C-D (รีไซเคิลได้) อัตโนมัติ

2. พื้นที่ฉายแสง: 160 × 160 มม.;
3. การกระจายความเข้มของการฉายแสง: ≤ 3%;
4. ความเข้มของการฉายแสง: 0~≥ 40mw/cm2 ปรับได้ (มุมลำแสง 2 °);
5. มุมลำแสง UV: ≤ 3 °;
6. คลื่นยาวศูนย์กลางของแสงอัลตราไวโอเลต: 365nm;
7. อายุการใช้งานของแหล่งกำเนิดแสง UV: ≥ 20000 ชั่วโมง;
8. ความสามารถในการแยก: 0~≥ 1000um ปรับได้;
9. ความแม่นยำของการจัดแนว: ≤ ± 1.5 μ M;
10. ความแม่นยำของการ暴สัมผัส: การ暴สัมผัส ± 1 μ m. การแยกการ暴ใกล้ชิดของ 20 μ M มุมลำแสง 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. วิธีการ暴: การสัมผัสถึง, การสัมผัสแบบนุ่ม, และการ暴ใกล้ชิด;
12. โหมดการ暴: คุณสามารถเลือกระหว่างการ暴ครั้งเดียวหรือการ暴แบบออฟเซ็ท
13. ระบบการจำแนกภาพและการหมุนตำแหน่งล่วงหน้า (รวมถึงโต๊ะทำงานตำแหน่งล่วงหน้า): มุมการหมุน Q ≥ ± 180 °, ความแม่นยำในการหมุน Q ≤ 0.01 °;
14. ระบบการจำแนกภาพและการจัดแนวอัตโนมัติ (รวมถึงโต๊ะทำงาน UVW): ช่วงการจัดแนว X Y ≥ ± 5mm, มุมการหมุน Q ≥ ± 3 °, และเลนส์สองตัวของกล้องจุลทรรศน์ควบคุมโดยแพลตฟอร์มไฟฟ้า XYZ สองตัว.
15. ขนาดแมสก์: 5 " × 5 "และ 7" × 7 ";
16. ขนาดเวเฟอร์: 4 "และ 6";
17. เวิร์กสเตชันกล่องฟิล์มบนและล่าง: เวิร์กสเตชันคู่;
18. หมอนรองพื้นอากาศ
19. แขนหุ่นยนต์คู่สำหรับการโหลดและ缷: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. จำนวนแผ่นเวเฟอร์ในกล่องเวเฟอร์: กำหนดตามจำนวนแผ่นเวเฟอร์ในกล่องเวเฟอร์ของลูกค้า;
21. การยกโต๊ะตำแหน่ง: Z ≥ ± 25mm;
22. เวลาการสัมผัสแสง: ปรับได้ตั้งแต่ 0 ถึง 999.9 วินาที;
23. จังหวะการผลิต: >120 ชิ้นต่อชั่วโมง;
24. แหล่งจ่ายไฟ: เฟสเดียว AC220V 50Hz, การใช้พลังงาน ≤ 3KW;
25. ความดันอากาศสะอาด: ≥ 0.4MPa;
26. ระดับสุญญากาศ: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. ขนาด: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. น้ำหนัก: ประมาณ 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

เครื่องนี้ประกอบด้วยหัวสัมผัสแสง UV LED, ระบบการรู้จำภาพและหมุนอัตโนมัติ, โต๊ะทำงานก่อนวางตำแหน่ง, และระบบการรู้จำภาพแบบเหมือนจริงและการจัดแนวอัตโนมัติ, โต๊ะจัดแนว, หุ่นยนต์โหลด, หุ่นยนต์缷, ชั้นวาง, และอุปกรณ์ควบคุมไฟฟ้า รวมถึงอะไหล่สำรอง เป็นต้น

ข้อมูลจำเพาะ

1. เฮดส่องแสง: เฮดส่องแสงอัลตราไวโอเลต LED หนึ่งชุด (365nm);
2. โต๊ะทำงานสำหรับการรู้จำภาพและปรับตำแหน่งก่อน:
1) กล้อง 1 ตัว (ความละเอียด 1.3 ล้านพิกเซล)
2) อุปกรณ์วางตำแหน่งศูนย์กลาง
3) แพลตฟอร์มหมุน 1 ชุด (ใช้มอเตอร์เซอร์โว)
4) ระบบกำหนดตำแหน่ง 1 ชุด
3. ระบบการรู้จำภาพและการปรับตำแหน่งอัตโนมัติ:
1) กล้อง 2 ตัว (ความละเอียด 5 ล้านพิกเซล อัตราเฟรมสูง)
2) เลนส์ 2 ตัว (เลนส์ความละเอียดสูง 4x)
3) คอมพิวเตอร์อุตสาหกรรม 1 เครื่อง
4) เครื่องควบคุมหนึ่งตัว (ควบคุมโดย PLC)
5) ชุดแพลตฟอร์มปรับแนวหนึ่งชุด (ใช้มอเตอร์สเต็ปแบบ 5 เฟส)
6) ชุดระบบการเคลื่อนที่
7) เครื่องจักรบนแผ่นด้านบนใช้มอเตอร์สำหรับยกขึ้นและลดลง
7) ซอฟต์แวร์ใช้เวอร์ชันล่าสุดของ LabVIEW Professional Edition
4. กราบกลไกสำหรับโหลดและการถอด:
1) X Y Z กลไกการเคลื่อนที่อัตโนมัติหนึ่งชุด
2) แขนหุ่นยนต์คู่ (แขนสำหรับโหลดและการถอด)
5. กลไกตรึงกล่องเวเฟอร์:
1) AB เป็นการวางตำแหน่งที่ตรึงของกล่องฟิล์มที่ให้อาหาร
2) CD คือการวางตำแหน่งแบบคงที่ของกล่องฟิล์มตัด
3) G คือการวางตำแหน่งแบบคงที่ของกล่องฟิล์มตำแหน่ง NG
6. ฐานกล้องแบบคงที่:
7. กลไกปรับไฟฟ้าสองชุดในแกน Y.Z (ควบคุมโดยมอเตอร์เซอร์โว)
8. ชั้นเก็บและคอนโซลควบคุมไฟฟ้า:
1) เครื่องคอมพิวเตอร์สำหรับงานอุตสาหกรรม 1 เครื่อง
2) ชุด PLC หนึ่งชุด;
3) ชุดวาล์วแม่เหล็กไฟฟ้าและระบบควบคุมหนึ่งชุด
4) ชุดเครื่องมือลมดิจิทัลหนึ่งชุด
5) คอนโซลควบคุมหนึ่งชุด
8. อุปกรณ์เสริมสำรอง:
1) ท่อหลอดลม: 15 เมตร
2) วาล์วโซเลนอยด์ 2 ตัว
3) เครื่องสูญญากาศ: 1 ชุด
9. ข้อมูลทางเทคนิค:
1) คู่มือการใช้งานหนึ่งเล่ม
2) เซอร์ติฟิเคตแสดงความตรงกันหนึ่งใบ
10. เพิ่มเติม
ซอฟต์แวร์ของอุปกรณ์จำเป็นต้องมีโปรโตคอล SECS สำหรับการสื่อสาร และผู้ซื้อจะให้ไลบรารีไดนามิกที่สามารถเชื่อมต่อกับระบบ MES ของผู้ซื้อได้ โดยบันทึกหมายเลขแบทช์ของผลิตภัณฑ์ อ้างอิงงาน และสถานะการทำงานโดยอัตโนมัติและอัพโหลดข้อมูลเหล่านั้น นอกจากนี้ยังต้องมีฟังก์ชันในการระบุโค้ด QR ของแผ่นแมสก์ เปรียบเทียบกับโค้ด QR ของแผ่นแมสก์ในฐานข้อมูลระบบ MES และป้องกันไม่ให้นำแผ่นแมสก์ที่ผิดมาใช้

การบรรจุภัณฑ์และการจัดส่ง