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Lappatrice Chimico Meccanica Automatica a Singolo Piano per Dischi

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Descrizione del Prodotto
ATOM Single Platen CMP

Caratteristiche della macchina

L'apparecchio è versatile e può supportare più teste.
La capacità di processo dell'attrezzatura è vicina al livello del modello mainstream dei prodotti della stessa dimensione.
Buona coerenza del processo tra dispositivi.

Campi di applicazione

lucidatura di 4-8 pollici per STI, ILD/IMD, TSV, TGV e lucidatura superficiale di materiali come SiC, LT, LN, GaAs, ecc.

Parametri tecnici

tonde da 4 pollici, 6 pollici, 8 pollici con controllo multi zona
Tipo di plato Φ20 pollici 508MM
Precisione del controllo della pressione della testa <0.05PSI
Precisione del controllo della velocità di rotazione della testa e del plato <2RPM

1. Unità LoadPort

Il portale può essere ribaltato per immergere la Cassette nel Qtank, evitando la formazione di cristalli di Slurry sul
superficie lucidata del wafer. Dotato di funzione Cassette Mapping.

2. Unità di prelievo materiale robotica

Dotato di un robot a 4 assi, può trasferire automaticamente i wafer dalla Cassette all'unità di lucidatura.

3. La sua vita. Unità di lucidatura

Questa unità è dotata di Platen * 1, Head * 1, PC *
1, braccio di scarico * 1, HCLU * 1 e endpoint EPD
rilevamento. Può ottenere il caricamento e scarico automatico dei wafer, controllo della testa multi-zona, Slurry
il punto di atterraggio cambia con impostazioni di ricetta, rilevamento dei punti terminali e altre funzioni.
CMP Polisher Head
Le teste di lucidatura configurate su questo dispositivo sono tutte sviluppate, progettate e prodotte in modo indipendente dalla nostra azienda.
Tra questi, il 4 pollici 3 cavoletto testa è un prodotto unico creato dalla nostra azienda, che riempie il vuoto di nessun multi-cavità 4 pollici testa in Cina. La nostra azienda può rapidamente modificare o personalizzare la testa in base alle caratteristiche del prodotto del cliente. Nel corso dello sviluppo dei prodotti TGV a pellicola sottile (200 mm), la struttura interna della testa è stata modificata per soddisfare le esigenze di lucidatura a pellicola sottile. Durante il processo di sviluppo della tecnologia di lucidatura OX della superficie LN, la nostra azienda ha profondamente aggiornato la testa da 6 pollici e ha soddisfatto con successo i requisiti del prodotto del cliente.
Applicazioni
Processo di lucidatura di pianificazione IC tradizionale;
Processo TGV/TSV;
Smart Cut e CMP di pre-incollamento;
Lucidatura del substrato SIC/lucidatura del arsenuro di gallio.
Specifiche
Porto
Quantità * 1, con serbatoio Q
Robot
Quantità * 1, per il trasferimento dei wafer
HCLU
Quantità * 1, per il caricamento e lo scaricamento automatici dei wafer
Testa di lucidatura
Quantità * 13 controllo delle cavità, precisione di controllo di 0,1 PSI, supporta operazioni sui wafer da 400 a 1200 UM.
Velocità della testa lucidatrice
5-150Giri/min
Disco lucidante
Quantità * 1 Dimensione Disco Lucidatore 508mm, Velocità Padrino Lucidatore 10-150giri/min.
Braccio di taglio
Quantità * 1 pad lucidatore. Il pad lucidatore può essere utilizzato online (contemporaneamente) o offline (dopo il lucido). Il braccio di taglio
è dotato di un asse di taglio, che può ruotare e muoversi su e giù, e la velocità e la forza verso il basso possono essere controllate. Il
strumento di taglio è installato sull'asse di taglio e può essere rimosso rapidamente
secondo i diversi tipi di pad lucidatori, vengono configurati diversi tipi di strumenti di rivestimento, inclusi spazzole di rivestimento
anelli di diamante e dischi di diamante.
Unità di controllo della pressione d'aria della testa lucidatrice UPA
Quantità * 13. Regolabile per un miglior effetto di piallamento della superficie
Pompa per il rifornimento di liquido lucidante
Quantità * 2. Vengono utilizzate pompe peristaltiche per il rifornimento di liquidi, con 2 pompe peristaltiche configurate per fornire diversi liquidi lucidanti
al disco di lucidatura. Ogni pompa può essere utilizzata in qualsiasi fase del processo.
Braccio per lo Slurry
Quantità * 1 può controllare il punto di caduta dello slurry e può pulire il pad di lucidatura.
Il sistema di controllo operativo può raggiungere il controllo a livello utente, come modalità operatore, modalità manutenzione e modalità tecnica, e varie modalità sono controllate da password. Il software di sistema può modificare i parametri di processo di ciascuna fase e piallare e
lucidare il film sottile sulla superficie del chip secondo il programma. Può monitorare lo stato di funzionamento dell'attrezzatura, monitorare i parametri di processo in tempo reale e il software può archiviare automaticamente vari dati di processo. Equipaggiato con un pulsante di emergenza per l'arresto
il sistema può monitorare lo stato di funzionamento dell'attrezzatura, monitorare i parametri di processo in tempo reale e il software può archiviare automaticamente vari dati di processo.
equipaggiato con un pulsante di emergenza per l'arresto
pulsante, utilizzato per fermare immediatamente il funzionamento dell'attrezzatura e interrompere l'alimentazione di controllo.
Imballaggio & consegna
Profilo dell'azienda
Domande Frequenti
1. Informazioni sul prezzo:
Tutti i nostri prezzi sono competitivi e negoziabili. Il prezzo varia a seconda della configurazione e della complessità di personalizzazione del tuo dispositivo.

2. Informazioni sul campione:
Possiamo fornire servizi di produzione di campioni per te, ma potresti dover pagare alcune spese.

3. Informazioni sul pagamento:
Dopo la conferma del piano, devi prima versarci un acconto e la fabbrica inizierà a preparare i prodotti. Dopo che l'
attrezzatura è pronta e hai pagato il saldo, la spediremo.

4. Informazioni sulla consegna:
Al termine della produzione dell'attrezzatura, ti invieremo il video di accettazione e potrai anche venire sul sito per ispezionare l'attrezzatura.

5. Installazione e regolazione:
Una volta arrivata l'attrezzatura nella tua fabbrica, possiamo inviare ingegneri per installarla e regolarla. Ti forniremo una preventivo separato per questa spesa.

6. Informazioni sulla garanzia:
Le nostre attrezzature hanno un periodo di garanzia di 12 mesi. Dopo il periodo di garanzia, se si danneggiano parti e hanno bisogno di essere sostituite, addebiteremo solo il costo delle parti.

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