 
  
| Եջի չափսերը  | 8, 12[inch]  | MAX 300x300[mm]  | |
| Գնդի չափ  | ф50[um]~ Ф300[μm]  | ||
| Նվազագույն գնդի հեռավորություն  | 90[um](Ф50[um] գնդակ)  | ||
| Համաձայնության ճշգրիտություն  | +15[մկմ]  | ||
| Չափեր    | 3,065W x 1,700D x 1,650H[մմ]  | ||
| Քաշը  | Հավելված 2,900[կգ]  | ||
| Բեռնում/ Ազատում  | Բաց կասետ, FOUP  | Հարմարեցվող    | |









权 © Գյուանգզու Մինդեր-Հայտեխ Կո.,Լտդ. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են