MDHS-AL8 Macchina litografica automatica singola faccia da 8" , China MDHS-AL8 Macchina litografica automatica singola faccia da 8" Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrizione del Prodotto

MDHS-AL8 Macchina litografica automatica singola faccia da 8"

1. Modalità di funzionamento: Il robot di caricamento carica automaticamente i wafer dalla scatola A-B (riciclabile) alla posizione preliminare

banco di lavoro, e attraverso l'aggiustamento del wafer di posizionamento della telecamera e del sistema di rotazione automatica, si raggiunge il pre-posizionamento del wafer; il robot di caricamento carica quindi i wafer pre-posizionati sul banco di allineamento. Attraverso il riconoscimento delle immagini al computer e l'aggiustamento del sistema di allineamento automatico, è possibile ottenere l'allineamento automatico delle grafiche sulla maschera e sui wafer. È inoltre possibile completare una singola esposizione senza allineare le grafiche. Dopo l'esposizione automatica dal sistema di sovraesposizione, il robot di scarico posiziona automaticamente i wafer nella scatola per wafer C-D (riciclabile).
2. Area di esposizione: 160 × 160mm;
3. Illuminazione irregolare durante l'esposura: ≤ 3%;
4. Intensità di esposizione: 0~≥ 40mw/cm2 regolabile (angolo del fascio 2 °);
5. Angolo del fascio UV: ≤ 3 °;
6. Lunghezza d'onda centrale della luce ultravioletta: 365nm;
7. Durata della sorgente di luce UV: ≥ 20000 ore;
8. Capacità di separazione: 0~≥ 1000um regolabile;
9. Precisione di allineamento: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Precisione di esposizione: esposizione a contatto ± 1 μm. Separazione di esposizione prossima di 20 μm, angolo del fascio 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Metodi di esposizione: contatto duro, contatto morbido e esposizione prossima;
12. Modalità di esposizione: si può scegliere tra esposizione in un colpo solo o esposizione con offset
13. Sistema di riconoscimento immagini e rotazione automatica pre-posizionamento (incluso il banco di lavoro pre-posizionamento): angolo di rotazione Q ≥ ± 180 °, precisione di rotazione Q ≤ 0,01 °;
14. Sistema di riconoscimento immagini e allineamento automatico (incluso il banco di lavoro UVW allineamento): intervallo di allineamento X Y ≥ ± 5mm, angolo di rotazione Q ≥ ± 3 °, e le due lenti del microscopio sono controllate da due piattaforme elettriche XYZ.
15. Dimensioni della maschera: 5 "× 5" e 7" × 7 ";
16. Dimensioni della wafer: 4 "e 6";
17. Stazioni di lavoro per scatole di film superiore e inferiore: stazioni duali;
18. Airbag cuscinetto piede
19. Braccio robotico a doppio braccio per il caricamento e scaricamento: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Numero di wafer nella scatola wafer: determinato in base al numero di wafer nella scatola wafer del cliente;
21. Sollevamento della tavola di posizionamento: Z ≥ ± 25mm;
22. Tempistica di esposizione: regolabile da 0 a 999,9 secondi;
23. Ritmo di produzione: >120 pezzi all'ora;
24. Fornitura elettrica: monofase AC220V 50Hz, consumo ≤ 3KW;
25. Pressione aria pulita: ≥ 0,4MPa;
26. Grado di vuoto: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Dimensioni: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Peso: Circa 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Questa macchina è composta da una testina di esposizione UV LED, un sistema di riconoscimento immagini e rotazione automatica, un banco di lavoro pre-posizionato e sistemi di riconoscimento simile a immagini e allineamento automatico, banchi di allineamento, robot di caricamento, robot di scaricamento, scaffali e attrezzature di controllo elettrico, accessori di ricambio, ecc.

Specifiche

1. Testa di esposizione: Una testa di esposizione LED ultravioletta (365nm);
2. Banca di lavoro per il riconoscimento delle immagini e l'allineamento preliminare:
1) 1 camera (1,3 milioni di pixel)
2) Fixture di posizionamento al centro
3) 1 piattaforma rotante (con motore a servomeccanismo)
4) 1 sistema di posizionamento
3. Sistema di riconoscimento delle immagini e allineamento automatico:
1) 2 camere (5 milioni di pixel con alta frequenza)
2) 2 lenti (lente ad alto definizione 4x)
3) Un computer industriale
4) Un controller (controllato da PLC)
5) Un insieme di piattaforma di allineamento (utilizzando un motore passo-passo a 5 fasi)
6) Un insieme di sistema sportivo
7) Il dispositivo della piastra superiore utilizza un motore per il sollevamento e l'abbassamento
7) Il software utilizza la versione più recente di LabVIEW Professional Edition
4. Braccio meccanico di caricamento e scaricamento:
1) X Y. Un insieme di meccanismo di movimento automatico Z
2) Braccio robotico a doppio braccio (braccia di caricamento e scaricamento)
5. Meccanismo di fissaggio del contenitore di wafer:
1) AB è la posizionamento fisso del contenitore di alimentazione
2) CD è la posizionamento fisso della scatola del film di taglio
3) G è la posizionamento fisso della scatola del film in posizione NG
6. Piattaforma fissa della telecamera:
7. Due serie di meccanismi di regolazione elettrica Y.Z (controllati da motori a servocomando)
8. Rack e console di controllo elettrico:
1) 1 computer industriale
2) Una serie di PLC;
3) Una serie di valvole elettromagnetiche e sistema di controllo
4) Una serie di strumenti pneumatici digitali
5) Una serie di console di controllo
8. Accessori di ricambio:
1) Tracheale: 15 metri
2) 2 valvole solenoidi
3) Pompa a vuoto: 1 unità
9. Dati tecnici:
1) Un manuale utente
2) Un certificato di conformità
10. Aggiuntivo
Il software dell'attrezzatura deve essere dotato del protocollo di comunicazione SECS, e il compratore fornisce una libreria dinamica con la funzione di connessione al sistema MES del compratore, registrando automaticamente il numero di lotto del prodotto, il numero di lavoro e lo stato di operazione e caricandoli. Nello stesso tempo, ha la funzione di identificare il codice QR della maschera, confrontandolo con il codice QR della maschera nel sistema MES e prevenendo l'utilizzo della maschera errata.

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