MDAM-CMP100/150 ზუსტი გადაჭრვის და პოლირების მანქანა, ძირითადი ერთეული და ყველა რეზერვული კომპონენტი შემოწმდება მაღალი კოროზიის წინააღმდეგ მასალებით. მთელი მანქანა კოროზიის წინააღმდეგია, მუდმივი, აბრასიური და რისხის წინააღმდეგი, შესაბამისია გადაჭრის და პოლირების სხვადასხვა სემიკონდუქტორული მასალების ქიმიურ-მექანიკური დასამუშავებლად. მუშაობის საფერადი განცალკევდება ეკრანის და კონტროლის ზონასაგან და ციფრულად კონტროლიруლია ტაჩ-სკრინ კონტროლის სისტემის გამოყენებით. CNC-ის მიერ კონტროლირებულია, შესაძენია და შეძენილი ინფორმაცია შეიძლება გამოიღო.
Აპარატის სისტემა განთავსების ფუნქციას იწვევს, რომელიც შეიძლება უწყვეტლად მუშაობდეს 10 საათით და კონტროლირდეს გარჩევის დისკის სიჩქარე. კონტროლის პანელი მდებარეობს მუშაობის ზონის გარეშე, რათა შეზღუდას აბრაზიული محلولის გადახრა კონტროლის პანელზე. მთავარი პარამეტრები შეიძლება გაიმართოს ტოქვის ეკრანზე. მთავარი პროცესის პარამეტრები იმუშავებენ შენახვასა და მოძებნას, რათა დაუზუსტოს პროცესის ერთობლივობა და განმეორება. ვაფერის ნამავალი გადაადგილებულია ფიქსტურის ქვედა ზედაპირობაზე ვაკუუმის გამოყენებით, განათავსებულია ვაკუუმის გამოყენების გარეშე მომავალი პუმა და მilikiს ანტი-რევერსული ფუნქცია.
Სამონტაჟო კონფიგურაციის ნამუშევარი ჰორიზონტალური როტაციის გადაადგილების სისტემა მქონდება ჩანთის ფუნქციით, რომელიც იмеს ჩანთის დიაპაზონს 0-100%-იანად რეგულირებადი. ჩანთის ამპლიტუდა და ხანგრძლივობის სიჩქარე ზუსტად შეიყვანება კონტროლური პანელის მიერ. სამონტაჟო მოწყობილობა მონახებულია როტაციისთვის მომდევნო გადაადგილების სისტემით, რომელიც იмеს რეგულირებად სიჩქარეს დიაპაზონს 0-120 რ/წმ. ეს ფუნქციონალური დიზაინი უზრუნველყოფს ნამუშევარის სრულ ჩანთის გარბევას გარბევისა და გარბევის პროცესში, რაც საშუალებას აძლევს მოწყობილობის გარბევის მუშაობისა და ეფექტიურობის დრამატიულ აღმატებას.
Სამონტაჟო მოწყობილობა მონახებულია ციფრული thicness მონიტორინგის სახელმწიფო ცხრილით, რომელიც იмеს მონიტორინგის ზუსტობას 1 μ m-ით. სამონტაჟო მოწყობილობის წნევა ნაწილაკზე უწყვეტად რეგულირებადია, წნევის დიაპაზონი 0-3.5kg-ია და ზუსტობა 2g/cm²-ით, რაც მონახებულია წნევის ზომვის მოწყობილობით.
Შემოჭრისა და პოლირების დისკის მუშაობა მართვის ძირითადი მექანიზმით ხდება, ხოლო დისკის სიჩქარე შეიძლება მოწესრიგდეს 0-დან 120 ბრუნამდე წუთში. ეს სიჩქარის ცვლილების დიაპაზონი ეფექტურად უზრუნველყოფს სხვადასხვა სიმტკიცისა და ზომის მასალების ნიმუშების შემოჭრისა და პოლირების სიჩქარეს, რათა მიიღოს უფრო მაღალი პროცესული მაჩვენებლები.
Შლიფირების და პოლირების დისკების ჩანაცვლება მარტივი და სწრაფია, ხოლო ჩასმული დისკები საშუალებას აძლევს მოწყობილობას სწრაფად გადავიდეს შლიფირებიდან პოლირების პროცესზე, რაც მნიშვნელოვნად ამცირებს პროცესის ხანგრძლივობას. ამასთან, შლიფირების დისკი აღჭურვილია დისკის რემონტის ბლოკით, რათა უზრუნველყოს შლიფირების დისკის კარგი ბრტყელობა.