เครื่องลิเทอร์กราฟีแบบไม่ใช้มาสก์ DMD , China เครื่องลิเทอร์กราฟีแบบไม่ใช้มาสก์ DMD Manufacturers, Suppliers, Factory

เครื่องลิเทอร์กราฟีแบบไม่ใช้มาสก์ DMD

รุ่น: MDZY-DMD-MLL200

เทคโนโลยีการเขียนโดยตรงแบบ DMD (อุปกรณ์ไมโครมิเรอร์ดิจิทัล) ช่วยขจัดความจำเป็นในการใช้มาสก์ ให้ความละเอียดของเส้นลายสูงสุดถึง 0.5 ไมครอน

เหมาะสำหรับห้องปฏิบัติการวิจัยและพัฒนาเซมิคอนดักเตอร์ในมหาวิทยาลัย อุปกรณ์โรงงานผลิตเวเฟอร์ (Wafer FAB) สำหรับงานวิจัยและพัฒนาขนาดเล็ก การบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง การผลิตแผงวงจรพิมพ์ (PCB) ไมโครฟลูอิดิกส์และไบโอชิป MEMS เครื่องลิโธกราฟีแบบไม่ใช้มาสก์แบบ DMD (อุปกรณ์ไมโครมิเรอร์ดิจิทัล)

รายละเอียดผลิตภัณฑ์

MDZY-DMD-MLL200
เครื่องลิเทอร์กราฟีแบบไม่ใช้มาสก์ DMD

MDZY-DMD-MLL200 เป็นเครื่องลิเทอร์กราฟีแบบไม่ใช้มาสก์ที่ใช้เทคโนโลยี DMD (Digital Micromirror Device) โดยการแทนที่มาสก์แบบดั้งเดิมด้วย DMD ทำให้สามารถออกแบบลวดลายลิเทอร์กราฟีได้อย่างรวดเร็วและยืดหยุ่น รองรับการลิเทอร์กราฟีแบบ 2 มิติ และระดับสีเทา 8 บิต สามารถตอบสนองความต้องการในการลิเทอร์กราฟีระดับไมครอนได้ทุกประเภท และถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในสาขาต่างๆ เช่น MEMS และไมโครฟลูอิดิกส์

คุณสมบัติ

1. ดีไซน์กะทัดรัด ตั้งโต๊ะได้
2. แหล่งกำเนิดแสงสำหรับการเปิดภาพแบบ LED กำลังสูง และมีความสม่ำเสมอมาก
3. แสงสีเขียวช่วยนำทางในการเปิดภาพ
4. การโฟกัสภาพอัตโนมัติด้วยกล้อง CCD
5. เวทีมอเตอร์เชิงเส้นความแม่นยำสูง
6. อินเทอร์เฟซซอฟต์แวร์ที่ใช้งานง่าย

พารามิเตอร์

ความยาวคลื่นกลางของแหล่งกำเนิดแสง UV	405nm
ความสม่ำเสมอของการเปิดรับแสง	มากกว่า 90%
ความกว้างเส้นลักษณะขั้นต่ำ	0.5um
พื้นที่การเปิดรับแสงของสนามเขียนแบบผ่านครั้งเดียว	0.16*0.16mm (@0.5um)
ความเร็วในการเขียน	80 มม.²/นาที (ความกว้างเส้นลักษณะ 1 ไมครอน)
รูปแบบภาพที่รองรับ	DXF, GDS, bmp, png, ฯลฯ

