


Waferekoko |
4”~ 8” keppurikke |
Keppuriketjun paksuus |
100~750 mikroonia |
Keppurikettujen tyyppi |
Si, SiC, GaN tai muut materiaalit |
Elokuvan tyyppi |
Sininen levy, UV-levy Leveys: 230 ~ 300 mm Pituus: 100 m Paksuus: 0.05 ~ 0.2 mm |
Kiekkojen kuljetusrengas |
6”, 8” DISCO |
Lataus- ja purkumetodi |
Käsinkirjoitus kiekolle/rengas asettaminen ja poistaminen |
Levyn paikkatarkkuus |
±0,5mm Standard 6” ja 8” wafer-levyt 6” ja 8” wafereille |
Tyhjiöpumppu |
Minder-Hightech |
Antistatic-kontrolli |
Deionointituuleilin |
Ohjausyksikkö |
Perustuu PLC-kontrolliin, 10” kosketusnäyttöllä |
Turvapuolustus |
Varustettu valoainestojen suojaamisella ja hätäpysäytysohjella |
Virtalähteen jännitys |
Yksisuuntainen AC 220V, 16A |
Paineilmaa |
0.45~0.6MPa, virtausnopeus 70L/min |
Koneen kuori |
Valkoinen muovipuhaltettu metallikuori |
Tilavuus |
850mm (leveys)*1750mm (syvyys)*1970mm (korkeus) |
Nettopaino |
480 kg |


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään