Material etching Deposition Reaction Ion Etching Machine RIE , China Material etching Deposition Reaction Ion Etching Machine RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrizione del Prodotto

RIE Macchina per incisione a ioni reattivi

Le applicazioni di ricerca delle macchine per incisione reattiva a ioni RIE nel settore della produzione di semiconduttori e della micro e nano lavorazione si riflettono principalmente nella lavorazione di strutture su scala nanometrica, nell'incisione di nuovi materiali, nella produzione di dispositivi complessi e nei progressi tecnologici interdisciplinari. Il suo valore fondamentale consiste nel realizzare la rimozione di materiali con alta precisione e alta selettività attraverso il controllo coordinato di bombardamento fisico e reazioni chimiche. Supporta l'esplorazione delle tecnologie semiconduttrici all'avanguardia e l'innovazione dei dispositivi.

Caratteristiche dell'attrezzatura:

1. Alta precisione e anisotropia: è in grado di incidere figure con pareti laterali ripide e dimensioni precise.
2. Buona uniformità e ripetibilità: adatta alla produzione su larga scala.
3. Ampia applicabilità dei materiali: scegliendo diverse combinazioni di gas, è possibile incidere vari materiali (semiconduttori, dielettrici, metalli, ecc.).
4. Elevato rapporto di selettività: permette di incidere con precisione materiali specifici senza causare danni significativi ad altri materiali.
5. Pulizia: processo secco, evitando problemi come pulizia e trattamento dei liquidi di scarto causati dall'incisione umida.

Specifiche

Configurazione del sistema:

Riscaldamento elettrico	Camera (Singola cavità)
Riscaldamento elettrico		N/D
Tipo di elettrodo inferiore	242mm
Intervallo di Temperatura del Processo	-20-100°C
Fonte di plasma	600W-1000W
Dimensione del manometro di processo	100mtorr
Sistema di vuoto	Unità pompa molecolare, sistemi pompa secca, camera di processo
Numero di camere di incisione	Singola cavità
Morsetti	TIPO	Dimensione/mm	Materiale
Morsetti		N/D	8、6、4、3、2
Rivelatore del punto finale	Opzione
Plasma accoppiato induttivamente	Opzione

Parametro Tecnico:

Materiale per incisione	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Velocità di incisione	>20nm/min (materiale Si02) Le velocità dei diversi materiali non sono uguali
Controllo distribuito	>85°
Metodo di carico	Caricamento aperto
Tubo del gas controllato da MFC	Sono disponibili sei serbatoi del gas
Opzione di raffreddamento posteriore con elio	Sì
Interfaccia uomo-macchina	Funzionamento touchscreen
Modalità di funzionamento	Modalità completamente automatica, modalità non completamente automatica
Selezione e configurazione dei dispositivi automatizzati	È possibile scegliere tra componenti importati o nazionali

Casi di applicazione

Imballaggio & consegna

Profilo dell'azienda

Dal 2014, Minder-Hightech è un rappresentante di vendita e assistenza nel settore degli apparecchi per l'industria dei semiconduttori e dei prodotti elettronici. Siamo impegnati a fornire ai clienti soluzioni superiori, affidabili e uniche per l'equipaggiamento meccanico. Fino ad oggi, i prodotti del nostro marchio si sono diffusi in tutti i principali paesi industrializzati del mondo, aiutando i clienti a migliorare l'efficienza, ridurre i costi e migliorare la qualità dei prodotti.

Domande Frequenti

1. Informazioni sul prezzo:
Tutti i nostri prezzi sono competitivi e negoziabili. Il prezzo varia a seconda della configurazione e della complessità di personalizzazione del tuo dispositivo.

2. Informazioni sul campione:
Possiamo fornire servizi di produzione di campioni per te, ma potresti dover pagare alcune spese.

3. Informazioni sul pagamento:
Dopo la conferma del piano, devi prima pagarci un acconto e la fabbrica inizierà a preparare i beni. Una volta pronte l'attrezzatura e dopo aver pagato il saldo, la spediremo.

4. Informazioni sulla consegna:
Al termine della produzione dell'attrezzatura, ti invieremo il video di accettazione e potrai anche venire sul sito per ispezionare l'attrezzatura.

5. Installazione e regolazione:
Una volta arrivata l'attrezzatura nella tua fabbrica, possiamo inviare ingegneri per installarla e regolarla. Ti forniremo una preventivo separato per questa spesa.

6. Informazioni sulla garanzia:
Le nostre attrezzature hanno un periodo di garanzia di 12 mesi. Dopo il periodo di garanzia, se si danneggiano parti e hanno bisogno di essere sostituite, addebiteremo solo il costo delle parti.

7. Servizio post-vendita:
Tutte le macchine hanno un periodo di garanzia di oltre un anno. I nostri ingegneri tecnici sono sempre online per fornirti servizi di installazione, messa in opera e manutenzione dell'attrezzatura. Possiamo fornire servizi di installazione e messa in opera sul posto per attrezzature speciali e di grandi dimensioni.