Rimozione secca del fotoresist mediante plasma ICP , China Rimozione secca del fotoresist mediante plasma ICP Manufacturers, Suppliers, Factory

Rimozione secca del fotoresist mediante plasma ICP

Il sistema di rimozione secca del fotoresist mediante plasma ICP è utilizzato principalmente per la rimozione di polimeri, l’ashing, la descumming, la rimozione del fotoresist successiva all’implantazione ionica e la pulizia dei residui superficiali. La camera MDST3100 accoglie campioni da 4 a 8 pollici con capacità di lavorazione monosilicio, mentre la camera MDST3200 accoglie campioni da 4 a 8 pollici con capacità di due silici per lotto.

L'aspetto dell'attrezzatura è soggetto a continui aggiornamenti e aggiustamenti; il prodotto effettivamente spedito fa fede.

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工艺流程.png(5c78296a74).jpg 去除光刻胶去胶机 (5)(130d03181e).jpg

Lavaggio

Rimozione di polimeri

DESCUM

Pulizia in secco dello strato di maschera rigida

Rimozione della fotoresist dopo l’implantazione ionica

Rimozione dei residui di superficie

Rimozione della fotoresist nel processo BAW/SAW

Pulizia in secco dello strato di film grafico antiriflesso

Pulizia superficiale dopo l'etching

Vantaggi:

Alto grado di ionizzazione e decomposizione del plasma

Dopo il trattamento al plasma, la riproducibilità è elevata

Erosione secca, assenza di fonti di inquinamento

Controllo della pressione e della temperatura tramite valvole a farfalla

Può mantenere il plasma ad alta pressione

Separazione tra la sorgente ad alta tensione e il generatore di ioni

Il giunto a microonde e il circuito magnetico sono compatibili

Può soddisfare i requisiti del cliente

Bassa temperatura durante il processo

Velocità di risposta elevata e tempo di risposta breve

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Modello		MDST3100	MDST3200
Fonte di plasma		RF	RF
Potenza	ICP	1000W	1000W
	BIAS	NA	NA
Campo di applicazione		4-8 pollici	4-8 pollici
Numero di wafer elaborati in una singola operazione		1	2
Dimensioni complessive		1300x1190x1847 mm	1300x1650x1850 mm
Controllo del sistema		Sistema di Controllo Industriale
grado di automazione		Automatico