การตั้งค่า

การตั้งค่า	เวอร์ชันพื้นฐาน	รุ่นมืออาชีพ
แหล่งกำเนิดแสง	หลอดไฟ LED กำลังสูง: 405 นาโนเมตร
ชิป DMD	DLP6500
พื้นที่การเปิดรับแสงแบบช่องเดียว	0.160.16 มม. (@0.5 ไมครอน), 0.40.4 มม. (@0.7 ไมครอน), 0.80.8 มม. (@1 ไมครอน), 1.61.6 มม. (@2 ไมครอน)
กล้อง	กล้องจุลทรรศน์ขนาดใหญ่ (รองรับการวัดขนาด)
ความกว้างเส้นระยะห่างเท่ากันขั้นต่ำ	0.8 µm	0.5μm
ความแม่นยำของการต่อกัน	±0.3 µm	±0.3μm
ความแม่นยำของการซ้อนทับ	±0.5 µm	±0.5μm
ความเร็วในการเขียน	20 mm²/min (ความกว้างเส้นลวดลายขนาด 1 µm)	80 mm²/min (ความกว้างเส้นลวดลายขนาด 1 μm)
เวทีเคลื่อนที่	มอเตอร์เชิงเส้นความแม่นยำสูง (ความแม่นยำในการจัดตำแหน่งซ้ำได้ ±0.25µm), กลไกปรับระดับ, เวทีหมุนแบบแมนนวล	มอเตอร์เชิงเส้นความแม่นยำสูง (ความแม่นยำในการจัดตำแหน่งซ้ำได้ ±0.25µm), กลไกปรับระดับ, เวทีหมุนไฟฟ้า
ตัวเปลี่ยนเลนส์เป้าหมาย	การเปลี่ยนเลนส์เป้าหมายแบบแมนนวล	การเปลี่ยนเลนส์เป้าหมายแบบมอเตอร์ขับเคลื่อน
โมดูลโฟกัส	โฟกัสอัตโนมัติด้วยภาพ CCD	โฟกัสแบบใช้เลเซอร์
ขนาดเวเฟอร์ที่รองรับ	4 นิ้ว	4 นิ้ว/8 นิ้ว
ความหนาของตัวอย่าง	0-10 มิลลิเมตร	0-10 มม.

กรณีการใช้

ชิปไมโครฟลูอิดิกส์

การลิทtogราฟี DMD UV สำหรับฟังก์ชันโอเวอร์เลย์

การกัดกร่อนโครงข่ายนาโนเทลลูเรียมตามด้วยการทับซ้อนขั้วไฟฟ้า

การลิทtogราฟีระดับสีเทาของเลนส์เฟรสเนล, การลิทtogราฟีระดับสีเทา 3 มิติสำหรับเลนส์เฟรสเนล แสดงการเปลี่ยนแปลงขั้นบันไดแบบต่อเนื่องในภาพตัดขวางจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน

ขั้วไฟฟ้าจากวัสดุสองมิติ, ขั้วไฟฟ้าจากวัสดุสองมิติหลังจากการระเหยและการลอกออก, ขั้วไฟฟ้าที่ระเหยคือ Ti/Au/Ti (รวม 12 นาโนเมตร)

การลิทtogราฟีแบบรวมกันระหว่าง DMD UV และลำแสงอิเล็กตรอน

ซอฟต์แวร์

ผู้ใช้สามารถดำเนินการลิทtogราฟีทั้งหมดได้จากอินเทอร์เฟซหลักโดยไม่ต้องเปิดหน้าต่างป๊อปอัปใดๆ

โมดูลตัดแต่งภาพ:

รวมฟังก์ชันต่างๆ เช่น การครอบภาพแบบกำหนดเอง การเติมอัตโนมัติ การกลับสี และการลดสัญญาณรบกวนขอบ (anti-aliasing)

การผูกข้อมูลวัตถุ:

ผู้ใช้สามารถตั้งค่าการผูกข้อมูลวัตถุที่ตำแหน่งใดก็ได้บนพื้นผิวตัวอย่าง และพร้อมกันนั้นสามารถดูตัวอย่างความสัมพันธ์ระหว่างภาพย่อยใดๆ ในภาพสนามเต็มกับพื้นผิวตัวอย่าง เพื่อให้สามารถซ้อนทับได้อย่างแม่นยำ

ฟังก์ชันการวาดภาพในสถานที่จริง:

สามารถวาดภาพกราฟิกลงบนภาพจุลทรรศน์ได้โดยตรง และฉายไปยังตัวอย่างเพื่อให้เกิดการลิเทอร์ฟิเคชันด้วยแสงในสถานที่จริง

อุปกรณ์ถ่ายทำจริง

การบรรจุภัณฑ์และการจัดส่ง

ประวัติบริษัท

ตั้งแต่ปี 2014 เป็นต้นมา Minder-Hightech เป็นตัวแทนจำหน่ายและบริการในอุตสาหกรรมเครื่องจักรสำหรับผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ เราให้ความมุ่งมั่นในการให้บริการลูกค้าด้วยโซลูชันแบบครบวงจรที่มีคุณภาพสูงและเชื่อถือได้ ปัจจุบันผลิตภัณฑ์ภายใต้แบรนด์ของเราได้กระจายตัวไปยังประเทศอุตสาหกรรมหลักทั่วโลก ช่วยให้ลูกค้าเพิ่มประสิทธิภาพ ลดต้นทุน และพัฒนาคุณภาพของผลิตภัณฑ์

คำถามที่พบบ่อย

1. เกี่ยวกับราคา:
ราคาทั้งหมดของเราเป็นราคาที่แข่งขันได้และสามารถต่อรองได้ ราคาจะแตกต่างกันไปตามการกำหนดค่าและความซับซ้อนของการปรับแต่งของอุปกรณ์ของคุณ

2. เกี่ยวกับตัวอย่าง:
เราสามารถให้บริการผลิตตัวอย่างสำหรับคุณได้ แต่คุณอาจต้องชำระค่าธรรมเนียมบางส่วน

3. เกี่ยวกับการชำระเงิน:
หลังจากแผนได้รับการยืนยันแล้ว คุณจำเป็นต้องจ่ายเงินมัดจำให้เราเป็นลำดับแรก จากนั้นโรงงานจะเริ่มเตรียมสินค้า เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระยอดคงเหลือ เราจะทำการจัดส่ง

4. เกี่ยวกับการจัดส่ง:
หลังจากการผลิตอุปกรณ์เสร็จสมบูรณ์ เราจะส่งวิดีโอการยอมรับให้คุณ และคุณยังสามารถมาตรวจสอบอุปกรณ์ที่สถานที่ได้

5. การติดตั้งและการปรับแต่ง:
หลังจากอุปกรณ์มาถึงโรงงานของคุณ เราสามารถส่งวิศวกรไปติดตั้งและปรับแต่งอุปกรณ์ เราจะเสนอราคาแยกต่างหากสำหรับค่าใช้จ่ายบริการนี้

6. เกี่ยวกับการรับประกัน:
อุปกรณ์ของเราครอบคลุมระยะเวลาการรับประกัน 12 เดือน หลังจากระยะเวลาการรับประกัน หากชิ้นส่วนใดเสียหายและต้องเปลี่ยน เราจะเรียกเก็บเฉพาะราคากost

7. บริการหลังการขาย:
เครื่องจักรทุกเครื่องมีระยะเวลารับประกันมากกว่าหนึ่งปี วิศวกรเทคนิคของเราพร้อมให้บริการคุณตลอดเวลา เพื่อช่วยในการติดตั้ง อุปกรณ์ ปรับแต่ง และบริการบำรุงรักษา เราสามารถให้บริการติดตั้งและปรับแต่งอุปกรณ์พิเศษหรือขนาดใหญ่ถึงสถานที่จริง

หน้าแรก

เกี่ยวกับเรา

อุปกรณ์ MH

วิดีโอกรณีศึกษา

วิธีแก้ปัญหา

ผู้ใช้งานต่างประเทศ

ติดต่อเรา

เครื่องลิเทอร์กราฟีแบบไม่ใช้มาสก์ DMD