Էլեկտրական տաքացում |
Ամբար (մեկ խոռոչ) |
||||
N/A |
|||||
Ստորին էլեկտրոդի տեսակ |
242 մմ |
||||
Տեխնոլոգիական ջերմաստիճանի տիրույթ |
-20-100°C |
||||
PLASMA աղբյուր |
600Վ-1000Վ |
||||
Չափանիշների չափը մշակման ճնշման |
100մտոր |
||||
Վակուումային համակարգ |
Մոլեկուլային պոմպերի միավորներ, չոր պոմպերի համակարգեր, մշակման խցիկ |
||||
Խորանակման խցիկների թիվը |
Մեկ խոռոչ |
||||
Կապիչներ |
Տարատեսակ |
Ծավալը/մմ |
Նյութը |
||
N/A |
8、6、4、3、2 |
||||
Վերջնակետի դետեկտոր |
Տարբերակ |
||||
Ինդուկտիվորեն կապակցված պլազմա |
Տարբերակ |
||||
Եթելում նյութ |
Si, Sio, Sin, Sau, Pt, Al |
Ծածկման արագություն |
>20 նմ/րոպե (Si02 նյութ), տարբեր նյութերի արագությունները չեն համընկնում |
Բաշխված կառավարում |
>85° |
Բեռնատարման մեթոդ |
Բաց բեռնում |
Գազի փողավոր գծի կառավարում MFC-ով |
Կա վեց գազի բաք |
Հետևի կողմի հելիումով սառեցման տարբերակ |
(YES) ԱՅՈՒ actionTypes |
Անձնավոր-մաքինային ինտերֆեյս |
Շոշափելի էկրանով կառավարում |
Օպերացիոն ռեժիմ |
Լիարժեք ավտոմատ ռեժիմ, ոչ լիարժեք ավտոմատ ռեժիմ |
Ավտոմատացված սարքերի ընտրություն և կարգավորում |
Դուք կարող եք ընտրել ներմուծված կամ տեղական մասեր |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
权 © Գյուանգզու Մինդեր-Հայտեխ Կո.,Լտդ. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
