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Serie MP-E Prober Manuale per Wafer

Introduzione al prodotto:

La serie MP-E è una stazione di prova funzionalmente avanzata, in grado di esaminare dimensioni degli elettrodi/pad superiori a 1 μm e può essere aggiornata con funzioni di test a un costo inferiore.

Caratteristiche del prodotto:

1. Il chuck può essere alzato e abbassato per una rapida separazione della sonda dal campione;

2. Microscopio metallografico standard, test del pad superiore a 1 μm;

3. Può essere equipaggiato con un laser per test FA/taglio al laser;

4. Sollevamento pneumatico rapido del microscopio, facile da cambiare supporto per microscopio e scheda sonda;

5. Base di isolamento adattiva POMater;

6. Utilizzo di materiali anti-vibrazione importati dalla Germania per migliorare la stabilità del test.

Parametri del Prodotto:

Modello di prober manuale

MP-M4/MP-M6/MP-M6mini

MP-E4/MP-E6/MP-E8/MP-E12

MP-H6/MP-H8/MP-H12

Chuck, non preoccuparti.

Materiale del mandrino

Acciaio inossidabile/Rame placcato nichel o oro

Sollevamento del mandrino

N/D

Salita rapida 5 mm, regolazione fine 6 mm

Muovi rapidamente

N/D

N/D

Piattaforma di microposizionamento con sollevamento

N/D

N/D

Sollevamento rapido 5 mm, regolazione fine 40 mm, regolazione grossolana 300 μm

Microscopio

Microscopio standard con corpo (specchio per microscopio video opzionale), può essere ingrandito fino a 100X

Microscopio metallografico standard PSM-1000 / opzionale (GX-6 metallografico, stereo, video), può essere ingrandito fino a 2000X , e il microscopio può essere regolato su e giù mediante controllo pneumatico

Sonda

specifiche

Corrente di dispersione

Coassiale 1 pA/V @ 25 °C; Tre alberi 100fA/V @ 25 °C; Triassiale 10pA@3kV @25°C,

Condizioni di prova: ambiente asciutto per schermatura di terra (punto di rugiada dell'aria inferiore a -40 °C)

Tipo di connettore

Connettore banana/Morsetto coccodrillo/Interfaccia Coassiale/Triassiale

Applicazione del test

Prova in corrente continua (IV, CV)

Prova di bassa corrente (classe 100fA)

prova rumore 1/f

Prova di caratterizzazione del dispositivo

Prova WLR, invecchiamento

Frequenza del test RF fino a 110 GHz

Test ad alta potenza/alta corrente/alta tensione

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Test di analisi dei guasti

Test di analisi dei guasti

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