Դեսկ탑 արագ ջերմական մշակում RTP SYSTEM

Оборудование RTP для сложных полупроводников 、SlC、LED и MEMS

Համագործակցություններ ինդուստրիայում

Оксид, нитрид рост

Огметический контакт быстрый сплав

Печь для отжига силуминового сплава

Окисление рефлюкс

Պրոցես գալիում արսենիդ

Այլ հաճախ ջերմաստիճակի պրոցեսներ

Գործառույթներ

Ինֆրակարմիր հալոգենային լամպի տուբային ջերմացում, օդավոր հումնացում օգտագործելով՝ հումնացումի համար;

PlD ջերմաստիճակի կառավարումը լամպի ուժի համար, որը կարող է ճշգրիտ կառավարել ջերմաստիճակի բարձրացումը, համոզեցնում լինելով լավ վարկածային և ջերմաստիճակի հավասարաչափությունը;

Տվյալների մուտքը կայացված է WAFER մակերևույթի վրա՝ հանգում անջատելով անջատված կետերի արտագործումը անալարվանագործության պրոցեսի ընթացքում և համոզեցնելով արտադրանքի լավ ջերմաստիճակի հավասարաչափությունը;

Դիտարկվում են երկու մեթոդներ՝ ատմոսֆերային և վակուումային արտագործումներ, որոնք կարող են նախնականում և պարապատելու համար օգտագործվել;

Երկու պրոցեսային գազերի սետերն ենդամենական են և կարող են expended լինել մինչև վեց պրոցեսային գազերի սետեր;

Հաշվելի միակ կրիստալային սիլիցիումի մուտքագրման ամենամեծ չափսը 12 դյույմ (300x300 մմ);

Գործում են երեք անվտանգության ապահովումներ՝ անվտանգ ջերմաստիճակի բացման պահպանում, ջերմաստիճակի կառավարման բացման թույլատրության պահպանում և սարքի արգելափակումի անվտանգության պահպանում, որոնք անվտանգություն են ապահովում սարքի համար;

Ստորագրություն:

Համընկնություն 20-րդ աստիճանի կորերի՝

850 ℃-ի ջերմության կառավարման համար 20 կորեր

20 միջին ջերմության կորերի համընկալություն

1250 ℃ ջերմության կառավարում

RTP ջերմության կառավարում 1000 ℃ պրոցես

960 ℃ պրոցես, ինֆրակարմիր պիրոմետրով կառավարվող

LED պրոցեսի տվյալներ

RTD Վաֆերը ջերմության սենսոր են, որոնք օգտագործում են հատուկ մշակողական տեխնոլոգիաներ դեպի ջերմության սենսորների (RTDs) ներդրում վաֆերի մակերևույթի որոշակի տեղերում, թույլատրելով վաֆերի մակերևույթի ջերմությունը չափել իրական ժամանակում:

Իրական ջերմության չափումներ վաֆերի որոշակի տեղերում և վաֆերի ընդհանուր ջերմության բաշխումը կարող է ստացվել RTD Վաֆերի միջոցով: Դա նաև կարող է օգտագործվել վաֆերի ժառանգման գործընթացի ընթացքում տարածվող ջերմության փոփոխությունների անընդհատ հետազոտման համար: