Macchina di Litografia con Allineatore Maschera , China Macchina di Litografia con Allineatore Maschera Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrizione dei Prodotti

Macchina di Litografia con Allineatore Maschera

Allineatore di Maschere Nota anche come: macchina di allineamento espositivo della maschera, sistema di esposizione, sistema di litografia, ecc., è l'attrezzatura principale per la produzione di chip. Utilizza una tecnologia simile alla stampa fotografica per stampare i fini schemi sulla maschera sul disco di silicio tramite esposizione luminosa.

Caratteristica

——Alta uniformità testina di esposizione a fly-eye / meccanismo di livellamento a galleggiamento ad aria / affidabile esposizione a tenaglia a vuoto.
——Le caratteristiche sopra citate garantisco alta risoluzione e alta uniformità.
——Il metodo di allineamento con maschera garantisce stabilità e alimentazione del substrato, il che assicura la coerenza della forza gravitazionale e della forza.
——Utilizzo di guide rette senza interspazi, alta precisione, velocità elevata.

La produzione di un sistema di allineamento ad alta precisione richiede quasi una perfezione nel processo meccanico. Un altro problema tecnico del sistema di allineamento è il microscopio di allineamento. Al fine di migliorare il campo visivo del microscopio, molte macchine litografiche di alto livello utilizzano l'illuminazione LED. Ci sono due sistemi di allineamento con funzione di messa a fuoco. È principalmente composto da due oculari e due campi visivi diretti verso il corpo principale del microscopio, un paio di oculari e un paio di obiettivi (la macchina litografica fornisce solitamente oculari e obiettivi con diversi ingrandimenti per gli utenti).
la funzione del sistema di allineamento CCD è quella di ingrandire i segni di allineamento della maschera e del campione e visualizzarli sul monitor.

Specifiche

Produttore	Minder-Hightech	Minder-Hightech	Minder-Hightech	Minder-Hightech
Modello	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31	MD-G33
Testa di esposizione NO.	1 testa di esposizione	1 testa di esposizione	2 teste di esposizione	2 teste di esposizione
Tipo di sorgente luminosa	Fonte a lampada al mercurio	Fonte di luce ultravioletta	Fonte a lampada al mercurio	Fonte di luce ultravioletta
Area di esposizione	≤∅100mm	φ100 mm	≤∅120mm	≥∅115mm
Modalità di esposizione	Esposizione al contatto	tecnologia di parallelo con micro-forza	tecnologia di parallelo con micro-forza	tecnologia di parallelo con micro-forza
Irregolarità dell'esposizione	∅100mm<±4%	≤ ± 3%	∅100mm≤±6%	≤±3% Intensità di esposizione ≥20mw/cm2 (365nm, 404nm, 435nm UV combinato
Spessore del substrato	1-5mm	≤5 mm	0.1-1mm	≤5 mm
Risoluzione dell'esposizione	3 μm	1 μm	5 μm	1 μm
Portata di illuminazione	∅115mm	∅120mm	∅120mm	∅130mm
Sistema a Camera	Sistema di separazione binocolare	sistema CCD a doppio campo	sistema CCD a doppio campo	sistema CCD a doppio campo
Sistema microscopico	ingrandimento continuo 50-375	ingrandimento continuo 91x ~ 570X (lente obiettiva ingrandimento continuo 1.6x ~ 10x), il intervallo di regolazione della distanza tra le lenti obiettive è 50mm ~ 120mm	0.7-4.5 zoom continuo	ingrandimento 60x, 120x zoom continuo (ingrandimento obiettivo 2x, 4x due), distanza regolabile doppia obiettivo 25mm-70mm

Profilo dell'azienda

Minder-Hightech è il rappresentante di vendita e servizio nel settore degli equipaggiamenti per l'industria dei semiconduttori e dei prodotti elettronici. Dal 2014, l'azienda si impegna a fornire ai clienti Soluzioni Superiori, Affidabili e Tutto-in-Uno per l'attrezzatura.

FAQ

1. Informazioni sul prezzo:
Tutti i nostri prezzi sono competitivi e negoziabili. Il prezzo varia a seconda della configurazione e della complessità di personalizzazione del tuo dispositivo.

2. Informazioni sul campione:
Possiamo fornire servizi di produzione di campioni per te, ma potresti dover pagare alcune spese.

3. Informazioni sul pagamento:
Dopo la conferma del piano, devi prima pagarci un acconto e la fabbrica inizierà a preparare i beni. Una volta pronte l'attrezzatura e dopo aver pagato il saldo, la spediremo.

4. Informazioni sulla consegna:
Al termine della produzione dell'attrezzatura, ti invieremo il video di accettazione e potrai anche venire sul sito per ispezionare l'attrezzatura.

5. Installazione e regolazione:
Una volta arrivata l'attrezzatura nella tua fabbrica, possiamo inviare ingegneri per installarla e regolarla. Ti forniremo una preventivo separato per questa spesa.

6. Informazioni sulla garanzia:
Le nostre attrezzature hanno un periodo di garanzia di 12 mesi. Dopo il periodo di garanzia, se si danneggiano parti e hanno bisogno di essere sostituite, addebiteremo solo il costo delle parti.

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