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Prober per wafer a temperatura alta e bassa sotto vuoto

Introduzione al prodotto

La stazione di prova della serie MDSM-VP-CG può fornire test delle caratteristiche IV/CV, test RF, test fotoelettrici, caratteristiche di trasporto elettromagnetico e test dell'effetto Hall per la caratterizzazione di dispositivi e materiali in condizioni di vuoto ultra-alto e ad alte e basse temperature.

Configurando componenti come una camera a vuoto e uno schermo di protezione contro le radiazioni, unitamente a temperature elevate, basse, a vuoto e altre condizioni di prova, è possibile soddisfare efficacemente e fornire un ambiente di prova stabile per dispositivi semiconduttori.

Caratteristiche del prodotto

1. Può supportare una temperatura compresa tra 4,2 K e 473 K

2. Design dello schermo anti-radiazione per migliorare l'uniformità e la precisione della temperatura del campione

3. Design del dissipatore di calore della sonda per garantire una precisa posa della sonda

4. Campo magnetico ampliabile

5. Configurazione flessibile e scalabile delle applicazioni di prova

6. Controllo automatico del flusso del refrigerante, controllo preciso automatico della temperatura

Parametri del Prodotto

Modello

MDSM-VP-CG-O-2

MDSM-VP-CG-O-4

MDSM-VP-CG-C-2

Chuck, non preoccuparti.

Dimensioni

2pollici

4pollici

2pollici

Metodo di fissaggio del campione

Pressione a molla con grasso termico sotto vuoto

Grado di vuoto

vuoto massimo 10^-10 torr

Ottico

proprietà

Corsa del microscopio

Asse R 360 ° + asse mobile 100 mm

Guadagno

Zoom: 7:1, risoluzione 4 μm (ingrandimento 216X) o microscopio metallografico (20X~1000X)

Dimensioni di

fenestra di osservazione

2pollici

4pollici

2pollici

Temperatura

controllo

specifiche

Pixel CCD

50W (simulazione)/200W (digitale)/500W (digitale)

Metodo di raffreddamento

Azoto liquido/elio liquido

Compressori per refrigerazione

Metodo di Controllo

Controllo manuale/automatico del flusso di refrigerante a ciclo aperto

Controllo automatico a ciclo chiuso

Autonomia

77K~473K/4,2K~473K

7,3K~473K

Risoluzione

0,001K

Stabilità

4,2K ±0,2K 77K±0,1K 373K±0,08K 473K±0,1K

Specifiche della sonda

Numero sonda

Il numero di diverse sonde può essere espanso fino a 6

Regolazione della sonda

Regolazione esterna del soffietto pneumatico, controllo manuale

Precisione del punto

2μm

Corrente di dispersione

1pA/V @25 ℃,100fA/V @25℃

Tipo di connettore

Interfaccia triassiale/SMA/K/fibra ottica

Richiesta

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