Პირველი რამდენიმე რამ გავაკეთებთ, ის არის ძირითადი მასალის ზედა ფართობის ჩამორთვა სპეციალური სითხელი-რეაქტიური მასალით. ეს არის ფოტოსენსიტიური მასალა, რომელიც განათლული პროცესში ასახავს გარკვეულ როლს. შემდეგ გამოვიყენებთ მასკას, რომელიც აქვს რაღაც მონაკვეთი მის ზედა ფართობზე, და გამოვიყენებთ მას ზედა ფართობზე. მასკა სამუშაოდ გამოიყენება როგორც სტენცილი წვრილებით, რომლებიც გადაადგილებს სითხელს გარკვეულ ადგილებში. შემდეგ, ჩვენ გამოვაკეთებთ მასკის მონაკვეთის გამოსახულებას UV სითხელზე, რომელსაც ჩვენ არ შეგვიძლია ნახოთ. ეს სითხელი ქმნის ფოტოსენსიტური მასალის სურათს, როგორც ის, როგორც სიმღერა შეიქმნება მზის სითხელის გამო, როდესაც შენ გამოხატავ რაღაც ფორმაზე ჩრდილოეთში. ბოლო ეტაპი შედგება ძირითადი მასალის ჩამორთვაში გამოყენებული სახელმძღვანელოდ ცნობილი გადაჭრილი სალადო სადგურში. ეს პროცესი ამოაშლის ფოტოსენსიტური ფერის სივრცეები, რომლებიც გამოხატულია სითხელზე, და წარმოადგენს მონაკვეთს ძირითადი მასალაზე.
Ინ Გაწერის მოწყობილობა ერთ-ერთი დიდი ნაწილი, რომელიც უნდა გაკонтროლდეს, არის შეცდომები, რომლებიც ხდება სამ ძირითად ეტაპზე, და ძალიან Gaussian important არის მიღება კარგი, ზუსტი შედეგები. ჩამოსავლენი a) ჩამოსავლენი შეიცავს ფოტოსენსიტიური მასალის ერთforma და ერთსანამდვილეს დაფარვას ბაზოვან მასალაზე. ანუ, ყოველი ბაზოვანი მასალის ნაწილი უნდა ჰქონდეს იგივე დოზა სპეციალური ინგრედიენტით. სხვა სიტყვით, ჩვენ ჩანაწერებისთვის ჩამოვალენის მარტივად და დონორის გარეშე გამოვიყენებთ მანქანებს. ამ ეტაპზე ჩვენ ვერიფიცირებთ ხარისხს (გარეშე გამავალები ან ნებისმიერი დანიშნულები ზედა მხარე)
Დეველოპერის ამოხსნა გამოიყენება გამოხატული მასალის ნაწილის შლისთვის, ქველის შექმნისას 3-ე ნაბიჯზე; დეველოპმენტი. მაგრამ ჩვენ მას ასევე შეგვიძლია გავაკეთოთ არასწორად. ჩვენ არ გვინდა მასალა ძალიან დიდ ხნის განმავლობაში დატოვოთ ამოხსნაში და თუ ჩვენი ამოხსნა ძალიან ძლიერია, ის შლის ქველს, რომელსაც ჩვენ ვცდილობთ შექმნაში. ასე რომ, ჩვენ უნდა ძალიან ფრენილიანი განაკვეთოთ დეველოპერის ამოხსნის დრო და კონცენტრაცია კარგი შედეგების მისაღებად.
Ძირითადი სასარგებლობა Სიმაგრის კავშირის მაშინა არის ძალიან მცირე კომპონენტების გამოსახატველად. ეს გვაძლევს შესაძლებლობას ძალიან მცირე, მაღალი გამოistungის ნაწილების წარმოებას. მეთოდი ასევე ძალიან სასარგებლოა მასიური წარმოებისთვის; ის გვაძლევს შესაძლებლობას ბევრი ნაწილი წარმოადგინოს მალე დროის განმავლობაში. ეს გარკვეულად მნიშვნელოვანია ინდუსტრიებში, სადაც არის ძალიან მაღალი მოთხოვნა რაღაც ტიპის ერთნაირი ნაწილებზე (მაგალითად, ელექტრონიკის წარმოების ინდუსტრია).
Მეგობრულად, აქ ასევე არის რამდენიმე წინაპარი. მასკალაინერის ფოტოლითოგრაფიის მაღალი ღირებულება მანქანების და მას შემდეგ გამოყენებული მასალების მიხედვით არის ერთ-ერთი უდიდესი გამოწვევა ამ მეთოდის გამოყენებისას. მანქანები შეიძლება იყოს ძალიან მაღალი ღირებულების, და ჩვენ სჭირდებით მაღალი ხარისხის მასალები, რომლებიც ასევე ძალიან გავლენას ხდის. ასევე, არ არის შესაძლებელი შექმნა 10 ნანომეტრზე მცირე ელემენტები ამ ტიპის მეთოდით. ეს საგანმანათლებელია, რადგან ჩვენ ხშირად ვსცემთ დამატებით მცირე და ძლიერ რამე შექმნას. განსაკუთრებით, პროცესი ძალიან მარანგულია და უნდა გაიმართოს ძალიან чистი გარემოში (ჩვენ ჩვეულებრივ უწოდებთ ეს cleanroom). ეს მოთხოვნა შეიძლება გახდეს რამე ცოტა უფრო სარგებელი და უფრო ღირებული.
Ელექტრონიკას და მედიცინას შორის სფეროებში, მასკალაინერის ფოტოლითოგრაფია დაყრდნობულია ძირითად კვლევაზე და განვითარებაზე. SU-8-ის გამოყენება აბსოლუტურად საჭიროა ელექტრონიკის ინდუსტრიაში მიკროელექტრონული მოწყობილობის, როგორიც არის ინტეგრირებული ცირკუიტები, სენსორები და ეკრანები, წარმოებაში. ამ სტრუქტურების შექმნა მოითხოვა რაოდენობით სპეციალური ინსტრუმენტები, რომლებიც შეიქმნენ ამ მუშაობას შესრულებლად, კარგი მაგალითებია EVG(R) მასკალაინერი და EVG(R) ვაფერის კავშირის სისტემა.
Მაგალითად, მედიცინურ კვლევაში ფოტოლითოგრაფია იყენება მიკროსკოპური კანალების შესაქმნელად სხეულთა სითხეების ანალიზისთვის; ეს ტექნოლოგია არის ნაწილობრივი იმაზე, რაც ეწოდება ლაბორატორია-ჩიპზე. ამ ტექნოლოგიის გამოყენებით სითხეები შეიძლება ანალიზირებული იყოს სწრაფად და მერვეებით, რათა მეტი ინფორმაცია მიღებული იყოს pacientის ჯანმრთელობის შესახებ. ფოტოლითოგრაფიაში მასკის გასწორების გამოყენება მიკრო და ნანოფლუიდური სისტემების შესაქმნელად ასევე შესაძლებელია. თუ სწორედა, ეს სისტემები გაიზარდებიან მედიკამენტების დოზირების მერვეობა პაციენტებისთვის, რაც გაუმჯობებს მეთოდების ეფექტიურობას და მართვას.
Გუანგზოუ Minder-Hightech Co., Ltd.
Საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
