 
  
| Სტაჟის ზომა  | 8, 12[ინჩი]  | MAX 300x300[მმ]  | |
| Ბურთის ზომა  | ф50[უმ]~ Ф300[μm]  | ||
| Მინიმალური ბურთის მაჩვენებელი  | 90[um](Ф50[um] ბურთი)  | ||
| Ალიგნმენტის ზუსტება  | +15[um]  | ||
| Ზომები    | 3,065W x 1,700D x 1,650H[mm]  | ||
| Წონა    | Შეახლებით 2,900[kg]  | ||
| Ჩატვირთვა/გატვირთვა  | Ღია კასეტა, FOUP  | Მორგებული    | |









Საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია