Ճշգրտության հասնող CMP համակարգ

MDAM-CMP100 /MDAM-CMP150

Ճշգրտության հասնող CMP համակարգ

Սարքավորումների համապարփակ տեսանկյուն:

Ճշգրտության բարձր CMP համակարգը հիմնականում օգտագործվում է սիլիցիումի, սիլիցիումի երկօքսիդի և ինդիումի անտիմոնիդի ֆոկալային հարթակի չիպերի նման հիմնական կիսահաղորդչային չիպերի մշակման և հաստության նվազեցման, ինչպես նաև ստորին, վերին և կողային մակերեսների քիմիական մեխանիկական փա polished մշակման համար:

Ամբողջ սարքը և դրա բոլոր մասերը լրիվ կոռոզիայի դեմ են պաշտպանված, իսկ գործընթացի պարամետրերը կարելի է սահմանել շունտային էկրանի ինտերակտիվ ինտերֆեյսի միջոցով:

Մշակելի նմուշի չափսը.

Նմուշի չափսը ≤152 մմ/6 դյույմ

Մշակելի հաստությունը՝ 50 մկմ–10 մմ

Ձեռք բերվող գործընթացի ցուցանիշները.

1. Ø75 մմ վաֆերի ընդհանուր հաստության շեղումը (TTV) 2 մկմ-ի սահմաններում է;

2. Ø100 մմ վաֆերի ընդհանուր հաստության շեղումը (TTV) 3 մկմ-ի սահմաններում է;

3. Ø150 մմ վաֆերի ընդհանուր հաստության շեղումը (TTV) 4 մկմ-ի սահմաններում է:

Մշակվող նմուշների տեսակները.

Սիլիցիում, սիլիցիումի կարբիդ, ադամանդ, կերամիկա, գալիումի նիտրիդ, քվարց, գալիումի անտիմոնիդ, ինդիումի ֆոսֆիդ, գալիումի արսենիդ, կադմիում-ցինկ-տելուրիդ, սնդիկ-կադմիում-տելուրիդ, լիթիումի նիոբատ և այլ կիսահաղորդչային նյութեր:

Սարքավորումների առանձնահատկությունները.

1. Նմուշի հաստությունը վերահսկելու համար վերջնակետի հայտնաբերման ֆունկցիայի իրականացում:

2. Լապիրովկայի և փայլեցման սալիկի օնլայն իրական ժամանակում ջերմաստիճանի վերահսկում և սառեցման ֆունկցիա:

3. Բազմաալիքային կերակրման համակարգ:

4. Լապիրովկայի և փայլեցման սալիկի ավտոմատ լվացման ֆունկցիա:

5. Ավտոմատ սալիկի վերանորոգման ֆունկցիա:

6. Ֆիքսատորը սարքավորված է թվային հաստության վերահսկման սեղանով՝ 0,1 մկմ վերահսկման ճշգրտությամբ:

Տեխնիկական պարամետրեր:

Սարքի կարգավորում:

Հաճախադեպ տրվող հարցեր

1. Գինի Մասին:

Երբեմն մեր գիները համապատասխան են և կարող են քննարկվել: Գինը փոխվում է սարքի և ձեր սարքի պարամետրերի կամ անհրաժեշտ կայունության կախվածության.

2. Սամպլի Մասին:

Կարող ենք ձեզ առաջարկել սամպլ սարքի սերվիս, բայց կարող է պահանջվել մի քանի վճարում։

3. Վճարման մասին:

Պլանը հաստատված լինելուց հետո, դուք պետք է մեզ վճարեք առանցք՝ որպեսզի արտադրությունը սկսի պատրաստել ապարատական: Ապարատը պատրաստվելուց հետո, դուք պետք է վճարեք մնացորդը՝ որպեսզի մենք ուղարկենք այն։

4. Դուրսագրման մասին:

Ապարատականի ստեղծման վերջում, մենք կուղարկենք դուրսբերման տեսանյութը, դուք նաև կարող եք գալ դեպի կայան և ստուգել ապարատականը։

5. Ինստալյացիա և տեսականում:

Երեք օրում սարքելու հաջողությունը ձեզ տալիս է հավանաբար դադարելու հնարավորություն, մենք կարող ենք ուղարկել ինժեներն սարքելու և դեբագ արելու համար։ Այս սպասարկման ծախսի համար մենք ձեզ կտանք առացկացված գնահատական։

6. Գարանտիայի մասին:

Մեր սարքերը ունեն 12 ամիսանոց warranty period։ Warranty-ից հետո, եթե որևէ մասերն արդյոք վարդագրվեն և պետք է փոխվեն, մենք կավարտենք միայն արժեքի գնահատականը։

7. Ծառայություն վաճառքից հետո՝

Բոլոր մեքենաները մեկ տարուց ավելի երկար երաշխիքային ժամկետ ունեն: Մեր տեխնիկական ինժեներները միշտ առցանց են լինում ձեզ համար սարքավորումների տեղադրման, կարգավորման և սպասարկման ծառայություններ տրամադրելու համար: Մենք կարող ենք տրամադրել հարթակի տեղադրման և կարգավորման ծառայություններ հատուկ և խոշոր սարքավորումների համար: