









Wafer abrasivo |
Dimensione |
Pollici |
4,5,6,8 |
Metodo di lucidatura |
- |
Metodo di affondamento verticale |
|
Asse della ruota abrasiva |
Tipi |
- |
Manici ad aria |
Quantità |
- |
1 |
|
Velocità |
rpm |
0~5000 |
|
Potenza di uscita |
Kw |
5.5/7.5 |
|
Corsa |
mm |
150 |
|
Velocità di alimentazione |
um/s |
0.01~100 |
|
Velocità di avanzamento rapido |
mm/min |
300 |
|
Risoluzione |
um |
0.1 |
|
Asse del pezzo da lavorare |
Tipo |
- |
Roller bearings |
Quantità |
- |
1 |
|
Velocità |
rpm |
0~300 |
|
Potenza |
kw |
0.75 |
|
Tipo di ventosa |
- |
Ceramica microporosa |
|
Metodo di sucuzione della wafer |
- |
Adsorbimento a vuoto |
|
Trasferimento della wafer |
- |
Manuale |
|
Altre funzioni |
Centratura della wafer |
- |
- |
Pulizia della wafer |
- |
- |
|
Pulizia della coppa di suczione |
- |
- |
|
MOLA PER AFFILATURA |
mm |
φ200 |
|
ONLINE misurazione |
Intervallo di misurazione |
um |
0~1800 |
Risoluzione |
um |
0.1 |
|
Precisione di ripetizione |
um |
±0.5 |
|
Lavorazione meccanica precision |
Precisione intra-wafer (TTV) |
um |
≤2 |
Precisione inter-lamiera (WTW) |
um |
±3 |
|
Roughness della superficie (Ry) |
um |
0.1(2000#finish) |
|
Aspetto |
Colorazione dell'aspetto |
um |
Modello Arancione |
Dimensioni(L×P×A) |
mm |
690×1720×1780 |
|
Peso |
kg |
1400 |
Wafer abrasivo |
Dimensione |
Pollici |
6,8,12 |
Metodo di lucidatura |
- |
Metodo di affondamento verticale |
|
Asse della ruota abrasiva |
Tipi |
- |
Manici ad aria |
Quantità |
- |
1 |
|
Velocità |
rpm |
0~5000 |
|
Potenza di uscita |
Kw |
5.5/7.5 |
|
Corsa |
mm |
150 |
|
Velocità di alimentazione |
um/s |
0.01~100 |
|
Velocità di avanzamento rapido |
mm/min |
300 |
|
Risoluzione |
um |
0.1 |
|
Asse del pezzo da lavorare |
Tipo |
- |
Roller bearings |
Quantità |
- |
1 |
|
Velocità |
rpm |
0~300 |
|
Tipo di ventosa |
- |
Ceramica microporosa |
|
Metodo di sucuzione della wafer |
- |
Adsorbimento a vuoto |
|
Trasferimento della wafer |
- |
Manuale |
|
Altre funzioni |
Centratura della wafer |
- |
- |
Pulizia della wafer |
- |
- |
|
Pulizia della coppa di suczione |
- |
- |
|
MOLA PER AFFILATURA |
mm |
φ300 |
|
ONLINE misurazione |
Intervallo di misurazione |
um |
0~1800 |
Risoluzione |
um |
0.1 |
|
Precisione di ripetizione |
um |
±0.5 |
|
Lavorazione meccanica precision |
Precisione intra-wafer (TTV) |
um |
≤3 |
Precisione inter-lamiera (WTW) |
um |
±3 |
|
Roughness della superficie (Ry) |
um |
0.13(2000#finish) |
|
Aspetto |
Colorazione dell'aspetto |
um |
Modello Arancione |
Dimensioni(L×P×A) |
mm |
790×2170×1830 |
|
Peso |
kg |
1800 |





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