Macchina automatica per rivestimento e sviluppo , China Macchina automatica per rivestimento e sviluppo Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrizione del prodotto

MDLB-ASD2C2D Macchina Automatica per Rivestimento e Sviluppo

L'attrezzatura adotta un telaio in acciaio inossidabile, e le lamiera interna ed esterna sono pannelli specchianti in acciaio inossidabile. La parte inferiore dell'attrezzatura è dotata di ruote girevoli e funzione di regolazione orizzontale. Sul lato superiore è montata una torre segnalatrice a 3 colori con sirena. La parte superiore dell'attrezzatura comprende il sistema di controllo e il FFU, la parte centrale è l'unità di processo, mentre la parte inferiore è il sistema di tubazioni chimiche. Tutte le parti che entrano in contatto diretto con i prodotti chimici sono realizzate in materiali resistenti alla corrosione, come SUS304, PP, PTFE, ecc. Le linee pneumatiche sono realizzate in tubi PU, mentre le linee chimiche sono fatte di tubi PFA resistenti alla corrosione. L'interfaccia operativa uomo-macchina del dispositivo è uno schermo tattile da 17 pollici, che consente di eseguire funzioni come il controllo del dispositivo, l'impostazione delle formule e la consultazione dei log. L'unità SPIN e altre camere di processo sono dotate di.
Luce gialla per la manutenzione facile dell'attrezzatura. L'aspetto dell'attrezzatura è mostrato nella Figura 1.1.1, e il layout dell'attrezzatura è mostrato nella Figura 1.1.2.

