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MDICP-5000F Macchina di etching ICP completamente automatica

Modello: MDICP-5000F

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MDICP-5000F Macchina di etching ICP completamente automatica
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Riepilogo esecutivo:

L'attrezzatura è un sistema a vuoto a due camere. Una camera è la camera di campionamento iniezione e l'altra è la camera di etching. Un blocco a vuoto è installato tra la camera di campionamento iniezione e la camera di etching, e il campionamento iniezione viene trasportato da un manipolatore.
L'attrezzatura è principalmente composta da un sistema a vuoto, sistema di circuito pneumatico, sistema elettrico, sistema di controllo, sistema di raffreddamento, meccanismo di alimentazione e prelievo del film, sistema di allarme, ecc.

Sistema a vuoto:

Il sistema è costituito da una pompa molecolare con un flusso di 600 L/S + una pompa a vuoto secca importata con un flusso di L/S per portare la camera di etching a vuoto elevato. Un regolatore di pressione dinamica elettrico è installato tra la pompa molecolare e la camera di etching. La pompa secca importata è la pompa preliminare della camera di etching e la pompa anteriore della pompa molecolare. Si utilizza un'altra pompa meccanica con un flusso di L/S per mettere sotto vuoto la camera del campione. Si utilizzano cuscinetti in acciaio inossidabile per la connessione tra la pompa meccanica e la camera a vuoto e la pompa molecolare, e viene installato un valvola pneumatica elettromagnetica.

Sistema di controllo a pressione costante

L'attrezzatura è dotata di un sistema di controllo a pressione costante downstream e di un rubinetto elettrico regolabile installato nella linea di estrazione dell'aria. Attraverso la misurazione del manometro ad alta precisione (componenti importati), il rubinetto regolabile garantisce che la camera a vuoto raggiunga una pressione costante, migliorando così la stabilità del processo.

Sistema di controllo a pressione costante

L'attrezzatura è dotata di un sistema di controllo a pressione costante downstream e di un rubinetto elettrico regolabile installato nella linea di estrazione dell'aria. Attraverso la misurazione del manometro ad alta precisione (componenti importati), il rubinetto regolabile garantisce che la camera a vuoto raggiunga una pressione costante, migliorando così la stabilità del processo.

Sistema di circuito pneumatico

Due set di fornitura di potenza RF con abbinamento automatico.

Sistema di allarme

Requisiti di sicurezza per l'attrezzatura.
Specifiche
Nome
Spc
Marca
N.°/Set
Nota
Camera di etching, linea di estrazione dell'aria, finestra di osservazione, interfaccia riservata, ecc.
Standard
JSWN
1
Anticorrosivo
telaio, armadietto elettrico, sigilli, parti standard, ecc.
Standard
JSWN
1
Sistema di sollevamento del coperchio della camera di incisione
Standard
JSWN
1
Anticorrosivo
Elettrodo di incisione e sistema di raffreddamento
Standard
JSWN
1
Anticorrosivo
Pompa molecolare (velocità di pompaggio 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Anticorrosivo
Pompa secca di ingresso (velocità di pompaggio 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Anticorrosivo
Pompa meccanica (velocità di pompaggio 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Valvola elettrica di regolazione a sbarra
DCQ-150
JSWN
1
Anticorrosivo
Valvola pneumatica a membrane di arresto
KF40
JSWN
3
Anticorrosivo
Gauge a membrana
KF16
INFICON
1
Anticorrosivo
Controllore di flusso di massa
D07
Sevenstar
4
Anticorrosivo
Valvola pneumatica a membrana
1/4″VCR
-
4
Anticorrosivo
Tubo in acciaio inossidabile, giunti per tubi, ecc
1/4″VCR
-
4
Anticorrosivo
Fornitura di potenza RF / abbinatore automatico
-
Cina(OptionalCROWN1310)
1
Fornitura di potenza RF / abbinatore automatico
-
Cina(OptionalCROWN1310)
1
Misuratore composto del vuoto
ZDF
RB
1
IPC
2U
Cina
1
Schermo tattile LCD
17 pollici
Cina
1
Sistema di controllo PLC
S7-200
Siemens
1
Sistema di controllo a guida elettrica
Standard
JSWN
1
Rilevamento dell'acqua di raffreddamento e sistema di tubazioni
Standard
JSWN
1
Rilevamento aria compressa e sistema di tubazioni
Standard
JSWN
1
Macchina per acqua circolante di raffreddamento
Hx
Cina
1
Camera di iniezione per l'incisione
Standard
JSWN
1
Serratura a vuoto
Smc
Smc
1
Sistema di controllo del manipolatore
Smc
Smc
1

Parametro tecnico della posta

1. Vuoto limite: Camera di incisione 9.0×10-5Pa (Umidità interna≤55%)
Camera di campionamento per iniezione 6.0×10-1Pa
2. Materiale per incisione: Materiale Ⅲ、Ⅴ, Si, SiO2, ecc.
3. Velocità di incisione: ~ 1μ/min
4. Uniformità dello sbiancamento: ≤±5％(intervallo φ125mm)
6. Dimensione dell'elettrodo: φ200mm

Domande frequenti

1. Informazioni sul prezzo:

Tutti i nostri prezzi sono competitivi e negoziabili. Il prezzo varia a seconda della configurazione e della complessità di personalizzazione del tuo dispositivo.

 

2. Informazioni sul campione:

Possiamo fornire servizi di produzione di campioni per te, ma potresti dover pagare alcune spese.

 

3. Informazioni sul pagamento:

Dopo la conferma del piano, devi prima pagarci un acconto e la fabbrica inizierà a preparare i beni. Una volta pronte l'attrezzatura e dopo aver pagato il saldo, la spediremo.

 

4. Informazioni sulla consegna:

Al termine della produzione dell'attrezzatura, ti invieremo il video di accettazione e potrai anche venire sul sito per ispezionare l'attrezzatura.

 

5. Installazione e regolazione:

Una volta arrivata l'attrezzatura nella tua fabbrica, possiamo inviare ingegneri per installarla e regolarla. Ti forniremo una preventivo separato per questa spesa.

 

6. Informazioni sulla garanzia:

Le nostre attrezzature hanno un periodo di garanzia di 12 mesi. Dopo il periodo di garanzia, se si danneggiano parti e hanno bisogno di essere sostituite, addebiteremo solo il costo delle parti.

 

7. Servizio post-vendita:

Tutte le macchine hanno un periodo di garanzia di oltre un anno. I nostri ingegneri tecnici sono sempre online per fornirti servizi di installazione, messa in opera e manutenzione dell'attrezzatura. Possiamo fornire servizi di installazione e messa in opera sul posto per attrezzature speciali e di grandi dimensioni.

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