Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Գլխավոր էջ
Մեր մասին
MH Հարցազրույց
Լուծում
Երկիրահայան Օգտագործողներ
Տեսանյութ
Մեզ հետ կապվեք
Տուն> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Ավտոմատացված ICP կորում մաքսային
  • MDICP-5000F Ավտոմատացված ICP կորում մաքսային
  • MDICP-5000F Ավտոմատացված ICP կորում մաքսային
  • MDICP-5000F Ավտոմատացված ICP կորում մաքսային

MDICP-5000F Ավտոմատացված ICP կորում մաքսային

Մոդել՝ MDICP-5000F

MDICP-5000F Ավտոմատացված ICP կորում մաքսային
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Կարճ ամփոփում

Համակարգը երկու սենյակով վակուում համակարգ է: Առաջին սենյակը՝ ինյեկցիայի և նմուշների սենյակն է, իսկ մյուսը՝ կորումի սենյակը: Վակուումի փակագծերը տեղադրված են ինյեկցիայի և նմուշների սենյակի միջև և կորումի սենյակը, ինչպես նաև ինյեկցիան և նմուշների տրանսպորտացիան կատարվում է մանիպուլատորի միջոցով:
Ապարատուրը կազմված է ներդառնող համակարգից, գազային շղթայից, էլեկտրոնային համակարգից, կառավարման համակարգից, հորումների համակարգից, ֆիլմի ներմուծման և դուրսբերման մեխանիզմից, ալարմային համակարգից և այլն.

Վակուում համակարգ:

Համակարգը կազմված է մոլեկուլային անտառուն 600 Լ/Ս արժանքով + ներդառնող տարածական անտառուն՝ որը արժանցնում է արտագրության սենսորը բարձր ներդառությանը: Մոլեկուլային անտառուն և արտագրության սենսորի միջև տեղադրված է էլեկտրոնային ճնշումի կառավարման վալվ: Տարածական անտառունը արտագրության սենսորի նախնական անտառուն է, իսկ մոլեկուլային անտառունի առաջին փուլի անտառունը: Օգտագործվում է մեխանիկական անտառուն՝ արժանքով L/S, որը ներդառնում է նմուշների սենսորը: Մեխանիկական անտառունի և ներդառող սենսորի միջև օգտագործվում են անունական ստալեսի գործակիցներ, իսկ տեղադրված է էլեկտրոմագնիտական պարբերական անդամ:

Կանոնավոր ճնշումի կառավարման համակարգ

Ապարատը հավաքված է ներքին ստորագրող հաստատուն ճնշման կառավարման համակարգով, և էլեկտրական կարգավորելի դերադրում է տեղադրված օդի արտագրման տուփում։ Ֆիլմի չափումների (ներմուծված մասեր) միջոցով՝ կարգավորելի դերադրումը կառավարվում է, որպեսզի հաստատուն ճնշում հասնենք արտագրման սենյակում, որոնք բարձրացնում են տեխնոլոգիական կայունությունը։

Կանոնավոր ճնշումի կառավարման համակարգ

Ապարատը հավաքված է ներքին ստորագրող հաստատուն ճնշման կառավարման համակարգով, և էլեկտրական կարգավորելի դերադրում է տեղադրված օդի արտագրման տուփում։ Ֆիլմի չափումների (ներմուծված մասեր) միջոցով՝ կարգավորելի դերադրումը կառավարվում է, որպեսզի հաստատուն ճնշում հասնենք արտագրման սենյակում, որոնք բարձրացնում են տեխնոլոգիական կայունությունը։