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine supplier

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine details

Specifiche

	progetto	Specifiche	osservazioni
1	Panoramica dell'attrezzatura	Nome attrezzatura: Macchina completamente automatica per lo sviluppo uniforme della colla
				Modello attrezzatura: MD-2C2D6
				Specifiche wafer di elaborazione: compatibile con wafer standard da 4/6 pollici
				Flusso di processo per la colla uniforme: Taglio del cestello → centratura → colla uniforme (goccia → colla uniforme → rimozione bordo, lavaggio retro ) → piastra calda → piastra fredda → posizionamento cestello Flusso di processo di sviluppo: Taglio del cestello → centratura → sviluppo (soluzione di sviluppo → acqua deionizzata, lavaggio retro → essiccazione a nitrogeno) → piastra calda → piastra fredda → posizionamento cestello
				Dimensioni complessive (circa): 2100mm (L) * 1800mm (P) * 2100mm (H)
				Dimensioni armadietto chimico (circa): 1700(L) * 800(P) * 1600mm (H)
				Peso totale (circa): 1000kg
				Altezza banco di lavoro: 1020 ± 50mm
2	Unità cassetta	Quantità: 2
				Dimensione compatibile: 4/6 pollici
				Rilevamento cassetta: rilevamento con microinterruttore
				Rilevamento estrazione: Sì, sensore riflesso
3	robot	Quantità: 1
				Tipo: Robot a doppio braccio con assorbimento a vuoto
				Gradi di libertà: 4 assi (R1, R2, Z, T)
				Materiale delle dita: ceramica
				Metodo di fissazione del substrato: metodo di assorbimento a vuoto
				Funzione di mappatura: Sì
				Precisione di posizionamento: ± 0,1mm
4	Unità di centratura	Quantità: 1 set	Allineamento ottico opzionale
					Metodo di allineamento: allineamento meccanico
					Precisione di centratura: ± 0,2mm
5	Unità di colla uniforme	Quantità: 2 set (le seguenti sono le configurazioni per ogni unità)
				Velocità di rotazione della mandrita: -5000rpm~5000rpm	rollo portante
				Precisione di rotazione dello spindle: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
				Regolazione minima della velocità di rotazione dello spindle: 1rpm
				Accelerazione massima della rotazione dello spindle: 20000rpm/s	rollo portante
				Braccio a goccia: 1 set
				Percorso tubolare per la fotoregistrazione: 2 percorsi
				Diametro della cannula per la fotoregistrazione: 2,5mm
				Isolamento per la fotoregistrazione: 23 ± 0,5 ℃	opzionale
				Cannula idratante: Sì
				RRC: Sì
				Buffer: Sì, 200ml
				Metodo di applicazione della colla: goccia centrale e scansione con goccia sono opzioni disponibili
				Braccio per la rimozione dei margini: 1 set
				Diametro deluggetto per la rimozione dei margini: 0.2mm
				Monitoraggio del flusso del liquido per la rimozione dei margini: misuratore a galleggiante
				Intervallo di flusso del liquido per la rimozione dei margini: 5-50ml/min
				Tubo di risciacquo: 2 vie (ogni 4/6 pollici con 1 canale)
				Monitoraggio del flusso di risciacquo: misuratore a galleggiante
				Intervallo di flusso del fluido di risciacquo: 20-200ml/min
				Metodo di fissazione del chip: piccola area di assorbimento a vuoto Chuck
				Allarme di pressione del vuoto: sensore digitale di pressione del vuoto
				Materiale della pinza: PPS
				Materiale della coppa: PP
				Monitoraggio dell'esaurimento della coppa: sensore di pressione digitale
6	Unità di sviluppo	Serranda: sì
				Quantità: 2 set (le seguenti sono le configurazioni per ogni unità)
				Velocità di rotazione della mandrita: -5000rpm~5000rpm	rollo portante
				Precisione di rotazione dello spindle: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
				Regolazione minima della velocità di rotazione dello spindle: 1rpm
				Accelerazione massima della rotazione dello spindle: 20000rpm/s	rollo portante
				Braccio di sviluppo: 1 set
				Tubo di sviluppo: 2 vie (ugello a ventaglio/forma cilindrica)
				Filtrazione dello sviluppatore: 0,2um
				Controllo temperatura dello sviluppatore: 23 ± 0,5 ℃	opzionale
				Intervallo di flusso della soluzione sviluppatrice: 100~1000ml/min
				Modalità di movimento del braccio di sviluppo: punto fisso o scansione
				Braccio di fusione: 1 set
				Condotta di acqua deionizzata: 1 circuito
				Diametro della cannella per acqua deionizzata: 4mm (diametro interno)
				Intervallo di flusso dell'acqua deionizzata: 100~1000ml/min
				Condotta di asciugatura con azoto: 1 circuito
				Diametro della cannella per azoto: 4mm (diametro interno)
				Intervallo di flusso di azoto: 5-50L/min
				Monitoraggio del flusso dello sviluppatore, dell'acqua deionizzata e dell'azoto: misuratore a galleggiante
				Tubo di risciacquo: 2 vie (ogni 4/6 pollici con 1 canale)
				Monitoraggio del flusso di risciacquo: misuratore a galleggiante
				Intervallo di flusso del fluido di risciacquo: 20-200ml/min
				Metodo di fissazione del chip: piccola area di assorbimento a vuoto Chuck
				Allarme di pressione del vuoto: sensore digitale di pressione del vuoto
				Materiale della pinza: PPS
				Materiale della pinza: PPS
				Materiale della coppa: PP
				Monitoraggio dell'esaurimento della coppa: sensore di pressione digitale
7	Unità di fissaggio	Quantità: 2	opzionale
				Intervallo di temperatura: temperatura ambiente~180 ℃
				Uniformità termica: Temperatura ambiente~120 ℃± 0,75 ℃ 120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ (Rimuovere 10mm dal bordo, eccetto il foro del pistone eiettore)
				Quantità minima di regolazione: 0,1 ° C
				Metodo di controllo della temperatura: regolazione PID
				Intervallo di altezza PIN: 0-20mm
				Materiale PIN: corpo SUS304, cappuccio PIN in PI
				Interruzione di cottura: 0,2mm
				Allarme di temperatura eccessiva: allarme per deviazione positiva e negativa
				Metodo di fornitura: Bolle, 10 ± 2ml/min
				Vuoto in funzione camera: -5-20KPa
8	Unità piastra riscaldata	Quantità: 10
				Intervallo di temperatura: temperatura ambiente~250 ℃
				Uniformità termica: Temperatura ambiente~120 ℃± 0,75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Rimuovere 10mm dal bordo, eccetto il foro del pistone eiettore)
				Minimo aggiustamento: 0.1 ℃
				Metodo di controllo della temperatura: regolazione PID
				Intervallo di altezza PIN: 0-20mm
				Materiale PIN: corpo SUS304, cappuccio PIN in PI
				Interruzione di cottura: 0,2mm
				Allarme di temperatura eccessiva: allarme per deviazione positiva e negativa
9	Unità piastra fredda	Quantità: 2
				Intervallo di temperatura: 15-25 ℃
				Metodo di raffreddamento: pompa circolante a temperatura costante
10	Fornitura chimica	Archiviazione del fotoresist: pompa adesiva pneumatica * 4 set (serbatoio opzionale o pompa adesiva elettrica)
				Volume di colla erogabile: massimo 12ml per sessione, precisione ± 0,2ml
				Rimozione bordo/lavaggio retro/fornitura RRC: serbatoio sotto pressione da 18L * 2 (riempimento automatico)
				Monitoraggio livello liquido rimozione bordo/lavaggio retro/RRC: sensore fotoelettrico
				Monitoraggio livello liquido fotoresist: sensore fotoelettrico
				Scarico liquido adesivo uniforme: serbatoio di scarico da 10L
				Fornitura di sviluppatore: serbatoio sotto pressione da 18L * 4 (archiviato nel mobile chimico esterno alla macchina)
				Fornitura di acqua deionizzata: fornitura diretta dal fabbricato
				Sviluppo del monitoraggio del livello liquido: sensore fotoelettrico
				Scarico dello sviluppatore: scarico dei rifiuti della fabbrica
				Fornitura di tacker: serbatoio a pressione da 10L * 1, serbatoio a pressione da 2L * 1
				Monitoraggio del livello del tacker: sensore fotoelettrico
11	sistema di Controllo	Metodo di controllo: PLC
				Interfaccia operativa uomo-macchina: schermo tattile da 17 pollici
				Sistema di alimentazione ininterrotta (UPS): Sì
				Impostare autorizzazioni di cifratura per operatori, tecnici e amministratori
				Tipo di torre segnalale: rosso, giallo, verde 3 colori
12	Indicatore di affidabilità del sistema	Uptime: ≥95%
				MTBF: ≥ 500h
				MTTR: ≤ 4h
				MTBA: ≥24h
				Tasso di frammentazione: ≤ 1/10000
13	Altre funzioni	Luci gialle: 4 set (posizione: sopra l'unità di mescolanza e sviluppo della colla)
				THC: Sì, 22,5 ℃± 0,5 ℃, 45% ± 2%	opzionale
				FFU: Classe 100, 5 set (unità di processo e area ROBOT)