Macchina di litografia senza maschera MDZY-DMD-MLL200 DMD , China Macchina di litografia senza maschera MDZY-DMD-MLL200 DMD Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrizione del Prodotto

MDZY-DMD-MLL200
Macchina di litografia senza maschera DMD

La MDZY-DMD-MLL200 è una macchina di litografia senza maschera basata sulla tecnologia DMD (Digital Micromirror Device). Sostituendo le tradizionali maschere con un DMD, consente una progettazione rapida e flessibile di schemi litografici, supportando la litografia in 2D e in scala di grigi a 8 bit. Può soddisfare qualsiasi requisito di litografia su scala micrometrica ed è ampiamente utilizzata in diversi settori come MEMS e microfluidica.

Caratteristiche

1. Design compatto da tavolo
2. Sorgente luminosa ad esposizione LED ad alta potenza e alta uniformità
3. Esposizione guidata con luce verde
4. Messa a fuoco automatica dell'immagine mediante una telecamera CCD
5. Tavola motorizzata lineare ad alta precisione
6. Interfaccia software di facile utilizzo

Parametri

Lunghezza d'onda centrale della sorgente luminosa UV	405nm
Uniformità dell'esposizione	Più del 90%
Larghezza minima della linea della caratteristica	0,5 µm
Area di esposizione del campo di scrittura monopassaggio	0,16*0,16 mm (@0,5 µm)
Velocità di scrittura	80 mm²/min (larghezza linea caratteristica 1µm)
Formati immagine supportati	DXF, GDS, bmp, png, ecc.

Configurazione

Configurazione	Versione di Base	Versione professionale
Fonte di luce	LED ad alta potenza: 405 nm
Chip DMD	DLP6500
Area di esposizione a singolo campo	0,160,16 mm (@0,5 µm), 0,40,4 mm (@0,7 µm), 0,80,8 mm (@1 µm), 1,61,6 mm (@2 µm)
CAMERA	Fotocamera per microscopio su larga area (supporta la misurazione delle dimensioni)
Larghezza minima della linea equidistante	0,8 µm	0.5μm
Precisione di accoppiamento	±0,3 µm	±0,3μm
Precisione di sovrapposizione	±0,5 µm	±0,5μm
Velocità di scrittura	20 mm²/min (larghezza della linea di caratteristica 1 µm)	80 mm²/min (larghezza della linea di caratteristica 1μm)
Tavola mobile	Motore lineare ad alta precisione (precisione di posizionamento ripetibile ±0,25µm), meccanismo di livellamento, tavola rotante manuale	Motore lineare ad alta precisione (accuratezza ripetibile di posizionamento ±0,25 µm), meccanismo di livellamento, piattaforma rotante elettrica
Portaobiettivi	Commutazione manuale degli obiettivi	Commutazione motorizzata degli obiettivi
Modulo di messa a fuoco	Autofocus basato su immagine CCD	Messia a fuoco attiva con laser
Dimensioni delle wafer supportate	4 pollici	4 pollici/8 pollici
Spessore del campione	0-10mm	0-10 mm

Casi di applicazione

Chip microfluidico

Litografia DMD UV per funzionalità di sovrapposizione

Incisione di reticolo nanometrico al tellurio seguita da sovrapposizione dell'elettrodo

Litografia in scala di grigi di lenti Fresnel, litografia 3D in scala di grigi per lenti Fresnel, che mostra cambiamenti continui a gradino nell'immagine della sezione trasversale ottenuta al microscopio elettronico a scansione.

Elettrodi in materiali bidimensionali, elettrodi in materiali bidimensionali dopo evaporazione e rimozione, gli elettrodi evaporati sono Ti/Au/Ti (12 nm totali)

Litografia combinata DMD UV e a fascio di elettroni

Software

Gli utenti possono completare tutte le operazioni di litografia dall'interfaccia principale senza alcuna finestra popup.

Modulo ritaglio immagine:

Include funzioni come ritaglio personalizzato, riempimento automatico, inversione dei colori e anti-aliasing.

Associazione Oggetto:

Gli utenti possono impostare associazioni di oggetti in qualsiasi posizione sulla superficie del campione e visualizzare contemporaneamente la corrispondenza tra qualsiasi sotto-immagine nell'immagine a campo intero e la superficie del campione, consentendo una sovrapposizione precisa.

Funzione Disegno In-situ:

È possibile disegnare grafica direttamente sull'immagine microscopica e proiettarla sul campione per realizzare una litografia ottica in-situ.

Realizzazione di attrezzature

Imballaggio & consegna

Profilo dell'azienda

Dal 2014, Minder-Hightech è un rappresentante di vendita e assistenza nel settore degli apparecchi per l'industria dei semiconduttori e dei prodotti elettronici. Siamo impegnati a fornire ai clienti soluzioni superiori, affidabili e uniche per l'equipaggiamento meccanico. Fino ad oggi, i prodotti del nostro marchio si sono diffusi in tutti i principali paesi industrializzati del mondo, aiutando i clienti a migliorare l'efficienza, ridurre i costi e migliorare la qualità dei prodotti.

Domande Frequenti

1. Informazioni sul prezzo:
Tutti i nostri prezzi sono competitivi e negoziabili. Il prezzo varia a seconda della configurazione e della complessità di personalizzazione del tuo dispositivo.

2. Informazioni sul campione:
Possiamo fornire servizi di produzione di campioni per te, ma potresti dover pagare alcune spese.

3. Informazioni sul pagamento:
Dopo la conferma del piano, devi prima pagarci un acconto e la fabbrica inizierà a preparare i beni. Una volta pronte l'attrezzatura e dopo aver pagato il saldo, la spediremo.

4. Informazioni sulla consegna:
Al termine della produzione dell'attrezzatura, ti invieremo il video di accettazione e potrai anche venire sul sito per ispezionare l'attrezzatura.

5. Installazione e regolazione:
Una volta arrivata l'attrezzatura nella tua fabbrica, possiamo inviare ingegneri per installarla e regolarla. Ti forniremo una preventivo separato per questa spesa.

6. Informazioni sulla garanzia:
Le nostre attrezzature hanno un periodo di garanzia di 12 mesi. Dopo il periodo di garanzia, se si danneggiano parti e hanno bisogno di essere sostituite, addebiteremo solo il costo delle parti.

7. Servizio post-vendita:
Tutte le macchine hanno un periodo di garanzia di oltre un anno. I nostri ingegneri tecnici sono sempre online per fornirti servizi di installazione, messa in opera e manutenzione dell'attrezzatura. Possiamo fornire servizi di installazione e messa in opera sul posto per attrezzature speciali e di grandi dimensioni.

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