Գազային ցիրկուիտի համակարգ

Երկու համակարգավորվող RF հաստատուններ։

Զարդարական համակարգ

Սարքերի վերաբերյալ ան전ության պահանջներ։
Տեխնիկական բնութագրեր
Անուն
Spc
Ապրանքային նշան
Համար./Ծավ.
Նշան
Կայման սենյակ, օդի արտագրման տուփ, նայումների պատուհան, նախնական ինտերֆեյս և այլն
Ստանդարտ
JSWN
1
Հանգույցների դիմադրություն
Կառուցավորություն, էլեկտրոնային արկան, ստիցման միջոցներ, ստանդարտ մասեր և այլն
Ստանդարտ
JSWN
1
Սիստեմային դարաշուն էջինգ ստորագրության համար
Ստանդարտ
JSWN
1
Հանգույցների դիմադրություն
Էջինգ էլեկտրոդների և հուղարկման սիստեմ
Ստանդարտ
JSWN
1
Հանգույցների դիմադրություն
Մոլեկուլային բացարձակ (բացարձակումը 600 Լ/վ)
FF620/150
KYKY
1
Հանգույցների դիմադրություն
Ելքային բացարձակ (բացարձակումը 9 Լ/վ)
XDS-35I
EDWARDS
1
Հանգույցների դիմադրություն
Ռեկուպերացիոն բացարձակ (բացարձակումը 9 Լ/վ)
TRP-36
BWVAC
1
Էլեկտրոնական կառավարման գետաբաժակ
DCQ-150
JSWN
1
Հանգույցների դիմադրություն
Պնեվմատիկ սալիցիդային փակիչ
KF40
JSWN
3
Հանգույցների դիմադրություն
Ֆիլմային համաչափ
KF16
INFICON
1
Հանգույցների դիմադրություն
Հավասարակշռված հոսքի կառավարիչ
D07
Sevenstar
4
Հանգույցների դիմադրություն
Պարագայուման դիաֆրագմանային վալվե
1⁄4″ VCR
-
4
Հանգույցների դիմադրություն
Անոթային տունել, տունելի միացող, և.տ.
1⁄4″ VCR
-
4
Հանգույցների դիմադրություն
RF հասանելիությունը / ավտոմատացված համապատասխանում
-
Չինաստան ( facultative CROWN1310 )
1
RF հասանելիությունը / ավտոմատացված համապատասխանում
-
Չինաստան ( facultative CROWN1310 )
1
Սովորական վակուումի մատակարար
ZDF
RB
1
IPC
2U
Չինաստանում
1
LCD հպման էկրան
17inch
Չինաստանում
1
PLC Կառավարման Համակարգ
S7-200
Siemens
1
Էլեկտրական շաftsի կառավարման համակարգ
Ստանդարտ
JSWN
1
Լավացուցիչ ջրի հայտնաբերում և տունելային համակարգ
Ստանդարտ
JSWN
1
Կոմպրեսորային օդի հայտնաբերում և տունելային համակարգ
Ստանդարտ
JSWN
1
Լավացուցիչ շրջանափոխ ջրի մաքինա
HX
Չինաստանում
1
Եթերացուցիչ ներդրման սենյակ
Ստանդարտ
JSWN
1
Վակուում անգամ
SMC
SMC
1
Մանիպուլյատորի կառավարման համակարգ
SMC
SMC
1

Տեխնիկական պարամետր հասցե

1. Սահմանափակ վակուում: Էջչման սենյակ 9.0×10-5Pa (ներքին լավագույնը ≤55%)
Ինجեկցիայի և նմուշների սենյակ 6.0×10-1Pa
2. Էջչման նյութ: Ⅲ, Ⅴ նյութեր, Si, SiO2 և այլն
3. Էջչման արագություն: ~ 1μ/րոպե
4. Էջչման հավասարակշռություն: ≤±5%(φ125mm մասշտաբում)
6. Էլեկտրոդի չափսերը: φ200mm

Հաճախադեպ տրվող հարցեր

1. Գինի Մասին:

Երբեմն մեր գիները համապատասխան են և կարող են քննարկվել: Գինը փոխվում է սարքի և ձեր սարքի պարամետրերի կամ անհրաժեշտ կայունության կախվածության.

 

2. Սամպլի Մասին:

Կարող ենք ձեզ առաջարկել սամպլ սարքի սերվիս, բայց կարող է պահանջվել մի քանի վճարում։

 

3. Վճարման մասին:

Պլանը հաստատված լինելուց հետո, դուք պետք է մեզ վճարեք առանցք՝ որպեսզի արտադրությունը սկսի պատրաստել ապարատական: Ապարատը պատրաստվելուց հետո, դուք պետք է վճարեք մնացորդը՝ որպեսզի մենք ուղարկենք այն։

 

4. Դուրսագրման մասին:

Ապարատականի ստեղծման վերջում, մենք կուղարկենք դուրսբերման տեսանյութը, դուք նաև կարող եք գալ դեպի կայան և ստուգել ապարատականը։

 

5. Ինստալյացիա և տեսականում:

Երեք օրում սարքելու հաջողությունը ձեզ տալիս է հավանաբար դադարելու հնարավորություն, մենք կարող ենք ուղարկել ինժեներն սարքելու և դեբագ արելու համար։ Այս սպասարկման ծախսի համար մենք ձեզ կտանք առացկացված գնահատական։

 

6. Գարանտիայի մասին:

Մեր սարքերը ունեն 12 ամիսանոց warranty period։ Warranty-ից հետո, եթե որևէ մասերն արդյոք վարդագրվեն և պետք է փոխվեն, մենք կավարտենք միայն արժեքի գնահատականը։

 

7. Ծառայություն վաճառքից հետո՝

Բոլոր մեքենաները մեկ տարուց ավելի երկար երաշխիքային ժամկետ ունեն: Մեր տեխնիկական ինժեներները միշտ առցանց են լինում ձեզ համար սարքավորումների տեղադրման, կարգավորման և սպասարկման ծառայություններ տրամադրելու համար: Մենք կարող ենք տրամադրել հարթակի տեղադրման և կարգավորման ծառայություններ հատուկ և խոշոր սարքավորումների համար:

Հարցում

Հարցում Email WhatsApp WeChat
Լավագույն
×

Կապվեք մեզ հետ