Sistema CMP di precisione

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Sistema CMP di precisione

Visualizzazione delle attrezzature:

Il sistema CMP di precisione è utilizzato principalmente per la rettifica e l’assottigliamento di chip semiconduttori principali, quali quelli in silicio, biossido di silicio e antimonuro di indio per piani focali, nonché per la lucidatura chimico-meccanica di superfici inferiori, superiori e laterali.

L’intera macchina e tutti i componenti dell’apparecchiatura sono completamente anticorrosivi, e i parametri di processo possono essere impostati tramite l’interfaccia interattiva a schermo touch.

Dimensione del campione lavorabile:

Dimensione del campione ≤ 152 mm / 6 pollici

Spessore lavorabile: da 50 μm a 10 mm

Indicatori di processo raggiungibili:

1. La deviazione totale dello spessore (TTV) di un wafer da φ75 mm è entro 2 μm;

2. La deviazione totale dello spessore (TTV) di un wafer da φ100 mm è entro 3 μm;

3. La deviazione totale dello spessore (TTV) di un wafer da φ150 mm è entro 4 μm.

Tipi di campioni che possono essere processati:

Silicio, carburo di silicio, diamante, ceramiche, nitruro di gallio, quarzo, antimonuro di gallio, fosfuro di indio, arseniuro di gallio, tellururo di cadmio-zinco, tellururo di mercurio-cadmio, niobato di litio e altri materiali semiconduttori.

Caratteristiche dell'attrezzatura:

1. Realizzazione della funzione di rilevamento del punto finale per il controllo dello spessore del campione.

2. Controllo in tempo reale e raffreddamento della temperatura della piastra di rettifica e lucidatura in linea.

3. Sistema di alimentazione multicanale.

4. Funzione di spurgo automatico della piastra di rettifica e lucidatura.

5. Funzione di ripristino automatico della piastra.

6. Il supporto è dotato di un tavolo digitale per il monitoraggio dello spessore con un’accuratezza di monitoraggio di 0,1 μm.

Parametri tecnici:

Configurazione del Dispositivo:

Domande frequenti

1. Informazioni sul prezzo:

Tutti i nostri prezzi sono competitivi e negoziabili. Il prezzo varia a seconda della configurazione e della complessità di personalizzazione del tuo dispositivo.

2. Informazioni sul campione:

Possiamo fornire servizi di produzione di campioni per te, ma potresti dover pagare alcune spese.

3. Informazioni sul pagamento:

Dopo la conferma del piano, devi prima pagarci un acconto e la fabbrica inizierà a preparare i beni. Una volta pronte l'attrezzatura e dopo aver pagato il saldo, la spediremo.

4. Informazioni sulla consegna:

Al termine della produzione dell'attrezzatura, ti invieremo il video di accettazione e potrai anche venire sul sito per ispezionare l'attrezzatura.

5. Installazione e regolazione:

Una volta arrivata l'attrezzatura nella tua fabbrica, possiamo inviare ingegneri per installarla e regolarla. Ti forniremo una preventivo separato per questa spesa.

6. Informazioni sulla garanzia:

Le nostre attrezzature hanno un periodo di garanzia di 12 mesi. Dopo il periodo di garanzia, se si danneggiano parti e hanno bisogno di essere sostituite, addebiteremo solo il costo delle parti.

7. Servizio post-vendita:

Tutte le macchine hanno un periodo di garanzia di oltre un anno. I nostri ingegneri tecnici sono sempre online per fornirti servizi di installazione, messa in opera e manutenzione dell'attrezzatura. Possiamo fornire servizi di installazione e messa in opera sul posto per attrezzature speciali e di grandi dimensioni.